Mezi koule endispansab nan koupe fil dyaman Silisyòm wafer, paske li asire yon livrezon presi likid koupe nan koòdone fil-wafer la—ki enpòtan pou kenbe yon refwadisman, yon wilaj ak yon retire debri optimal.RDone koule an tan reyèl anpeche yon rezèv likid ki pa adekwa oswa ki twòp, ki ta otreman lakòz surchof, fil ki kase, domaj sifas, oswa gaspiyaj. Mezi egzat diminye varyabilite pwosesis la, pwoteje platè ak entegrite sifas waf la, pwolonje dire lavi fil la, epi optimize efikasite resous yo.
Apèsi sou Koupe Wafer Silisyòm ak Wòl Likid Koupe yo
Koupe fil dyaman se teknik dominan pou tranche lengote silikon monokristalin ak miltikristalin an wafer pou aplikasyon semi-kondiktè ak fotovoltaik. Nan pwosesis sa a, yon fil asye—jeneralman 40-70 μm an dyamèt—kouvwi ak grenn abrazif dyaman. Fil la deplase a gwo vitès, epi dyaman entegre yo moulen silikon an pa fwotman, minimize domaj sifas yo epi ankouraje inifòmite wafer la. Fil dyamèt redwi yo te entwodui nan dènye ane yo diminye pèt kerf la, ki refere a materyèl ki gaspiye kòm patikil silikon amann pandan operasyon tranche a. Pèt kerf la detèmine pa dyamèt fil la ak wotè grenn abrazif ki soti nan sifas fil la.
Koupe Fil Dyaman
*
Likid koupe yo jwe plizyè wòl enpòtan nan siye fil dyaman. Fonksyon prensipal yo se refwadi ni lengot la ni fil la, pou anpeche yo chofe twòp ki ta ka domaje silikon an oswa diminye lavi fil la. Yo lave tou patikil silikon amann ki pwodui pandan koupe a, sa ki ede kenbe yon koòdone pwòp, anpeche redepozisyon debri, epi diminye mikwo-fant sifas sou waf la. Anplis de sa, likid koupe yo wile pwosesis la, diminye friksyon ant fil la ak silikon an, kidonk pwolonje lavi fil la epi amelyore kalite koupe a. Konpozisyon ak pwopriyete fizik likid koupe waf silikon an—tankou viskozite ak dansite—dwe jere ak anpil atansyon pou optimize refwadisman, retire chip, ak pwoteksyon fil.
Gen plizyè kalite likid koupe waf, tankou likid ki baze sou dlo ak aditif pou amelyore wilaj ak sispansyon patikil. Chwa a depann de konsepsyon ekipman an, espesifikasyon waf yo, ak kontrent anviwònman yo. Kèk egzanp yo enkli dlo deyonize ak tensioaktif oswa glikòl, formulé pou balanse efikasite refwadisman ak fòmasyon rezidi ki ba.
Evolisyon an nan direksyon fil dyaman ultra-mens nan plant waf modèn yo anplifye defi nan livrezon likid ak kontwòl pwosesis. Lè dyamèt fil yo diminye anba 40 μm, risk pou fil kase ogmante epi tolerans pou varyasyon pwosesis la vin pi sere. Mezi presi debi a—sipòte pa teknoloji tankou debimèt likid koupe, detèktè mezi debi ak gwo presizyon, ak detèktè debi mas Coriolis—esansyèl pou kenbe yon refwadisman efikas ak retire debri. Detèktè siveyans likid koupe ak solisyon mezi debi likid koupe endistriyèl yo pèmèt operatè yo swiv ak ajiste debi an tan reyèl, pou reyalize wilaj ak kalite sifas optimal. Presizyon debimèt Coriolis yo patikilyèman enpòtan pou jere likid ki gen dansite ak viskozite varye, pou asire kondisyon konsistan menm lè vitès koupe ak tansyon fil ogmante.
Demann sa a k ap ogmante pou presizyon chanje konsantrasyon an pou siveyans paramèt dinamik likid tankou to koule, dansite, ak viskozite. Enstriman tankou sa yo ki soti nan Lonnmeter bay mezi serye, an tan reyèl ki endispansab pou asirans kalite ak optimize pwosesis nan operasyon avanse koupe fil dyaman. Pandan teknoloji fil la ap kontinye avanse, entegrasyon teknoloji mezi koule solid yo enpòtan anpil pou soutni debi waf la, minimize pèt kerf, epi diminye egzijans fini an aval pou sektè fabrikasyon waf Silisyòm lan.
