Ma'aunin kwarara yana da matuƙar muhimmanci a yanke waya mai siffar lu'u-lu'u ta silicon, domin yana tabbatar da isar da isasshen ruwa zuwa ga hanyar sadarwa ta waya - yana da matuƙar muhimmanci don kiyaye sanyaya, shafawa, da kuma cire tarkace.RBayanan kwararar lokaci-lokaci suna hana isasshen ruwa ko yawan samar da shi, wanda in ba haka ba zai haifar da zafi fiye da kima, karyewar waya, lahani a saman, ko ɓata. Daidaitaccen aunawa yana rage bambancin tsari, yana kare lanƙwasa wafer da kuma daidaiton saman, yana tsawaita tsawon rayuwar waya, kuma yana inganta ingancin albarkatu.
Bayani Kan Yanke Wafer na Silicon da Matsayin Ruwan Yankan
Yanke waya ta lu'u-lu'u ita ce babbar dabarar yanka ingots na silicon monocrystalline da multicrystalline zuwa wafers don aikace-aikacen semiconductor da photovoltaic. A cikin wannan tsari, ana lulluɓe waya ta ƙarfe - yawanci diamita na 40-70 μm - da ƙwayoyin lu'u-lu'u masu abrasive. Wayar tana motsawa da sauri, kuma lu'u-lu'u da aka saka suna niƙa silicon ta hanyar gogewa, suna rage lahani a saman kuma suna haɓaka daidaiton wafer. Wayoyin diamita da aka rage da aka gabatar a cikin 'yan shekarun nan suna rage asarar kerf, wanda ke nufin kayan da aka ɓata a matsayin ƙananan ƙwayoyin silicon yayin aikin yankewa. Asarar kerf ana ƙaddara ta hanyar diamita na waya da tsayin ƙwayoyin abrasive da ke fitowa daga saman waya.
Yankan Wayar Lu'u-lu'u
*
Ruwan yankewa yana taka muhimmiyar rawa a aikin yanke waya ta lu'u-lu'u. Babban aikinsu shine sanyaya ingot da waya, hana zafi fiye da kima wanda zai iya lalata silicon ko rage tsawon rayuwar waya. Hakanan suna wanke ƙananan ƙwayoyin silicon da ake samarwa yayin yankewa, wanda ke taimakawa wajen kiyaye tsabtataccen haɗin kai, hana sake sanya tarkace, da rage ƙananan fasa a saman wafer. Bugu da ƙari, ruwan yankewa yana sa mai yaɗuwa ya yi aiki, yana rage gogayya tsakanin waya da silicon, don haka yana tsawaita tsawon rayuwar waya da inganta ingancin yankewa. Dole ne a kula da abubuwan da ke cikin ruwan yanke waya na silicon - kamar ɗanko da yawa - a hankali don inganta sanyaya, cire guntu, da kariyar waya.
Akwai nau'ikan ruwan wafer da yawa, ciki har da ruwan da aka yi da ruwa tare da ƙari don ƙara man shafawa da dakatar da barbashi. Zaɓin ya dogara da ƙirar kayan aiki, ƙayyadaddun wafer, da ƙuntatawa na muhalli. Misalan sun haɗa da ruwan da aka cire ionized tare da surfactants ko glycols, waɗanda aka ƙera don daidaita ingancin sanyaya tare da ƙarancin samuwar ragowar.
Juyin halittar wayoyin lu'u-lu'u masu siriri sosai a cikin masana'antun zamani na wafer yana ƙara ƙalubalen isar da ruwa da sarrafa tsari. Yayin da diamita na waya ke raguwa ƙasa da 40 μm, haɗarin karyewar waya yana ƙaruwa kuma haƙurin canjin tsari yana ƙaruwa. Ma'aunin kwararar ruwa daidai - wanda fasaha kamar yanke mita kwararar ruwa, na'urori masu auna kwararar ruwa masu inganci, da na'urori masu auna kwararar ruwa na Coriolis - yana da mahimmanci don kiyaye ingantaccen sanyaya da cire tarkace. Na'urori masu auna sa ido kan ruwa da hanyoyin auna kwararar ruwa na masana'antu suna ba wa masu aiki damar bin diddigin da daidaita yawan kwararar ruwa a ainihin lokaci, suna cimma ingantaccen man shafawa da ingancin saman. Daidaiton mitar kwararar ruwa na Coriolis yana da matuƙar mahimmanci don sarrafa ruwa mai yawa da viscosities daban-daban, yana tabbatar da yanayi mai daidaito koda kuwa saurin yankewa da tashin hankali na waya suna ƙaruwa.
