Kev ntsuas qhov ntws yog qhov tseem ceeb hauv kev txiav hlau silicon wafer pob zeb diamond, vim nws ua kom muaj kev xa cov kua txiav mus rau qhov sib txuas ntawm hlau-wafer—qhov tseem ceeb rau kev tswj hwm qhov txias zoo tshaj plaws, kev ua kom lubrication, thiab kev tshem tawm cov khib nyiab.RCov ntaub ntawv ntws raws sijhawm tiv thaiv cov kua dej tsis txaus lossis ntau dhau, uas yuav ua rau kub dhau, hlau tawg, qhov tsis zoo ntawm qhov chaw, lossis pov tseg. Kev ntsuas kom raug txo qhov sib txawv ntawm cov txheej txheem, tiv thaiv qhov tiaj tiaj ntawm wafer thiab qhov chaw ruaj khov, ua kom lub neej ntawm hlau ntev dua, thiab ua kom cov peev txheej siv tau zoo.
Kev Txheeb Xyuas Txog Kev Txiav Silicon Wafer thiab Lub Luag Haujlwm ntawm Cov Kua Txiav
Kev txiav hlau pob zeb diamond yog txoj kev tseem ceeb rau kev txiav cov monocrystalline thiab multicrystalline silicon ingots rau hauv wafers rau semiconductor thiab photovoltaic daim ntawv thov. Hauv cov txheej txheem no, cov hlau hlau - feem ntau yog 40–70 μm hauv txoj kab uas hla - yog coated nrog pob zeb diamond abrasive nplej. Cov hlau txav mus los ntawm kev kub ceev, thiab cov pob zeb diamond embedded zom cov silicon los ntawm kev sib txhuam, txo qhov tsis zoo ntawm qhov chaw thiab txhawb kev sib npaug ntawm wafer. Cov xov hlau txo qis txoj kab uas hla tau qhia hauv xyoo tas los no txo qhov kev poob kerf, uas yog hais txog cov khoom pov tseg ua cov khoom me me silicon thaum lub sijhawm ua haujlwm txiav. Kev poob kerf yog txiav txim siab los ntawm txoj kab uas hla ntawm cov hlau thiab qhov siab ntawm cov nplej abrasive protruding los ntawm qhov chaw ntawm cov hlau.
Txiav Hlau Pob Zeb Diamond
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Cov kua txiav ua ntau lub luag haujlwm tseem ceeb hauv kev txiav hlau pob zeb diamond. Lawv lub luag haujlwm tseem ceeb yog kom txias ob qho tib si ingot thiab hlau, tiv thaiv kev kub dhau uas yuav ua rau puas tsuaj rau silicon lossis txo lub neej ntawm hlau. Lawv kuj ntxuav cov khoom me me silicon uas tsim tawm thaum lub sijhawm txiav, uas pab tswj kom muaj qhov sib txuas huv si, tiv thaiv kev rov ua dua ntawm cov khib nyiab, thiab txo cov kab nrib pleb me me ntawm cov wafer. Ntxiv mus, cov kua txiav ua kom lubricate cov txheej txheem, txo qhov kev sib txhuam ntawm hlau thiab silicon, yog li ua kom lub neej ntawm hlau ntev dua thiab txhim kho qhov zoo ntawm kev txiav. Cov khoom sib xyaw thiab cov khoom siv lub cev ntawm cov kua txiav silicon wafer - xws li viscosity thiab density - yuav tsum tau tswj hwm kom zoo kom ua kom txias, tshem tawm cov chips, thiab tiv thaiv hlau.
Muaj ntau hom kua txiav wafer, suav nrog cov kua dej uas muaj cov khoom ntxiv rau kev ua kom lubrication zoo dua thiab cov khoom me me uas raug tso rau hauv. Qhov kev xaiv nyob ntawm kev tsim cov khoom siv, cov lus qhia ntawm wafer, thiab cov kev txwv ib puag ncig. Piv txwv li, dej deionized nrog surfactants lossis glycols, uas tsim los kom sib npaug ntawm kev ua kom txias thiab cov khoom seem tsawg.
Kev hloov pauv mus rau cov xov hlau pob zeb diamond ultra-thin hauv cov nroj tsuag wafer niaj hnub no ua rau muaj kev cov nyom hauv kev xa cov kua thiab kev tswj cov txheej txheem. Raws li cov xov hlau txoj kab uas hla me dua 40 μm, qhov kev pheej hmoo ntawm kev tawg xov hlau nce ntxiv thiab kev kam rau siab rau kev hloov pauv ntawm cov txheej txheem nruj. Kev ntsuas qhov ntsuas qhov ntsuas qhov ntsuas - txhawb nqa los ntawm cov thev naus laus zis xws li cov ntsuas dej ntws, cov ntsuas qhov ntsuas qhov ntsuas siab, thiab Coriolis cov ntsuas qhov ntsuas loj - yog qhov tseem ceeb kom tswj tau qhov txias thiab tshem tawm cov khib nyiab zoo. Cov ntsuas ntsuas kev saib xyuas cov kua txiav thiab cov kev daws teeb meem ntsuas qhov ntsuas dej ntws hauv kev lag luam ua rau cov neeg teb xov tooj tuaj yeem taug qab thiab kho cov nqi ntws hauv lub sijhawm tiag tiag, ua tiav qhov zoo tshaj plaws lubrication thiab qhov zoo ntawm qhov chaw. Qhov tseeb ntawm Coriolis cov ntsuas ntws yog qhov tseem ceeb heev rau kev tswj cov kua nrog ntau yam qhov sib txawv thiab viscosities, ua kom ntseeg tau tias muaj xwm txheej sib xws txawm tias qhov ceev txiav thiab cov xov hlau nce ntxiv.