Difikilte nan livrezon likid nan koupe fil dyaman presizyon
Nan koupe fil dyaman nan tranche silikon ultra-mens—sitou sa yo ki anba 40 µm—livrezon bon kantite likid koupe tranche silikon an nan koòdone tranchaj la vin tounen yon gwo defi. Ofiramezi epesè fil la diminye, espas pou koule likid la diminye tou. Kenbe yon rezèv likid koupe konsistan enpòtan pou asire wilaj, kontwòl tanperati, ak retire debri nan pwen kontak la.
Yon koule likid ki pa konsistan oswa ki pa adekwa mennen dirèkteman nan adsorpsyon waf la, kote waf la kole yon fason ki pa dezirab sou ekipman an akòz wilaj ensifizan. Sa pa sèlman deranje pwosesis koupe a, men tou li ogmante risk pou waf la kraze oswa domaje. Aspè sifas la ogmante anpil lè fil la ak waf la pa resevwa wilaj ak refwadisman kontinyèl nan men likid koupe fil dyaman an. Sifas domaje ak mikwo-defo ki kapab lakòz yo diminye kalite ak rannman waf la, sa ki poze gwo obstak pou endistri semi-kondiktè ak fotovoltaik yo.
Twa faktè prensipal afekte pénétration likid nan espas si mikwo-echèl la: jeyometri fil la, vitès koupe a, ak aksyon kapilè. Jeyometri fil la—espesyalman dyamèt fil la ak distribisyon grenn dyaman yo—enfliyanse dirèkteman kijan fasil likid koupe waf silikon an koule epi kole nan zòn kontak la. Lè w ap itilize fil ki anba 40 µm, sifas ki pi piti a limite lib mouvman likid la. Vitès koupe ki pi wo yo diminye tan ki disponib pou likid la rive nan epi refwadi koòdone a, sa ki mennen nan surchof lokalize ak move wilaj. Aksyon kapilè a, kapasite natirèl likid la pou l rale nan espas etwat, detèmine fòtman retansyon likid. Sepandan, menm pon likid ki amelyore transpò likid yo ka entwodui adezyon kapilè ant fil adjasan yo, sa ki lakòz tansyon ki pa inifòm epi ogmante varyasyon epesè waf la.
Entwodiksyon kalite likid koupe waf avanse yo—tankou solisyon amelyore ak nanopartikil—bay amelyorasyon mezirab. Likid ki fèt ak nanopartikil SiO₂ oswa SiC yo penetre fant etwat yo pi efikasman gras a viskozite ak entèraksyon sifas optimize. Likid sa yo amelyore wilaj epi yo pote chalè a pi efikasman, sa ki lakòz mwens aspè sifas ak yon amelyorasyon nan platwa waf la. Rechèch montre ke itilizasyon likid chaje ak nanopartikil modifye chan tanperati a pandan koupe a, sa ki diminye plis estrès ki menase entegrite waf la. Sa a, konbine avèk teknik tankou vibrasyon ultrasons pou anplifye transpò kapilè a, pèmèt yon livrezon likid koupe fil dyaman ki pi inifòm.
Yon livrezon likid konsistan mande yon siveyans ak ajisteman egzat an tan reyèl. Mezi koule likid koupe endistriyèl ak gwo presizyon vin esansyèl, sitou nan pwosesis byen kontwole. Aplikasyon yon debimèt likid koupe—tankou yon detèktè mezi koule mas Coriolis ki gen gwo presizyon—pèmèt yon regilasyon egzak sou vitès livrezon an. Debimèt dansite ak viskozite anliy Lonnmeter yo, lè yo asosye avèk zouti mezi koule presi, kontribye nan optimize rezèv likid la pou menm waf ki pi mens yo koupe san pwoblèm, ak yon risk minimòm defo.