Wannan ƙaruwar buƙatar daidaito ya mayar da hankali kan sa ido kan sigogin ruwa masu ƙarfi kamar ƙimar kwarara, yawa, da ɗanko. Kayan aiki kamar waɗanda aka yi daga Lonnmeter suna ba da ma'auni masu inganci, na ainihin lokaci waɗanda suke da mahimmanci don tabbatar da inganci da haɓaka tsari a cikin ayyukan yanke waya na lu'u-lu'u na ci gaba. Yayin da fasahar waya ke ci gaba da ci gaba, haɗakar fasahar auna kwarara mai ƙarfi yana da mahimmanci don ci gaba da samar da wafer, rage asarar kerf, da rage buƙatun kammalawa na ƙasa don ɓangaren masana'antar silicon wafer.
Kalubalen Isar da Ruwa a Yanke Wayar Lu'u-lu'u Mai Daidaito
A cikin yanke waya ta lu'u-lu'u, musamman waɗanda ba su kai 40 µm ba, isar da adadin ruwan yanka silicon zuwa ga hanyar yankewa ya zama babban ƙalubale. Yayin da kauri na waya ke raguwa, haka nan sararin kwararar ruwa ke raguwa. Kula da isasshen ruwan yankewa yana da mahimmanci don tabbatar da man shafawa, sarrafa zafin jiki, da kuma cire tarkace a wurin hulɗa.
Rashin daidaito ko rashin isasshen kwararar ruwa yana haifar da shaƙar wafer kai tsaye, inda wafer ɗin ke manne da kayan aiki ba tare da so ba saboda rashin isasshen man shafawa. Wannan ba wai kawai yana kawo cikas ga tsarin yankewa ba, har ma yana ƙara haɗarin karyewar wafer ko lalacewa. Tsananin saman yana ƙaruwa sosai lokacin da wayar da wafer ɗin ba sa samun man shafawa da sanyaya akai-akai daga ruwan yanke waya na lu'u-lu'u. Sakamakon lalacewar saman da ƙananan lahani na rage ingancin wafer da yawan amfanin ƙasa, wanda ke haifar da manyan cikas ga masana'antar semiconductor da photovoltaic.
Manyan abubuwa guda uku suna shafar shigar ruwa cikin ramin yanka na ƙananan sikelin: tsarin waya, saurin yankewa, da aikin capillary. Tsarin waya—musamman diamita na waya da rarrabawar ƙwayoyin lu'u-lu'u—suna tasiri kai tsaye yadda ruwan silicon wafer mai yankewa ke gudana cikin sauƙi da mannewa zuwa yankin hulɗa. Lokacin amfani da wayoyi ƙasa da µm 40, ƙaramin yankin saman yana iyakance motsi na ruwa kyauta. Saurin yankewa mafi girma yana rage lokacin da ruwan zai isa da sanyaya hanyar haɗin, wanda ke haifar da zafi mai yawa a wuri da rashin man shafawa. Aikin capillary, ikon halitta na jan ruwa zuwa wurare masu kunkuntar, yana da matuƙar ƙayyade riƙe ruwa. Duk da haka, gadoji iri ɗaya na ruwa waɗanda ke haɓaka jigilar ruwa na iya gabatar da mannewar capillary tsakanin wayoyi da ke kusa, yana haifar da tashin hankali mara daidaituwa da ƙaruwar bambancin kauri wafer.
Gabatar da nau'ikan ruwan wafer masu inganci—gami da mafita masu haɓaka nanoparticle—yana ba da ci gaba mai ma'ana. Ruwan da aka ƙera da SiO₂ ko SiC nanoparticles suna ratsa ƙananan gibin da kyau saboda ingantaccen danko da hulɗar saman. Waɗannan ruwan suna ƙara man shafawa kuma suna ɗauke da zafi cikin inganci, wanda ke haifar da ƙarancin ƙaiƙayi a saman da kuma ingantaccen lanƙwasa wafer. Bincike ya nuna cewa amfani da ruwan nanoparticle yana canza yanayin zafin jiki yayin yankawa, yana ƙara rage damuwa da ke barazana ga ingancin wafer. Wannan, tare da dabaru kamar girgizar ultrasonic don ƙara yawan jigilar capillary, yana ba da damar isar da ruwa mai kama da juna na waya mai yanke lu'u-lu'u.