Qhov kev thov kom muaj kev ntsuas qhov tseeb no tau hloov mus rau kev saib xyuas cov dej ntws xws li tus nqi ntws, qhov ceev, thiab viscosity. Cov cuab yeej zoo li cov los ntawm Lonnmeter muab kev ntsuas qhov tseeb, lub sijhawm tiag tiag uas tseem ceeb rau kev lees paub zoo thiab kev ua haujlwm zoo hauv kev txiav hlau pob zeb diamond siab heev. Raws li cov thev naus laus zis hlau txuas ntxiv mus, kev koom ua ke ntawm cov thev naus laus zis ntsuas kev ntws muaj zog yog qhov tseem ceeb rau kev tswj hwm wafer throughput, txo qis kerf poob, thiab txo cov kev xav tau tiav rau cov khoom siv silicon wafer.
Kev Sib Tw Xa Dej Hauv Kev Txiav Hlau Pob Zeb Diamond Precision
Hauv kev txiav cov hlau pob zeb diamond ntawm cov silicon wafers uas nyias heev—tshwj xeeb tshaj yog cov uas qis dua 40 µm—kev xa cov kua txiav silicon wafer kom raug rau qhov chaw txiav ua rau muaj kev cov nyom loj heev. Thaum cov hlau tuab txo qis, qhov chaw rau cov kua ntws kuj txo qis. Kev tswj cov kua txiav kom sib xws yog qhov tseem ceeb kom ntseeg tau tias muaj kev sib xyaw, kev tswj qhov kub, thiab kev tshem tawm cov khib nyiab ntawm qhov chaw sib cuag.
Cov kua dej ntws tsis sib xws lossis tsis txaus ua rau wafer adsorption, qhov twg wafer lo rau cov khoom siv tsis zoo vim tsis muaj roj nplua nyeem txaus. Qhov no tsis yog tsuas yog cuam tshuam rau cov txheej txheem txiav xwb tab sis kuj ua rau muaj kev pheej hmoo ntawm kev tawg lossis puas tsuaj ntawm wafer. Qhov ntxhib ntawm qhov chaw nce ntxiv thaum cov hlau thiab wafer tsis tau txais kev sib txhuam thiab txias tas li los ntawm cov kua txiav hlau pob zeb diamond. Cov nplaim puas tsuaj thiab cov teeb meem me me ua rau wafer zoo thiab cov txiaj ntsig txo qis, ua rau muaj teeb meem loj rau kev lag luam semiconductor thiab photovoltaic.
Peb yam tseem ceeb uas cuam tshuam rau cov kua dej nkag mus rau hauv qhov me me ntawm qhov sawing gap: cov qauv hlau, qhov ceev ntawm kev txiav, thiab kev ua haujlwm ntawm cov hlab ntsha. Cov qauv hlau—tshwj xeeb yog txoj kab uas hla ntawm cov hlau thiab kev faib tawm ntawm cov noob pob zeb diamond—ncaj qha cuam tshuam rau qhov yooj yim ntawm cov kua txiav silicon wafer ntws thiab lo rau thaj chaw sib cuag. Thaum siv cov hlau hauv qab 40 µm, thaj chaw me dua txwv tsis pub cov kua dej txav mus los. Kev txiav ceev dua txo lub sijhawm rau cov kua dej kom ncav cuag thiab txias qhov interface, ua rau muaj kev kub hnyiab hauv zos thiab tsis muaj roj nplua nyeem. Kev ua haujlwm ntawm cov hlab ntsha, lub peev xwm ntuj ntawm cov kua dej kom raug rub mus rau hauv qhov chaw nqaim, txiav txim siab tias cov kua dej khaws cia. Txawm li cas los xij, cov choj kua dej tib yam uas txhim kho kev thauj mus los ntawm cov kua dej tuaj yeem ua rau cov hlab ntsha lo rau ntawm cov hlau sib ze, ua rau muaj kev sib zog tsis sib xws thiab ua rau cov tuab ntawm wafer hloov pauv ntau ntxiv.
Kev qhia txog cov kua txiav wafer siab heev—xws li cov kev daws teeb meem uas txhim kho nanoparticle—muab kev txhim kho uas ntsuas tau. Cov kua uas tsim los nrog SiO₂ lossis SiC nanoparticles nkag mus rau hauv qhov sib txawv nqaim dua vim yog qhov ua kom zoo tshaj plaws viscosity thiab kev sib cuam tshuam ntawm qhov chaw. Cov kua no txhim kho kev sib txhuam thiab nqa cua sov mus rau qhov chaw zoo dua, ua rau qhov roughness ntawm qhov chaw qis dua thiab txhim kho wafer flatness. Kev tshawb fawb qhia tau hais tias kev siv cov kua nanoparticle-laden hloov pauv qhov kub thiab txias thaum lub sijhawm txiav, txo cov kev ntxhov siab uas ua rau wafer muaj kev phom sij. Qhov no, ua ke nrog cov txheej txheem xws li kev co ultrasonic los ua kom cov capillary thauj mus los loj dua, tso cai rau kev xa cov kua txiav hlau pob zeb diamond sib xws dua.