Mezi koule likid nan operasyon koupe wafer
Mezi egzak debi a fondamantal pou optimize livrezon likid koupe nan koupe waf Silisyòm ak fil dyaman. Efikasite likid koupe waf Silisyòm lan enfliyanse dirèkteman refwadisman, wilaj, ak retire debri nan koòdone kontak la, sa ki afekte kalite sifas waf la, pèt kerf, ak sede pwodiksyon an jeneral. Debi ki pa adekwa oswa twòp modifye efikasite abrazif, ogmante mete zouti, epi li ka lakòz yon kalite waf ki pa konsistan oswa depans resous ki pi wo. Rechèch anpirik endike ke yo ka minimize aspè sifas (Ra) ak domaj anba sifas lè yo kenbe debi likid koupe a nan seri optimal 0.15-0.25 L/min pou machin tipik yon sèl fil, paske debi ki pa adekwa mennen nan mikwo-fant ak akimilasyon debri, pandan ke debi ki depase limit la prezante tourbiyon ak konsomasyon nesesè.
Teknoloji pou Mezire Debi Likid Koupe
Debitmèt likid koupe yo entegre nan liy ekipman likid yo, pou mezire volim likid koupe fil dyaman an tan reyèl. Teknoloji debitmèt komen yo enkli kalite mekanik, elektwonik ak ultrasonik:
- Debimèt mekanik, tankou modèl turbin ak wou palèt, itilize konpozan wotasyon ki deplase pa koule likid la. Yo senp epi solid men yo fasil pou mete akòz likid ki chaje ak abrazif.
- Debimèt elektwonik, patikilyèman desen elektwomayetik, mezire vitès likid lè l sèvi avèk prensip endiksyon elektwomayetik, sa ki ofri yon operasyon serye ki pa mande anpil antretyen pou likid kondiktif.
- Debimèt ultrasonik yo itilize ond son wo frekans ki transmèt epi resevwa atravè tiyo a. Lè yo mezire diferans tan tranzit son an avèk ak kont koule a, aparèy sa yo bay mezi ki pa anvayi tout bagay, ki egzat e ki apwopriye pou divès kalite likid koupe wafer.
Mezi koule mas Coriolis la remakab nan aplikasyon kote yo bezwen yon kontwòl presi sou mas likid la, kèlkeswa chanjman viskozite oswa tanperati. Detèktè koule mas Coriolis yo mezire dirèkteman to koule mas la ki baze sou efè Coriolis la, sa ki bay gwo presizyon ak adaptabilite pou likid koupe fil dyaman ki baze sou dlo ak lwil. Lonnmeter fabrike mèt dansite ak viskozite anliy, ki pèmèt plis siveyans pwopriyete likid pou konsistans ak kontwòl pwosesis optimal nan koupe waf silikon.
Paramèt Mezi Kritik ak Plasman Capteur
Mezi egzak koule likid koupe nan koupe wafer mande pou atansyon sou plizyè paramèt kle:
- Debi (L/min): Mezi prensipal pou optimize pwosesis ak asirans kalite.
- Dansite ak viskozite: Tou de afekte pèfòmans refwadisman, transpò abrazif, ak netwayaj debri anpil.
- Tanperati: Li gen enpak sou viskozite ak konpòtman likid la nan sit koupe a.
Plasman detèktè a esansyèl. Detèktè mezi koule yo dwe pozisyone dirèkteman nan liy livrezon likid la pi pre zòn koupe a ke posib pou minimize diferans ki genyen akòz rezistans tiyo, flit, oswa evaporasyon anvan koòdone koupe a. Mezi an tan reyèl sou liy lan asire ke valè koule ki rapòte a koresponn ak ekipman aktyèl la nan zòn koupe fil dyaman an.
Fonksyon Mezi Koule nan Kenbe Anviwònman Koupe Optimal
Capteur mezi koule yo esansyèl pou siveyans an tan reyèl ak kontwòl adaptatif sou livrezon likid la nan koupe waf silikon endistriyèl. Kenbe yon to koule optimal asire yon disipasyon chalè adekwa, yon evakyasyon debri kontinyèl, ak yon wilaj inifòm sou fil dyaman an. San sa, estabilite pwosesis la diminye, lavi fil la vin pi kout, epi rannman yo soufri akòz risk ogmante pou domaj sifas oswa pèt kerf twòp.