Isar da ruwa mai daidaito yana buƙatar sa ido da daidaitawa na lokaci-lokaci. Ma'aunin kwararar ruwa mai inganci na masana'antu ya zama dole, musamman a cikin hanyoyin da aka tsara sosai. Aiwatar da mitar kwararar ruwa mai yankewa - kamar firikwensin auna kwararar ruwa mai cikakken daidaito na Coriolis - yana ba da damar daidaita ƙimar isarwa daidai. Mita mai yawa da ɗanko na Lonnmeter, idan aka haɗa su da kayan aikin auna ƙimar kwarara daidai, suna ba da gudummawa wajen inganta wadatar ruwa don haka har ma da mafi siririn wafers ana yanke su cikin sauƙi, tare da ƙarancin haɗarin lahani.
Auna Gudun Ruwa a Ayyukan Yanke Wafer
Daidaitaccen ma'aunin kwararar ruwa yana da mahimmanci don inganta isar da ruwa a cikin yanke waya na silicon. Ingancin ruwan yanka silicon wafer kai tsaye yana siffanta sanyaya, shafawa, da cire tarkace a mahaɗin hulɗa, yana shafar ingancin saman wafer, asarar kerf, da kuma yawan samarwa gaba ɗaya. Rashin isasshen kwarara ko wuce gona da iri yana canza tasirin gogewa, yana ƙara lalacewar kayan aiki, kuma yana iya haifar da rashin daidaiton ingancin wafer ko ƙarin farashin albarkatu. Binciken gwaji ya nuna cewa za a iya rage taurin saman (Ra) da lalacewar ƙasa ta hanyar kiyaye ƙimar kwararar ruwa a cikin mafi kyawun kewayon 0.15-0.25 L/min ga injunan waya guda ɗaya, saboda rashin isasshen kwarara yana haifar da ƙananan fasa da tarin tarkace, yayin da yawan kwarara ke haifar da rudani da amfani mara amfani.
Fasaha don Yanke Ma'aunin Gudun Ruwa
Ma'aunin kwararar ruwa yankan ya haɗu cikin layukan samar da ruwa, yana auna girman ruwan yanke waya na lu'u-lu'u da aka kawo a ainihin lokaci. Fasahar mitar kwarara ta yau da kullun ta haɗa da nau'ikan injina, lantarki, da ultrasonic:
- Mita mai kwararar injina, kamar ƙirar injin turbine da ƙafafun paddlewheel, suna amfani da abubuwan juyawa waɗanda ruwan ya motsa. Suna da sauƙi kuma masu ƙarfi amma suna iya lalacewa daga ruwan da ke ɗauke da abubuwa masu ƙera su.
- Mita mai kwararar lantarki, musamman ƙirar lantarki, suna auna saurin ruwa ta amfani da ƙa'idodin shigar da lantarki ta hanyar lantarki, suna ba da ingantaccen aiki mai sauƙi ga ruwa mai gudana.
- Mita mai kwararar ultrasonic tana amfani da raƙuman sauti masu yawan mita da ake watsawa da karɓa a cikin bututun. Ta hanyar auna bambancin lokaci na jigilar sauti tare da kuma akan kwarara, waɗannan na'urori suna ba da ma'auni mai inganci wanda ba ya kutsewa, wanda ya dace da nau'ikan ruwan yanke wafer daban-daban.
Ma'aunin kwararar taro na Coriolis ya fi shahara a aikace-aikace inda ake buƙatar cikakken iko kan yawan ruwa, ba tare da la'akari da canjin yanayi ko yanayin zafi ba. Na'urori masu auna kwararar taro na Coriolis suna auna yawan kwararar taro kai tsaye bisa ga tasirin Coriolis, suna samar da daidaito da dacewa ga ruwan yanke waya na lu'u-lu'u da aka yi da ruwa da mai. Lonnmeter yana ƙera mitar yawa da kuma na ɗanko a layi, wanda ke ƙara ba da damar sa ido kan halayen ruwa don daidaito da ingantaccen sarrafa tsari a yanke silicon wafer.