Kev xa cov kua dej tas li xav tau kev saib xyuas thiab kev hloov kho kom raug, lub sijhawm tiag tiag. Kev ntsuas cov kua dej txiav kev lag luam siab yog qhov tseem ceeb, tshwj xeeb tshaj yog nyob rau hauv cov txheej txheem tswj hwm nruj. Kev siv lub ntsuas dej ntws txiav - xws li lub ntsuas ntsuas Coriolis loj uas muaj qhov tseeb siab - ua rau muaj kev tswj hwm qhov nrawm ntawm kev xa khoom. Lonnmeter's inline density thiab viscosity meters, thaum ua ke nrog cov cuab yeej ntsuas qhov nrawm ntawm kev ntws, pab txhawb rau kev ua kom zoo dua ntawm cov kua dej kom txawm tias cov wafers nyias tshaj plaws raug txiav du, nrog rau qhov kev pheej hmoo tsawg kawg nkaus.
Kev Ntsuas Cov Kua Dej Hauv Kev Ua Haujlwm Txiav Wafer
Kev ntsuas qhov ntws kom raug yog qhov tseem ceeb rau kev ua kom zoo dua qhov kev xa cov kua txiav hauv kev txiav hlau pob zeb diamond ntawm silicon wafers. Qhov ua tau zoo ntawm cov kua txiav silicon wafer ncaj qha cuam tshuam rau qhov txias, lubrication, thiab kev tshem tawm cov khib nyiab ntawm qhov sib cuag, cuam tshuam rau qhov zoo ntawm qhov chaw wafer, kev poob kerf, thiab tag nrho cov txiaj ntsig ntawm kev tsim khoom. Kev ntws tsis txaus lossis ntau dhau hloov pauv qhov ua tau zoo ntawm kev sib txhuam, ua rau cov cuab yeej hnav ntau ntxiv, thiab tuaj yeem ua rau qhov zoo ntawm wafer tsis sib xws lossis cov nqi peev txheej siab dua. Kev tshawb fawb empirical qhia tau hais tias qhov roughness ntawm qhov chaw (Ra) thiab kev puas tsuaj hauv qab av tuaj yeem txo qis los ntawm kev tswj qhov ntws ntawm cov kua txiav hauv qhov zoo tshaj plaws 0.15–0.25 L / min rau cov tshuab ib leeg-hlau, vim tias kev ntws tsis txaus ua rau muaj cov kab nrib pleb me me thiab cov khib nyiab sib sau ua ke, thaum kev ntws ntau dhau ua rau muaj kev kub ntxhov thiab kev siv tsis tsim nyog.
Cov Txuj Ci rau Kev Ntsuas Qhov Ntws ntawm Cov Kua Txiav
Cov ntsuas dej ntws txiav sib xyaw rau hauv cov kab xa dej, ntsuas qhov ntim ntawm cov kua txiav hlau pob zeb diamond hauv lub sijhawm tiag tiag. Cov thev naus laus zis ntsuas dej ntws feem ntau suav nrog hom tshuab, hluav taws xob, thiab ultrasonic:
- Cov ntsuas dej ntws, xws li cov qauv turbine thiab paddlewheel, siv cov khoom sib hloov uas raug tshem tawm los ntawm cov kua dej ntws. Lawv yooj yim thiab ruaj khov tab sis yooj yim rau kev hnav los ntawm cov kua dej uas muaj abrasive.
- Cov ntsuas dej ntws hluav taws xob, tshwj xeeb tshaj yog cov qauv tsim hluav taws xob, ntsuas qhov ceev ntawm cov kua dej siv cov ntsiab cai ntawm kev siv hluav taws xob, muab kev ua haujlwm txhim khu kev qha, kev saib xyuas yooj yim rau cov kua dej conductive.
- Cov ntsuas dej ntws ultrasonic siv cov suab nrov siab uas xa thiab tau txais hla cov yeeb nkab. Los ntawm kev ntsuas qhov sib txawv ntawm lub sijhawm ntawm kev hloov pauv suab nrog thiab tawm tsam kev ntws, cov khoom siv no muab kev ntsuas tsis cuam tshuam, raug rau ntau hom kua txiav wafer.
Kev ntsuas qhov hnyav ntawm Coriolis sawv tawm hauv cov ntawv thov uas xav tau kev tswj hwm qhov hnyav ntawm cov kua dej kom meej, tsis hais txog qhov viscosity lossis qhov kub hloov pauv. Cov ntsuas qhov hnyav ntawm Coriolis ncaj qha ntsuas qhov hnyav ntawm cov kua dej raws li Coriolis effect, muab qhov tseeb siab thiab haum rau ob qho tib si dej thiab roj-raws li cov kua txiav hlau pob zeb diamond. Lonnmeter tsim cov ntsuas qhov ceev thiab viscosity inline, uas ua rau muaj kev saib xyuas cov khoom ntawm cov kua dej kom sib xws thiab kev tswj hwm cov txheej txheem zoo tshaj plaws hauv kev txiav silicon wafer.