Lè yo entegre mezi debi ak gwo presizyon ak lòt paramèt fidbak (pa egzanp, vitès fil, vitès alimantasyon), manifaktirè yo ka aplike kontwòl adaptatif sou papòt pwosesis la, ki lye dirèkteman ajisteman debi ak pèfòmans koupe yo obsève. Kòm rezilta, nenpòt devyasyon nan anvlòp debi pwograme a deklanche aksyon korektif imedya, pou pwoteje tou de kalite pwosesis la ak efikasite resous yo.
An rezime, mezi koule likid koupe endistriyèl—ki baze sou detèktè mezi koule solid ak done an tan reyèl—sèvi kòm yon poto mitan pou pwodiksyon wafer silikon ki gen gwo rannman ak pri-efikas nan epòk koupe fil dyaman an.
Mezi Debi Mas Coriolis: Prensip ak Aplikasyon
Mezi koule mas Coriolis la baze sou deteksyon fòs likid k ap deplase nan tib ki vibre yo egzèse. Pandan likid la ap koule—tankou likid koupe fil dyaman oswa likid koupe espesyal pou plak silikon—tib yo fè eksperyans yon ti chanjman faz mezirab. Chanjman sa a pwopòsyonèl ak to koule mas la, sa ki bay yon kantifikasyon dirèk, an tan reyèl, sou mas likid koupe ki delivre a. Menm prensip la pèmèt mezi similtane dansite likid la, sa ki sipòte yon gwo presizyon atravè chanjman nan kalite likid, konpozisyon ak tanperati—yon egzijans kritik nan fabrikasyon plak silikon ak aplikasyon pou koupe fil dyaman.
Avantaj apwòch sa a pou kalite likid koupe wafer, patikilyèman lè w ap itilize likid koupe fil dyaman pèfòmans segondè, yo sibstansyèl. Mezi koule Coriolis la endepandan de viskozite likid la ak chanjman konpozisyon li, li rete trè egzat malgre prezans patikil abrazif, nano-aditif, oswa melanj etewojèn yo souvan jwenn nan likid koupe pou wafer silikon. Robuste sa a fè li siperyè metòd koule volimik tradisyonèl yo, ki ka afekte pa bul, patikil sispann, ak chanjman pwopriyete fizik likid koupe avanse yo.
Koupe waf semi-kondiktè yo de pli zan pli depann sou teknoloji avanse detèktè koule likid pou asire siveyans serye likid koupe pou waf silikon yo. Detèktè koule mas Lonnmeter an liy, ki itilize efè Coriolis la, yo aplike dirèkteman nan liy pwosesis yo. Sa pèmèt yon livrezon ak siveyans presi nan likid koupe nano-likid ak fil dyaman pandan koupe waf la. Siy degradasyon likid, enkonsistans melanj, oswa chanjman dansite yo detekte rapidman, sa ki pèmèt entèvansyon kontwòl imedya pou kenbe sede pwosesis la ak kalite sifas la.
Konparezon detèktè koule mas Coriolis yo ak lòt detèktè siveyans likid koupe—tankou sistèm koule tèmik, elektwomayetik, oswa ultrasons—devwale plizyè fòs. Detèktè koule mas Coriolis yo eksele nan mezi koule ak gwo presizyon epi yo bay lekti ki baze sou mas ki pa afekte pa fluctuations viskozite oswa pwopriyete mayetik. Mèt elektwomayetik ak ultrasons yo gen difikilte ak melanj likid koupe ki gen nanopartikil, pòch lè, oswa varyasyon dansite minim, sa ki souvan mennen nan mezi to koule ki pa fyab ak yon ogmantasyon nan frekans antretyen.
Presizyon debitmèt Coriolis la konsève menm lè konpozisyon likid yo chanje, paske pwosesis siyal la ak sistèm konpansasyon tanperati yo filtre bri ak varyasyon anviwònman an avèk efikasite. Operatè yo ka itilize done an tan reyèl pou optimize refwadisman, wilaj, ak retire patikil, pou reponn a divès pwopriyete diferan kalite likid koupe wafer ak melanj nanofluid.