Ma'aunin Ma'auni Mai Muhimmanci da Sanya Firikwensin
Daidaiton auna kwararar ruwa a cikin yanke wafer yana buƙatar kulawa ga sigogi da yawa masu mahimmanci:
- Yawan kwarara (L/min): Babban ma'auni don inganta tsari da tabbatar da inganci.
- Yawan danshi da danko: Dukansu suna da tasiri sosai kan aikin sanyaya, jigilar abubuwa masu lalata, da kuma share tarkace.
- Zafin jiki: Yana shafar danko da kuma yanayin ruwa a wurin da aka yanke.
Sanya firikwensin yana da matuƙar muhimmanci. Dole ne a sanya firikwensin auna kwarara kai tsaye a cikin layin isar da ruwa kusa da yankin yankewa gwargwadon iyawa don rage bambance-bambancen da ke tattare da juriyar bututu, zubewa, ko ƙafewa kafin a haɗa hanyar yankewa. Ma'aunin layi na ainihin lokaci yana tabbatar da cewa ƙimar kwararar da aka ruwaito ta yi daidai da ainihin wadatar da ke akwai ga yankin yanke waya ta lu'u-lu'u.
Aikin Auna Guduwar Ruwa wajen Kula da Muhalli Mafi Kyau na Yankan Ruwa
Na'urori masu auna kwarara suna da mahimmanci don sa ido a ainihin lokaci da kuma daidaita isar da ruwa a cikin yanke silicon wafer na masana'antu. Kula da ingantaccen saurin kwarara yana tabbatar da isasshen zubar zafi, ci gaba da kwashe tarkace, da kuma shafa mai iri ɗaya tare da wayar lu'u-lu'u. Ba tare da wannan ba, kwanciyar hankali na tsari yana raguwa, tsawon rayuwar waya yana raguwa, kuma yawan amfanin ƙasa yana wahala saboda ƙaruwar haɗarin lahani a saman ko asarar kerf mai yawa.
Ta hanyar haɗa ma'aunin kwararar da ta dace da sauran sigogin amsawa (misali, saurin waya, ƙimar ciyarwa), masana'antun za su iya tilasta sarrafa madaidaicin matakin aiwatarwa, suna haɗa kai tsaye daidaitawar ƙimar kwarara tare da aikin yankewa da aka lura. Sakamakon haka, duk wani karkacewa daga ambulan kwararar da aka tsara yana haifar da aikin gyara nan take, yana kare ingancin tsari da ingancin albarkatu.
A taƙaice, ma'aunin kwararar ruwa na masana'antu - wanda ya dogara da na'urori masu auna kwararar ruwa masu ƙarfi da bayanai na ainihin lokaci - yana aiki a matsayin ginshiƙi don samar da wafer silicon mai yawan amfani da farashi mai yawa a zamanin yanke waya ta lu'u-lu'u.
Ma'aunin Gudun Yawan Coriolis: Ka'idoji da Amfani da su
Ma'aunin kwararar ruwan Coriolis ya dogara ne akan gano ƙarfin da ruwa ke motsawa ta cikin bututun girgiza. Yayin da ruwan ke gudana - kamar ruwan yanke waya na lu'u-lu'u ko ruwan yanke waya na musamman na silicon - bututun suna fuskantar ƙaramin canji mai aunawa. Wannan canjin yana daidai da ƙimar kwararar ruwan, yana ba da ƙididdige nauyin ruwan yanke da aka kawo kai tsaye, a ainihin lokaci. Wannan ƙa'ida ɗaya tana ba da damar auna yawan ruwa a lokaci guda, yana tallafawa babban daidaito a tsakanin nau'ikan ruwa masu canzawa, abubuwan da aka haɗa, da yanayin zafi - muhimmin buƙata a cikin kera wafer na silicon da aikace-aikacen yanke waya na lu'u-lu'u.
Amfanin wannan hanyar ga nau'ikan ruwan yanka wafer, musamman lokacin amfani da ruwan yanke waya mai aiki mai yawa, suna da yawa. Ma'aunin kwararar Coriolis ba ya dogara da danko da canje-canjen abun da ke ciki, yana kasancewa daidai sosai a tsakanin kasancewar barbashi masu abrasive, nano-additives, ko gauraye daban-daban waɗanda galibi ake samu a cikin ruwan yanke wafers na silicon. Wannan ƙarfi ya sa ya fi hanyoyin kwarara na gargajiya, waɗanda kumfa, barbashi da aka dakatar, da canza halayen jiki na ruwan yankewa na zamani za su iya shafar su.