Cov Kev Ntsuas Tseem Ceeb thiab Qhov Chaw Ntsuas Sensor
Kev ntsuas qhov tseeb ntawm cov kua dej ntws hauv kev txiav wafer yuav tsum tau ua tib zoo saib xyuas ntau yam tseem ceeb:
- Tus nqi ntws (L/min): Qhov kev ntsuas tseem ceeb rau kev ua kom zoo dua qub thiab kev paub tseeb zoo.
- Qhov Ceev thiab viscosity: Ob qho tib si cuam tshuam rau kev ua kom txias, kev thauj mus los ntawm abrasive, thiab kev tshem tawm cov khib nyiab.
- Kub: Cuam tshuam rau viscosity thiab tus cwj pwm ntawm cov kua ntawm qhov chaw txiav.
Qhov chaw ntawm lub sensor yog qhov tseem ceeb heev. Cov sensor ntsuas kev ntws yuav tsum tau muab tso rau hauv txoj kab xa dej kom ze rau thaj chaw txiav kom tsawg li tsawg tau kom txo qhov sib txawv vim yog kev tiv thaiv ntawm cov kav dej, kev xau, lossis kev ua pa ua ntej qhov sib tshuam txiav. Kev ntsuas inline tiag tiag ua kom ntseeg tau tias tus nqi ntws uas tau tshaj tawm phim qhov kev muab khoom tiag tiag rau thaj chaw txiav hlau pob zeb diamond.
Kev Ua Haujlwm ntawm Kev Ntsuas Kev Nqus Dej hauv Kev Tswj Xyuas Qhov Chaw Txiav Zoo Tshaj Plaws
Cov ntsuas kev ntsuas dej ntws yog qhov tseem ceeb rau kev saib xyuas lub sijhawm tiag tiag thiab kev tswj hwm kev hloov pauv ntawm cov kua dej xa mus rau hauv kev txiav silicon wafer kev lag luam. Kev tswj hwm qhov ntws zoo tshaj plaws ua kom muaj kev sib kis cua sov txaus, kev tshem tawm cov khib nyiab tas mus li, thiab kev sib npaug ntawm cov hlau pob zeb diamond. Yog tsis muaj qhov no, kev ruaj khov ntawm cov txheej txheem poob qis, lub neej hlau luv dua, thiab cov txiaj ntsig raug kev txom nyem vim muaj kev pheej hmoo ntawm qhov tsis zoo ntawm qhov chaw lossis kev poob kerf ntau dhau.
Los ntawm kev koom ua ke qhov kev ntsuas qhov nrawm nrawm nrog lwm cov kev ntsuas tawm tswv yim (piv txwv li, qhov ceev ntawm cov xov hlau, qhov nrawm ntawm kev pub), cov chaw tsim khoom tuaj yeem tswj hwm qhov kev hloov pauv ntawm qhov ntsuas ntawm cov txheej txheem, txuas ncaj qha rau kev hloov kho qhov nrawm nrawm nrog kev ua tau zoo ntawm kev txiav. Yog li ntawd, txhua qhov kev hloov pauv ntawm lub hnab ntawv ntws uas tau teeb tsa yuav ua rau muaj kev kho tam sim ntawd, tiv thaiv ob qho tib si qhov zoo ntawm cov txheej txheem thiab kev siv cov peev txheej zoo.
Hauv kev xaus lus, kev ntsuas dej ntws ntawm kev lag luam - vam khom cov ntsuas dej ntws zoo thiab cov ntaub ntawv tiag tiag - ua lub hauv paus rau kev tsim cov silicon wafer uas muaj txiaj ntsig zoo, pheej yig hauv lub caij txiav hlau pob zeb diamond.
Kev Ntsuas Coriolis Mass Flow: Cov Ntsiab Cai thiab Kev Siv
Kev ntsuas qhov loj ntawm Coriolis yog raws li kev ntes lub zog uas cov kua txav mus los ntawm cov raj vibrating. Thaum cov kua ntws - xws li cov kua txiav hlau pob zeb diamond lossis cov kua txiav silicon wafer tshwj xeeb - cov raj muaj kev hloov pauv me me, ntsuas tau. Qhov kev hloov pauv no yog proportional rau qhov loj ntawm cov kua ntws, muab kev ntsuas ncaj qha, lub sijhawm tiag tiag ntawm cov kua txiav xa tuaj. Tib lub hauv paus ntsiab lus tso cai rau kev ntsuas qhov ceev ntawm cov kua tib lub sijhawm, txhawb nqa qhov tseeb siab hla kev hloov pauv hom kua, cov khoom sib xyaw, thiab qhov kub - qhov yuav tsum tau ua tseem ceeb hauv kev tsim silicon wafer thiab cov ntawv thov txiav hlau pob zeb diamond.