Adaptasyon mezi koule mas Coriolis la pou likid siye ak koupe fil ultra-mens ak nanopartikil make yon chanjman nan siveyans endistriyèl. Capteur yo mezire koule mas reyèl ak dansite yon fason fyab, kèlkeswa kontni patikil la oswa eterogeneite likid la, sa ki pèmèt kontwòl an bouk fèmen ak jesyon likid otomatik ki adapte pou koupe waf. Nivo mezi koule wo presizyon sa a esansyèl pou kenbe estabilite pwosesis la, diminye pèt materyèl, ak garanti entegrite sifas la pandan fabrikasyon waf Silisyòm ak pwosesis koupe fil dyaman.
Entegrasyon Done Mezi Koule nan Kontwòl Pwosesis
Mezi koule an tan reyèl lè l sèvi avèk detèktè koule mas Coriolis yo te transfòme jesyon likid koupe pandan koupe fil dyaman nan waf silikon. Mèt dansite ak viskozite anliy, tankou sa yo ki pwodui pa Lonnmeter, pèmèt siveyans imedya pwopriyete likid ak to koule, sipòte dirèkteman kontwòl presi pwosesis la.
Li esansyèl pou kenbe to koule optimal yo pou refwadisman, netwayaj ak wilaj efikas fil dyaman an ak waf silikon yo. Debimèt mas Coriolis yo eksele nan anviwònman sa a lè yo bay fidbak an tan reyèl ak gwo presizyon sou koule mas ak karakteristik likid yo. Avèk done sa yo, sistèm otomatik yo ka ajiste vitès ponp yo, pozisyon valv yo, oswa to resiklaj yo pou delivre volim ak konpozisyon likid koupe waf la avèk presizyon. Pa egzanp, pandan sik koupe rapid yo, done detèktè yo ka deklanche yon ogmantasyon nan livrezon likid pou amelyore retire debri ak refwadisman, alòske sik ki pi dousman yo ka mande yon rediksyon nan koule a pou evite gaspiyaj.
Feedback ki soti nan detèktè mezi koule yo enpòtan tou pou reponn a chanjman nan kondisyon likid yo. Lè viskozite oswa dansite likid la chanje—akòz chanjman tanperati oswa kontaminasyon—mèt anliy Lonnmeter yo detekte varyasyon sa yo imedyatman, sa ki pèmèt sistèm kontwòl yo konpanse lè yo ajiste to koule yo oswa lè yo kòmanse filtraj likid la. Apwòch granulaire, ki baze sou done, sa asire likid la rete nan espesifikasyon strik pou yon pèfòmans koupe optimal.
Nan anviwònman ki gen anpil volim, kapasite pou siveye ak kontwole koule likid koupe an tan reyèl pèmèt yon epesè ki konsistan epi diminye aparisyon domaj ki koute chè, jan sa montre nan liy fabrikasyon dènye kri nan Azi ak Ewòp. Jesyon likid avanse sipòte tou antretyen prediktif, sa ki pwolonje dire lavi fil dyaman an.
Operasyon endistriyèl yo benefisye anpil de sistèm likid koupe ki kontwole koule. Jesyon efikas likid diminye konsomasyon ak depans pou jete lè li asire ke yo itilize jis ase likid pou chak waf, sa sipòte dirabilite ak konfòmite regilasyon. Rediksyon nan gaspiyaj likid—ki pèmèt pa fidbak kontinyèl ak ajisteman ki baze sou done detèktè—tradui an mwens depans operasyonèl ak yon anprint anviwònman redwi.
An rezime, entegrasyon done mezi koule an tan reyèl, pèmèt pa solisyon anliy Lonnmeter yo, se pa sèlman yon fondasyon pou asirans kalite waf men tou yon avantaj operasyonèl pou pwosesis koupe fil dyaman an. Li bay amelyorasyon mezirab nan fini sifas, fyab mekanik, rannman pwodiksyon, ak rentabilité.
Apèsi eksperimantal ak konsèy endistriyèl
Dènye etid eksperimantal yo te chanje pi bon pratik yo nan livrezon likid pou koupe waf silikon ak fil dyaman. Rechèch montre ke yon rezèv likid koupe byen jere, sitou lè l sèvi avèk teknik avanse, gen yon korelasyon dirèk ak yon pi ba absòpsyon waf ak yon pi bon kalite sifas.