Yanke wafer na Semiconductor yana ƙara dogaro da fasahar firikwensin kwararar ruwa mai ci gaba don tabbatar da ingantaccen sa ido kan ruwan yankewa don wafers na silicon. Ana aiwatar da firikwensin kwararar taro na Lonnmeter kai tsaye a cikin layukan tsari. Wannan yana ba da damar isarwa da sa ido kan ruwan yankewa na nano-ruwa da lu'u-lu'u yayin yanka wafer. Ana gano alamun lalacewar ruwa, rashin daidaiton gauraye, ko canjin yawan ruwa cikin sauri, wanda ke ba da damar yin amfani da hanyoyin sarrafawa nan take don kiyaye yawan aiki da ingancin saman.
Kwatanta na'urori masu auna kwararar taro na Coriolis da sauran na'urori masu auna ruwa masu yankewa - kamar tsarin kwararar zafi, lantarki, ko ultrasonic - yana bayyana ƙarfi da yawa. Na'urori masu auna kwararar taro na Coriolis sun yi fice a cikin ma'aunin kwarara mai inganci kuma suna isar da karatun da ya dogara da taro ba tare da tasirin canjin danko ko halayen maganadisu ba. Mita na lantarki da ultrasonic suna fama da yankan cakuda ruwa da ke ɗauke da ƙwayoyin nanoparticles, aljihun iska, ko bambancin yawan mintuna, wanda galibi yakan haifar da ma'aunin kwararar da ba za a iya dogara da shi ba da kuma ƙaruwar mitar kulawa.
Ana kiyaye daidaiton mitar kwararar Coriolis a ƙarƙashin canje-canjen abubuwan da ke cikin ruwa, yayin da tsarin sarrafa sigina da tsarin diyya na zafin jiki ke tace hayaniya da bambancin muhalli yadda ya kamata. Masu aiki za su iya amfani da bayanai na ainihin lokaci don inganta sanyaya, shafawa, da cire ƙwayoyin cuta, suna mayar da martani ga halaye daban-daban na nau'ikan ruwan wafer da gaurayawan nanofluid.
Daidaita ma'aunin kwararar taro na Coriolis zuwa ga yanke waya mai siriri da kuma yanke ruwa da ƙananan ƙwayoyin cuta yana nuna canji a sa ido kan masana'antu. Na'urori masu auna firikwensin suna auna kwararar taro da yawa da aminci, ba tare da la'akari da yawan ƙwayoyin cuta ko bambancin ruwa ba, wanda ke ba da damar sarrafa madauri mai rufewa da sarrafa ruwa ta atomatik wanda aka tsara don yanke wafer. Wannan matakin ma'aunin kwarara mai inganci yana da mahimmanci don kiyaye daidaiton tsari, rage asarar abu, da kuma tabbatar da ingancin saman yayin ƙera wafer ɗin silicon da kuma yanke waya ta lu'u-lu'u.
Haɗa Bayanan Auna Guduwar Ruwa cikin Tsarin Kulawa
Auna kwararar ruwa ta ainihin lokaci ta amfani da na'urori masu auna kwararar ruwa na Coriolis ya canza tsarin sarrafa ruwa yayin yanke waya ta lu'u-lu'u na wafers na silicon. Nauyin ruwa da na'urorin auna danko a cikin layi, kamar waɗanda Lonnmeter ke samarwa, suna ba da damar sa ido nan take kan halayen ruwa da yawan kwararar ruwa, wanda ke tallafawa daidaitaccen sarrafa tsari.
Kula da ingantaccen yawan kwarara yana da mahimmanci don sanyaya, tsaftacewa, da kuma shafa wayoyi masu lu'u-lu'u da kuma wafers ɗin silicon. Mita kwararar taro na Coriolis sun yi fice a wannan yanayi ta hanyar samar da ingantaccen ra'ayi kan yawan kwararar taro da halayen ruwa. Tare da wannan bayanai, tsarin atomatik zai iya daidaita saurin famfo, matsayin bawul, ko sake amfani da ƙimar don isar da daidai girman da ake buƙata da kuma abun da ke cikin ruwan yanke wafer. Misali, a lokacin zagayowar yankewa cikin sauri, bayanan firikwensin na iya haifar da ƙaruwar isar da ruwa don inganta cire tarkace da sanyaya tarkace, yayin da zagayowar da ke jinkiri na iya buƙatar rage kwarara don guje wa ɓarna.