Qhov zoo ntawm txoj hauv kev no rau cov kua txiav wafer, tshwj xeeb tshaj yog thaum siv cov kua txiav hlau pob zeb diamond siab, yog qhov tseem ceeb. Kev ntsuas ntws Coriolis yog ywj pheej ntawm cov kua viscosity thiab kev hloov pauv ntawm cov khoom sib xyaw, tseem muaj qhov tseeb heev thaum muaj cov khoom sib xyaw, nano-additives, lossis cov khoom sib xyaw heterogeneous feem ntau pom hauv cov kua txiav rau silicon wafers. Qhov kev ruaj khov no ua rau nws zoo dua li cov txheej txheem ntws volumetric ib txwm muaj, uas tuaj yeem cuam tshuam los ntawm cov npuas dej, cov khoom me me, thiab kev hloov pauv lub cev ntawm cov kua txiav siab heev.
Kev txiav wafer semiconductor vam khom ntau ntxiv rau kev siv cov cuab yeej ntsuas dej ntws siab heev kom ntseeg tau tias muaj kev soj ntsuam zoo ntawm cov kua txiav rau silicon wafers. Lonnmeter inline mass flow sensors, siv Coriolis effect, raug siv ncaj qha rau hauv cov kab ua haujlwm. Qhov no ua rau muaj kev xa khoom thiab kev soj ntsuam meej ntawm nano-fluid thiab diamond wire cutting fluid thaum lub sijhawm txiav wafer. Cov cim ntawm kev puas tsuaj ntawm cov kua, kev sib xyaw tsis sib xws, lossis kev hloov pauv ntawm qhov ceev tau raug kuaj pom tam sim ntawd, uas tso cai rau kev cuam tshuam tswj tam sim ntawd kom tswj tau cov txheej txheem thiab qhov zoo ntawm qhov chaw.
Kev sib piv cov Coriolis mass flow sensors rau lwm cov cutting fluid monitoring sensors—xws li thermal, electromagnetic, lossis ultrasonic flow systems—qhia tau ntau yam zoo. Coriolis mass flow sensors zoo heev hauv kev ntsuas qhov ntsuas qhov ntsuas siab thiab xa cov ntawv nyeem raws li qhov ntsuas tsis cuam tshuam los ntawm viscosity fluctuations lossis magnetic properties. Electromagnetic thiab ultrasonic meters muaj teeb meem nrog cov kua txiav uas muaj nanoparticles, air pockets, lossis minute density variations, feem ntau ua rau kev ntsuas qhov ntsuas qhov ntsuas tsis txhim khu kev qha thiab kev saib xyuas ntau zaus.
Qhov tseeb ntawm Coriolis flow meter raug tswj hwm nyob rau hauv kev hloov pauv ntawm cov kua dej, raws li kev ua cov cim thiab cov txheej txheem them nyiaj kub tau zoo lim cov suab nrov thiab kev hloov pauv ib puag ncig. Cov neeg teb xov tooj tuaj yeem siv cov ntaub ntawv tiag tiag los ua kom zoo dua qhov txias, lubrication, thiab kev tshem tawm cov khoom me me, teb rau ntau yam khoom ntawm ntau hom kua txiav wafer thiab nanofluid sib xyaw.
Kev hloov kho ntawm Coriolis qhov ntsuas qhov ntsuas ntawm cov khoom siv hluav taws xob uas nyias nyias thiab cov kua txiav nrog cov nanoparticles cim qhov kev hloov pauv hauv kev saib xyuas kev lag luam. Cov sensors ntsuas tau qhov tseeb ntawm qhov ntsuas thiab qhov ceev, tsis hais txog cov ntsiab lus ntawm cov khoom me me lossis cov kua dej sib txawv, ua rau muaj kev tswj hwm kaw-voj voog thiab kev tswj hwm cov kua dej tsis siv neeg uas tsim rau kev txiav wafer. Qib kev ntsuas qhov ntsuas qhov ntsuas siab no yog qhov tseem ceeb rau kev tswj hwm kev ruaj khov ntawm cov txheej txheem, txo cov khoom poob, thiab kev ruaj ntseg ntawm qhov chaw thaum lub sijhawm tsim silicon wafer thiab cov txheej txheem txiav hlau pob zeb diamond.
Kev Sib Koom Tes Cov Ntaub Ntawv Ntsuas Kev Nqus Dej rau hauv Kev Tswj Xyuas Txheej Txheem
Kev ntsuas dej ntws tiag tiag siv Coriolis mass flow sensors tau hloov pauv kev tswj cov kua txiav thaum lub sijhawm txiav cov hlau pob zeb diamond ntawm silicon wafers. Inline density thiab viscosity meters, zoo li cov uas tsim los ntawm Lonnmeter, ua rau muaj kev saib xyuas tam sim ntawd ntawm cov khoom ntawm cov kua thiab tus nqi ntws, txhawb nqa kev tswj cov txheej txheem kom meej.