Aplikasyon efè kapilè ultrasons nan distribisyon likid vin tounen yon chanjman radikal. Ond ultrasons yo pouse likid koupe pi fon nan fant ultra mens—sitou nan rejyon ki pi etwat pase 50 μm—kote metòd ekipman tradisyonèl yo souvan echwe. Enfiltrasyon amelyore sa a diminye anpil absòpsyon patikil abrazif ak debri sou sifas waf la. Tès anpirik yo montre waf ki sibi ekipman likid ak asistans ultrasons montre mwens domaj sifas, kidonk pi gwo rannman ak fyab nan pwosesis en yo.
Optimizasyon paramèt yo enpòtan anpil pou maksimize benefis tou de amelyorasyon ultrasons ak teknoloji nano-likid nan livrezon likid koupe. Paramèt kle yo enkli:
- Distans plak: Yo dwe minimize espas ki genyen ant rezèvwa likid la ak zòn koupe a pou yon monte likid optimal.
- Pozisyon transducteur à ultrasons ak paralelis konfigirasyon: Jewometri byen defini asire transmisyon vag inifòm ak aksyon kapilè.
- Tanperati likid: Chofaj kontwole ogmante mobilite likid ak efikasite kapilè.
- Dire ak frekans aplikasyon ultrasons lan: Yon bon moman anpeche surchof pandan y ap maksimize enfiltrasyon.
- Seleksyon kalite likid: Diferan likid debaz ak aditif reyaji inikman a estimilasyon ultrasons.
Teknoloji nanofluid la prezante yon lòt gwo avansman. Likid koupe ki enfuze ak nanopartikil tankou SiO2 ak SiC montre yon pi bon konduktivite tèmik ak wilaj. Modifikasyon sa a mennen nan yon refwadisman ki pi efikas, yon pi bon retire debri, epi yon rediksyon nan aspè britalite sifas waf la. Done yo endike ke fòmilasyon nano-partikil melanje yo ofri amelyorasyon sinèjik, sa ki diminye plis deformation epi pwodui yon mòfoloji waf siperyè pase likid koupe yon sèl kalite oswa konvansyonèl yo.
Konpayi fabrikasyon k ap chèche optimize efikasite likid koupe yo ka aplike direktiv operasyonèl sa yo:
- Sèvi ak mèt dansite an liy ak mèt viskozite (tankou sa yo ki soti nan Lonnmeter) pou siveye ak kontwole konsistans likid koupe a, pou asire pwopriyete koule yo rete ideyal pou ultrasons ak nano-asistans.
- Kontwole epi ajiste to koule likid koupe yo lè l sèvi avèk yon detèktè mezi koule ki gen gwo presizyon. Mezi koule mas Coriolis la patikilyèman itil pou mezi koule likid koupe endistriyèl, li ofri presizyon an tan reyèl pou tou de dansite ak volim.
- Kalibre detèktè mezi koule yo regilyèman pou kenbe lekti fyab, ki enpòtan pou yon pwosesis waf ki konsistan.
- Chwazi kalite likid koupe wafer ak konsantrasyon nanopartikil ki koresponn ak gwosè wafer espesifik, karakteristik fil dyaman, ak anviwònman operasyonèl.
Etid konparatif yo konfime ke chanjman paramèt yon sèl faktè—tankou ogmantasyon vitès fil oswa ajisteman vitès manje a—korele ak chanjman nan mete fil, aspè sifas la, ak varyasyon epesè total la (TTV). Kenbe presizyon koule a ak yon rezèv likid rapid ak reyaktif enpòtan anpil pou minimize domaj yo epi pwolonje lavi fil la.
Kesyon yo poze souvan
Kijan likid koupe wafer Silisyòm amelyore pèfòmans koupe fil dyaman?
Likid koupe wafer Silisyòm lan sèvi kòm yon lubrifyan ak yon likid refwadisman nan koupe fil dyaman. Fonksyon prensipal li se diminye friksyon epi disipe chalè ki pwodui nan koòdone fil-wafer la. Friksyon ak tanperati ki pi ba minimize mikwo-fant ak reyur sifas, sa ki ka lakòz domaj wafer ak yon pi ba rannman jeneral. Likid la pote tou debri nan zòn koupe a, kenbe fil dyaman an ak sifas wafer la pwòp. Retire patikil kontinyèl sa a bay sifas wafer ki pi lis epi sipòte yon fabrikasyon konsistan ak kalite siperyè. Pa egzanp, likid nano-koupe amelyore ak nanopartikil SiO₂ ak SiC ka penetre pi fon nan kerf la, diminye aspè sifas la ak defòmasyon wafer la, amelyore plis pwodiksyon wafer pou itilizasyon semi-kondiktè.