Ra'ayoyin da ake samu daga na'urori masu auna kwararar ruwa suma suna da matuƙar muhimmanci wajen mayar da martani ga yanayin ruwa mai canzawa. Yayin da ɗanko ko yawan ruwa ke canzawa - saboda canjin yanayin zafi ko gurɓatawa - mitar layin Lonnmeter na cikin gida suna gano waɗannan bambance-bambancen nan take, suna ba da damar tsarin sarrafawa ya rama ta hanyar daidaita yawan kwararar ruwa ko fara tace ruwa. Wannan hanyar da aka tsara ta hanyar bayanai tana tabbatar da cewa ruwan ya kasance cikin ƙayyadaddun bayanai don ingantaccen aikin yankewa.
A cikin yanayi mai yawan girma, ikon sa ido da kuma sarrafa rage kwararar ruwa a ainihin lokaci yana tallafawa kauri mai daidaito kuma yana rage faruwar lahani masu tsada, kamar yadda aka nuna a cikin manyan layukan masana'antu a Asiya da Turai. Gudanar da ruwa mai zurfi kuma yana tallafawa kulawa ta gaba, yana tsawaita tsawon rayuwar wayar lu'u-lu'u.
Ayyukan masana'antu suna amfana sosai daga tsarin ruwan yankewa mai sarrafa kwarara. Ingantaccen tsarin kula da ruwa yana rage farashin amfani da zubar da ruwa ta hanyar tabbatar da cewa an yi amfani da isasshen ruwa ga kowace wafer, wanda ke tallafawa dorewa da bin ƙa'idodi. Rage sharar ruwa - wanda aka kunna ta hanyar ci gaba da amsawa da daidaitawa bisa ga bayanan firikwensin - yana fassara zuwa ƙarancin kuɗaɗen aiki da raguwar tasirin muhalli.
A taƙaice, haɗakar bayanan auna kwararar ruwa na ainihin lokaci, wanda hanyoyin Lonnmeter ke amfani da su, ba wai kawai ginshiƙi ne na tabbatar da ingancin wafer ba, har ma da fa'idar aiki ga tsarin yanke waya na lu'u-lu'u. Yana samar da ingantattun ci gaba a cikin kammala saman, amincin injina, yawan samarwa, da ingancin farashi.
Fahimtar Gwaji da Jagoran Masana'antu
Binciken gwaji na baya-bayan nan ya sake fasalta mafi kyawun hanyoyin isar da ruwa ga yanke wafers na silicon da ke da waya mai lu'u-lu'u. Bincike ya nuna cewa an sarrafa isasshen ruwa, musamman ta amfani da dabarun zamani, yana da alaƙa kai tsaye da ƙarancin shaƙar wafer da ingantaccen ingancin saman.
Amfani da tasirin ultrasonic capillary a cikin isar da ruwa ya bayyana a matsayin abin da ke canza yanayin. Raƙuman ultrasonic suna haifar da yanke ruwa cikin zurfin kerfs masu siriri—musamman a yankuna da suka fi 50 μm—inda hanyoyin samar da kayayyaki na gargajiya galibi ba su aiki. Wannan ingantaccen shigarwar ruwa yana rage shaƙar barbashi masu ɓarna da tarkace a saman wafer. Gwaje-gwajen gwaji sun nuna cewa wafers da aka yi wa taimakon ultrasonic na samar da ruwa suna nuna ƙarancin lahani a saman, don haka yawan amfanin ƙasa da aminci a cikin hanyoyin da ke ƙasa.
Inganta ma'auni yana da matuƙar muhimmanci wajen ƙara fa'idodin haɓaka ultrasonic da fasahar nano-fluid wajen rage isar da ruwa. Mahimman sigogi sun haɗa da:
- Nisa tsakanin farantin: Dole ne a rage gibin da ke tsakanin wurin ajiyar ruwa da yankin yankewa domin samun ingantaccen ruwa.