Kev tswj cov nqi ntws zoo tshaj plaws yog qhov tseem ceeb rau kev txias, kev ntxuav, thiab kev ua kom lubrication ntawm cov hlau pob zeb diamond thiab silicon wafers zoo. Coriolis mass flow meters ua tau zoo hauv qhov chaw ib puag ncig no los ntawm kev muab cov lus teb siab, lub sijhawm tiag tiag ntawm cov dej ntws thiab cov yam ntxwv ntawm cov kua. Nrog cov ntaub ntawv no, cov tshuab tsis siv neeg tuaj yeem kho qhov ceev ntawm lub twj tso kua mis, qhov chaw valve, lossis rov ua dua cov nqi kom xa cov ntim thiab cov khoom sib xyaw ntawm cov kua txiav wafer. Piv txwv li, thaum lub sijhawm txiav sai, cov ntaub ntawv sensor yuav ua rau muaj kev xa dej ntau ntxiv rau kev tshem tawm cov khib nyiab thiab txias, thaum lub sijhawm qeeb dua yuav xav tau kev ntws tsawg dua kom tsis txhob muaj khib nyiab.
Cov lus teb los ntawm cov ntsuas ntsuas kev ntws kuj tseem ceeb heev rau kev teb rau cov xwm txheej hloov pauv ntawm cov kua dej. Thaum cov kua viscosity lossis qhov ceev hloov pauv - vim yog qhov kub hloov pauv lossis kev ua qias tuaj - Lonnmeter's inline meters ntes tau cov kev hloov pauv no tam sim ntawd, tso cai rau cov kab ke tswj hwm los ntawm kev kho cov nqi ntws lossis pib lim dej. Txoj hauv kev granular, tsav los ntawm cov ntaub ntawv no ua kom cov kua dej nyob hauv cov lus qhia nruj rau kev ua haujlwm zoo tshaj plaws.
Hauv cov chaw muaj ntau yam khoom siv, lub peev xwm los saib xyuas thiab tswj cov kua txiav ntws hauv lub sijhawm tiag tiag txhawb nqa qhov tuab sib xws thiab txo qhov tshwm sim ntawm cov qhov tsis zoo kim, raws li pom hauv cov kab tsim khoom lag luam hauv Asia thiab Europe. Kev tswj cov kua siab heev kuj txhawb nqa kev saib xyuas ua ntej, ua kom lub xov hlau pob zeb diamond ntev dua.
Kev ua haujlwm hauv kev lag luam tau txais txiaj ntsig zoo los ntawm cov txheej txheem tswj cov kua txiav. Kev tswj cov kua zoo txo cov nqi siv thiab pov tseg los ntawm kev ua kom muaj kua txaus rau txhua lub wafer, txhawb nqa kev ruaj khov thiab kev ua raws li txoj cai. Kev txo cov dej pov tseg - ua los ntawm kev tawm tswv yim tas mus li thiab kev hloov kho raws li cov ntaub ntawv sensor - txhais tau tias txo cov nuj nqis ua haujlwm thiab txo qhov cuam tshuam rau ib puag ncig.
Hauv kev xaus lus, kev koom ua ke ntawm cov ntaub ntawv ntsuas kev ntws tiag tiag, ua los ntawm Lonnmeter cov kev daws teeb meem inline, tsis yog tsuas yog lub hauv paus rau kev lees paub zoo ntawm wafer tab sis kuj yog qhov zoo dua rau kev ua haujlwm rau cov txheej txheem txiav hlau pob zeb diamond. Nws muab kev txhim kho ntsuas tau hauv qhov tiav ntawm qhov chaw, kev ntseeg siab ntawm cov khoom siv, cov txiaj ntsig tsim khoom, thiab kev siv nyiaj tsim nyog.
Kev Nkag Siab Txog Kev Sim thiab Kev Qhia Txog Kev Lag Luam
Cov kev tshawb fawb tsis ntev los no tau hloov kho cov kev coj ua zoo tshaj plaws hauv kev xa cov kua rau kev txiav hlau pob zeb diamond ntawm silicon wafers. Kev tshawb fawb qhia tau hais tias kev tswj hwm cov kua txiav kom raug, tshwj xeeb tshaj yog siv cov txheej txheem siab heev, cuam tshuam ncaj qha nrog kev nqus wafer qis dua thiab qhov zoo ntawm qhov chaw.
Kev siv cov nyhuv ultrasonic capillary hauv kev xa kua tau tshwm sim ua qhov kev hloov pauv loj. Cov nthwv dej ultrasonic tsav cov kua txiav tob dua rau hauv cov kerfs ultrathin - tshwj xeeb tshaj yog nyob rau hauv thaj chaw nqaim dua 50 μm - qhov twg cov txheej txheem muab khoom ib txwm ua tsis tiav. Qhov kev nkag mus ntxiv no txo qhov kev nqus ntawm cov khoom me me thiab cov khib nyiab rau ntawm qhov chaw wafer. Kev sim empirical qhia tau hais tias cov wafers raug rau kev pabcuam kua ultrasonic qhia tau tias muaj qhov tsis zoo ntawm qhov chaw tsawg dua, yog li ntawd cov txiaj ntsig zoo dua thiab kev ntseeg siab hauv cov txheej txheem downstream.
Kev ua kom zoo dua ntawm cov txheej txheem ntsuas yog qhov tseem ceeb rau kev ua kom tau txiaj ntsig zoo tshaj plaws ntawm ob qho tib si ultrasonic enhancement thiab nano-fluid technologies hauv kev txiav cov kua dej xa tuaj. Cov txheej txheem tseem ceeb suav nrog:
- Qhov nrug ntawm phaj: Qhov sib txawv ntawm lub thawv ntim kua thiab thaj chaw txiav yuav tsum raug txo kom tsawg kawg nkaus rau qhov dej nce siab zoo tshaj plaws.