Ki sa ki yon debimèt likid koupe, e poukisa li enpòtan nan siye wafer?
Yon debimèt likid koupe mezire kantite egzak likid ki delivre nan zòn si a. Kenbe yon debimèt presi enpòtan anpil pou yon wilaj adekwa, yon bon disipasyon chalè, ak yon bon netwayaj debri. Si debimèt la twò ba, fil la chofe twòp oswa li akimile debri, sa ki lakòz reyur ak fant. Twòp debimèt ka gaspiye likid epi kreye dezekilib presyon, sa ki afekte platès waf la ak lavi zouti a. Debimèt likid koupe, tankou debimèt dansite anliy ak debimèt viskozite Lonnmeter fabrike, ede operatè yo kontwole epi ajiste ekipman an an tan reyèl. Sa asire pwosesis la rete nan paramèt optimal yo, maksimize rannman waf la epi minimize mete zouti a.
Kijan mezi koule mas Coriolis benefisye kontwòl likid koupe waf Silisyòm?
Mezi koule mas Coriolis la gen anpil valè pou mezi koule ak gwo presizyon nan pwodiksyon waf Silisyòm. Kontrèman ak debimèt tradisyonèl yo, detèktè Coriolis yo mezire koule mas la dirèkteman kèlkeswa viskozite likid la, dansite a, oswa varyasyon tanperati a. Karakteristik sa a pèmèt siveyans egzat divès kalite likid koupe waf, tankou sa yo ki gen nanopartikil. Rezilta a se yon livrezon konsistan nan likid koupe nan vitès ki kòrèk la, kenbe yon wilaj ak yon refwadisman ki estab malgre varyasyon pwosesis yo. Benefis sa yo kontribye dirèkteman nan yon kalite siperyè waf nan aplikasyon koupe fil dyaman ki mande anpil, kote kontwòl presi diminye domaj epi optimize pwodiktivite.
Ki faktè ki afekte mezire vitès koule nan aplikasyon pou si fil dyaman?
Mezi egzak debi a depann de plizyè varyab ki konekte youn ak lòt. Chwa detèktè a enpòtan anpil; pa egzanp, detèktè debi mas Coriolis yo bay done serye menm pou likid viskeuz oswa ki chaje ak patikil. Konpozisyon likid la—tankou prezans nanopartikil—ka chanje viskozite ak dansite epi enfliyanse egzijans kalibrasyon detèktè a. Dyamèt fil la ak vitès koupe a gen yon enpak tou sou kantite likid ki nesesè pou yon refwadisman efikas ak pou retire debri. Kalibrasyon pou chak pwosesis espesifik esansyèl pou garanti detèktè a li valè reyèl yo, pou asire ke yo itilize bon kantite likid koupe pou chak pakèt.
Èske nano-likid ak teknik ultrasons ka amelyore pénétration likid pandan koupe wafer Silisyòm?
Rechèch demontre ke nano-likid yo, patikilyèman sa yo ki gen nanopartikil SiO₂ ak SiC, ogmante efikasite livrezon likid nan koòdone kritik fil-wafer la. Patikil sa yo ede likid la rive nan fant mikwoskopik yo, sa ki asire pi bon refwadisman ak wilaj. Anplis de sa, teknik efè kapilè ultrasons yo amelyore mouvman ak penetrasyon likid la plis toujou, espesyalman nan koupe fil ultra-mens. Sa vle di mwens likid koupe nesesè pou reyalize pèfòmans optimal, epi rezilta yo enkli mwens adsorption likid, amelyorasyon mòfoloji sifas, ak pi ba pousantaj domaj. Avansman sa yo sipòte mouvman an nan direksyon wafer ki pi mens, ki gen pi gwo dyamèt nan tou de endistri semi-kondiktè ak fotovoltaik, ak detèktè siveyans likid koupe ki asire pwosesis la rete kontwole ak konsistan pandan tout chak sik pwodiksyon.
Dat piblikasyon: 25 Desanm 2025