- Matsayin mai canza yanayin ultrasonic da saitin daidaituwa: Tsarin da aka bayyana a sarari yana tabbatar da watsawar raƙuman ruwa iri ɗaya da aikin capillary.
- Zafin ruwa: Dumama mai sarrafawa yana ƙara motsi na ruwa da ingancin capillary.
- Tsawon lokaci da yawan amfani da ultrasonic: Daidaitaccen lokaci yana hana zafi fiye da kima yayin da yake haɓaka shigar ciki.
- Zaɓin nau'in ruwa: Ruwa da ƙari daban-daban na tushe suna amsawa ta musamman ga motsin ultrasonic.
Fasahar Nanofluid ta gabatar da wani babban ci gaba. Yanke ruwan da aka saka da nanoparticles kamar SiO2 da SiC suna nuna ingantaccen watsa zafi da kuma shafa mai. Wannan gyare-gyaren yana haifar da sanyaya mai inganci, inganta cire tarkace, da kuma rage tsatsa a saman wafer. Bayanai sun nuna cewa gaurayen tsarin nano-barbashi suna ba da ci gaba mai kyau, ƙara rage warpage da kuma samar da kyakkyawan yanayin wafer fiye da ruwa mai yanka iri ɗaya ko na gargajiya.
Masana'antun da ke neman inganta ingancin ruwan yanke su na iya aiwatar da waɗannan jagororin aiki:
- Yi amfani da mita masu yawa a layi da kuma mita masu danko (kamar waɗanda aka yi daga Lonnmeter) don saka idanu da kuma sarrafa daidaiton ruwa, don tabbatar da cewa halayen kwararar ruwa sun kasance masu dacewa don taimakon ultrasonic da nano.
- Kula da kuma daidaita yawan kwararar ruwa ta hanyar amfani da na'urar auna kwararar ruwa mai inganci. Ma'aunin kwararar ruwa na Coriolis yana da amfani musamman don auna kwararar ruwa ta masana'antu, yana ba da daidaito a ainihin lokaci don duka yawa da girma.
- A daidaita na'urori masu auna kwarara akai-akai don kiyaye ingantaccen karatu, wanda yake da mahimmanci don daidaita sarrafa wafer.
- Zaɓi nau'in ruwan yanka wafer da yawan ƙwayoyin nanoparticle da suka dace da takamaiman girman wafer, halayen wayar lu'u-lu'u, da yanayin aiki.
Nazarin kwatantawa ya tabbatar da cewa canje-canjen sigogi guda ɗaya—kamar ƙara saurin waya ko daidaita saurin ciyarwa—suna da alaƙa da canje-canje a cikin lalacewar waya, rashin kyawun saman, da kuma bambancin kauri gabaɗaya (TTV). Kula da daidaiton kwarara da kuma saurin samar da ruwa mai amsawa suna da mahimmanci don rage lahani da tsawaita rayuwar waya.
Tambayoyin da Ake Yawan Yi
Ta yaya ruwan yanka silicon wafer ke inganta aikin yanke waya na lu'u-lu'u?
Ruwan yanka wafer na silicon yana aiki a matsayin mai shafawa da kuma mai sanyaya a yanke waya ta lu'u-lu'u. Babban aikinsa shine rage gogayya da kuma wargaza zafi da ake samu a mahaɗin waya da wafer. Ƙananan gogayya da yanayin zafi suna rage ƙananan fasa da karce-karce a saman, wanda zai iya haifar da lalacewar wafer da kuma ƙarancin yawan amfanin ƙasa gaba ɗaya. Ruwa kuma yana ɗauke da tarkace daga yankin yankewa, yana kiyaye tsabtace wayar lu'u-lu'u da saman wafer. Wannan ci gaba da cire barbashi yana haifar da santsi a saman wafer kuma yana tallafawa masana'antu masu inganci. Misali, ingantattun ruwaye masu yanke nano tare da SiO₂ da SiC nanoparticles na iya shiga cikin zurfin kerf, suna rage tsatsa da warpage na wafer, suna ƙara inganta fitowar wafer don amfani da semiconductor.
Menene na'urar auna kwararar ruwa ta yanke, kuma me yasa yake da mahimmanci a aikin yanke wafer?