- Qhov chaw ntawm lub transducer ultrasonic thiab kev teeb tsa parallelism: Geometry uas tau txhais meej meej ua kom muaj kev sib kis ntawm nthwv dej thiab kev ua haujlwm ntawm capillary.
- Kub ntawm cov kua dej: Kev tswj cua sov ua rau cov kua dej txav mus los thiab ua haujlwm tau zoo dua.
- Lub sijhawm thiab zaus ntawm kev siv ultrasonic: Lub sijhawm kom raug tiv thaiv kev kub dhau thaum ua kom muaj kev nkag mus ntau tshaj plaws.
- Kev xaiv hom kua: Cov kua dej sib txawv thiab cov khoom ntxiv teb rau kev txhawb nqa ultrasonic.
Cov thev naus laus zis Nanofluid qhia txog lwm qhov kev nce qib loj. Cov kua txiav uas muaj cov nanoparticles xws li SiO2 thiab SiC qhia tau tias muaj kev ua kom sov thiab lubrication zoo dua. Qhov kev hloov kho no ua rau muaj kev txias zoo dua, tshem tawm cov khib nyiab zoo dua, thiab txo qhov roughness ntawm wafer. Cov ntaub ntawv qhia tau tias cov qauv nano-particle sib xyaw ua ke muab kev txhim kho synergistic, txo qis warpage thiab tsim cov wafer morphology zoo dua li cov kua txiav ib hom lossis cov kua txiav ib txwm muaj.
Cov chaw tsim khoom uas xav kom ua kom lawv cov kua txiav ua haujlwm tau zoo dua tuaj yeem siv cov lus qhia ua haujlwm hauv qab no:
- Siv cov ntsuas qhov ceev inline thiab cov ntsuas viscosity (xws li cov los ntawm Lonnmeter) los saib xyuas thiab tswj kev sib xws ntawm cov kua txiav, kom ntseeg tau tias cov khoom ntws tseem zoo tagnrho rau ultrasonic thiab nano-kev pab.
- Saib xyuas thiab kho cov nqi ntws ntawm cov kua txiav siv lub ntsuas ntsuas qhov ntsuas siab. Kev ntsuas qhov ntsuas ntawm Coriolis mass flow yog qhov tshwj xeeb tshaj yog rau kev ntsuas qhov ntws ntawm cov kua txiav hauv kev lag luam, muab qhov tseeb tiag tiag rau ob qho tib si qhov ceev thiab ntim.
- Tsis tu ncua calibrate cov sensors ntsuas kev ntws kom tswj tau qhov nyeem tau zoo, qhov tseem ceeb rau kev ua cov wafer tas li.
- Xaiv cov hom kua txiav wafer thiab cov nanoparticle concentration uas phim rau qhov loj me ntawm wafer, cov yam ntxwv ntawm cov hlau pob zeb diamond, thiab ib puag ncig ua haujlwm.
Cov kev tshawb fawb sib piv lees paub tias kev hloov pauv ntawm ib qho kev ntsuas - xws li kev nce qhov ceev ntawm cov hlau lossis kev hloov kho qhov nrawm ntawm kev pub - muaj feem cuam tshuam nrog kev hloov pauv ntawm kev hnav ntawm cov hlau, qhov ntxhib ntawm qhov chaw, thiab qhov sib txawv ntawm tag nrho cov tuab (TTV). Kev tswj qhov tseeb ntawm kev ntws thiab kev xa dej sai, teb tau zoo yog qhov tseem ceeb rau kev txo qis qhov tsis zoo thiab ua kom lub neej ntawm cov hlau ntev dua.
Cov Lus Nug Feem Ntau
Cov kua txiav silicon wafer txhim kho kev ua tau zoo ntawm kev txiav hlau pob zeb diamond li cas?
Cov kua txiav silicon wafer ua haujlwm ua cov roj nplua nyeem thiab cov dej txias hauv kev txiav hlau pob zeb diamond. Nws lub luag haujlwm tseem ceeb yog txo qhov sib txhuam thiab tshem tawm cov cua sov tsim ntawm qhov sib txuas ntawm hlau thiab wafer. Kev sib txhuam thiab qhov kub qis dua txo cov kab nrib pleb me me thiab cov khawb ntawm qhov chaw, uas tuaj yeem ua rau wafer puas tsuaj thiab txo qis tag nrho cov txiaj ntsig. Cov kua kuj tseem nqa cov khib nyiab tawm ntawm thaj chaw txiav, ua kom cov hlau pob zeb diamond thiab qhov chaw wafer huv si. Qhov kev tshem tawm cov khoom me me no ua rau cov nplaim wafer du thiab txhawb nqa kev tsim khoom zoo tas li. Piv txwv li, cov kua txiav nano-txiav zoo dua nrog SiO₂ thiab SiC nanoparticles tuaj yeem nkag mus tob dua rau hauv kerf, txo qhov roughness ntawm qhov chaw thiab wafer warpage, txhim kho cov zis wafer rau kev siv semiconductor.
Lub ntsuas dej ntws yog dab tsi, thiab vim li cas nws thiaj tseem ceeb hauv kev txiav wafer?
Lub ntsuas dej ntws ntsuas qhov tseeb ntawm cov kua xa mus rau thaj chaw txiav. Kev tswj cov dej ntws kom raug yog qhov tseem ceeb rau kev ua kom txaus, kev tso cua sov, thiab kev tshem tawm cov khib nyiab. Yog tias cov dej ntws tsawg dhau, cov hlau kub dhau lossis khaws cov khib nyiab, ua rau khawb thiab tawg. Cov dej ntws ntau dhau tuaj yeem pov tseg cov kua thiab tsim kev tsis sib npaug ntawm lub siab, cuam tshuam rau wafer flatness thiab lub neej ntawm cov cuab yeej. Cov ntsuas dej ntws txiav, xws li inline density meters thiab viscosity meters tsim los ntawm Lonnmeter, pab cov neeg ua haujlwm saib xyuas thiab kho cov khoom siv hauv lub sijhawm tiag tiag. Qhov no ua kom ntseeg tau tias cov txheej txheem nyob hauv cov kev cai zoo tshaj plaws, ua kom cov wafer ntau tshaj plaws thiab txo cov cuab yeej hnav.
Kev ntsuas qhov ntsuas ntawm Coriolis pab tau li cas rau kev tswj cov kua txiav silicon wafer?
Kev ntsuas qhov ntsuas ntawm Coriolis yog qhov tseem ceeb heev rau kev ntsuas qhov ntsuas siab hauv kev tsim cov silicon wafer. Tsis zoo li cov ntsuas ntws ib txwm muaj, Coriolis sensors ncaj qha ntsuas qhov ntsuas qhov ntsuas tsis hais txog cov kua viscosity, qhov ceev, lossis qhov kub thiab txias. Qhov no ua rau muaj kev soj ntsuam zoo ntawm ntau hom kua txiav wafer, suav nrog cov uas muaj nanoparticles. Qhov tshwm sim yog kev xa cov kua txiav tas li ntawm qhov nrawm, tswj kev lubrication ruaj khov thiab txias txawm tias muaj kev hloov pauv ntawm cov txheej txheem. Cov txiaj ntsig no pab ncaj qha rau qhov zoo ntawm wafer hauv kev siv cov hlau pob zeb diamond txiav, qhov twg kev tswj hwm meej txo qhov tsis zoo thiab ua kom zoo dua qub.
Cov yam dab tsi cuam tshuam rau kev ntsuas qhov ntws hauv cov ntawv thov pob zeb diamond wire saw?
Kev ntsuas qhov ntws kom raug yog nyob ntawm ntau yam kev sib txuas ua ke. Kev xaiv sensor yog qhov tseem ceeb; piv txwv li, Coriolis mass flow sensors muab cov ntaub ntawv txhim khu kev qha txawm tias rau cov kua viscous lossis cov khoom me me uas muaj cov khoom me me. Cov kua muaj pes tsawg leeg—xws li qhov muaj cov nanoparticles—tej zaum yuav hloov viscosity thiab density thiab cuam tshuam rau qhov yuav tsum tau calibration sensor. Txoj kab uas hla ntawm cov hlau thiab qhov ceev txiav kuj cuam tshuam rau qhov xav tau kua ntau npaum li cas rau kev txias thiab tshem tawm cov khib nyiab. Kev calibration rau txhua txoj kev tshwj xeeb yog qhov tseem ceeb kom paub tseeb tias lub sensor nyeem cov nqi tseeb, kom ntseeg tau tias cov kua txiav raug siv rau txhua pawg.
Cov nano-fluids thiab cov txheej txheem ultrasonic puas tuaj yeem ua kom cov kua nkag mus rau hauv lub sijhawm txiav silicon wafer?
Kev tshawb fawb qhia tau hais tias cov nano-fluids, tshwj xeeb tshaj yog cov uas muaj SiO₂ thiab SiC nanoparticles, ua rau kom muaj kev ua haujlwm zoo ntawm kev xa cov kua mus rau qhov tseem ceeb ntawm cov hlau-wafer interface. Cov khoom me me no pab cov kua mus txog qhov sib txawv me me, ua kom txias thiab lubrication zoo dua. Tsis tas li ntawd, cov txheej txheem ultrasonic capillary effect ntxiv txhim kho kev txav mus los ntawm cov kua thiab kev nkag mus, tshwj xeeb tshaj yog hauv kev txiav hlau ultra-thin. Qhov no txhais tau tias tsawg dua cov kua txiav yog qhov xav tau kom ua tiav qhov kev ua tau zoo tshaj plaws, thiab cov txiaj ntsig suav nrog kev txo qis cov kua adsorption, txhim kho cov qauv ntawm qhov chaw, thiab qis dua qhov tsis zoo. Cov kev nce qib no txhawb nqa kev txav mus rau cov wafers nyias dua, loj dua hauv ob qho tib si semiconductor thiab photovoltaic kev lag luam, nrog rau cov kua txiav saib xyuas cov sensors ua kom cov txheej txheem tseem tswj hwm thiab sib xws thoob plaws txhua lub voj voog ntau lawm.
Lub sijhawm tshaj tawm: Lub Kaum Ob Hlis-25-2025