Mita kwararar ruwa mai yankewa tana auna ainihin adadin ruwan da aka kai yankin yanka. Kula da kwararar ruwa daidai yana da mahimmanci don isasshen man shafawa, watsar da zafi, da kuma share tarkace. Idan kwararar ta yi ƙasa sosai, wayar tana zafi ko ta tara tarkace, wanda ke haifar da karce da karyewa. Yawan kwararar ruwa na iya ɓatar da ruwa da haifar da rashin daidaiton matsin lamba, yana shafar lanƙwasa wafer da tsawon lokacin kayan aiki. Yanke mita kwararar ruwa, kamar mita mai yawa a layi da mita mai kama da na ɗanko da Lonnmeter ya ƙera, suna taimaka wa masu aiki su sa ido da daidaita wadata a ainihin lokaci. Wannan yana tabbatar da cewa tsarin ya kasance cikin mafi kyawun sigogi, yana haɓaka yawan wafer da rage lalacewar kayan aiki.
Ta yaya ma'aunin kwararar ruwan Coriolis ke amfanar da sarrafa ruwan silicon wafer?
Ma'aunin kwararar taro na Coriolis yana da matuƙar muhimmanci ga ma'aunin kwarara mai inganci a cikin samar da wafer na silicon. Ba kamar na'urorin auna kwarara na gargajiya ba, na'urori masu auna Coriolis suna auna kwararar taro kai tsaye ba tare da la'akari da danko, yawa, ko bambancin zafin jiki ba. Wannan fasalin yana ba da damar sa ido daidai kan nau'ikan ruwan yanke wafer daban-daban, gami da waɗanda ke da ƙananan ƙwayoyin cuta. Sakamakon shine isar da ruwan yankewa akai-akai a daidai gwargwado, kiyaye man shafawa mai ɗorewa da sanyaya duk da canjin tsari. Waɗannan fa'idodin suna ba da gudummawa kai tsaye ga ingantaccen ingancin wafer a cikin buƙatun aikace-aikacen yanke waya na lu'u-lu'u, inda daidaitaccen sarrafawa yana rage lahani kuma yana inganta yawan aiki.
Waɗanne abubuwa ne ke shafar ma'aunin kwararar ruwa a aikace-aikacen saw ɗin waya na lu'u-lu'u?
Daidaiton ma'aunin kwararar ruwa ya dogara ne akan wasu masu canji da suka haɗu. Zaɓin firikwensin yana da mahimmanci; misali, firikwensin kwararar ruwa na Coriolis suna ba da ingantattun bayanai ko da ga ruwa mai ƙauri ko mai ɗauke da barbashi. Tsarin ruwa - kamar kasancewar ƙananan ƙwayoyin cuta - na iya canza ɗanko da yawa kuma suna shafar buƙatun daidaita firikwensin. Diamita na waya da saurin yankewa suma suna shafar adadin ruwa da ake buƙata don ingantaccen sanyaya da cire tarkace. Daidaita kowane takamaiman tsari yana da mahimmanci don tabbatar da cewa firikwensin yana karanta ƙimar gaske, tabbatar da cewa an yi amfani da adadin ruwan yankewa daidai ga kowane rukuni.
Shin nano-fluids da dabarun ultrasonic za su iya inganta shigar ruwa cikin ruwa yayin yanke silicon wafer?
Bincike ya nuna cewa ruwa-ruwa, musamman waɗanda ke da SiO₂ da SiC nanoparticles, suna ƙara ingancin isar da ruwa zuwa ga ma'aunin waya mai mahimmanci. Waɗannan barbashi suna taimaka wa ruwan ya isa ga gibin ƙananan abubuwa, yana tabbatar da sanyaya da kuma shafa mai. Bugu da ƙari, dabarun tasirin capillary na ultrasonic suna ƙara haɓaka motsi da shigar ruwa, musamman a cikin yanke waya mai siriri. Wannan yana nufin ƙarancin ruwan yankewa ana buƙatar don cimma ingantaccen aiki, kuma sakamakon ya haɗa da rage shaƙar ruwa, ingantaccen yanayin saman, da ƙarancin lahani. Waɗannan ci gaba suna tallafawa ci gaba zuwa ga wafers masu sirara, manyan diamita a masana'antar semiconductor da photovoltaic, tare da na'urori masu sa ido kan ruwa masu yankewa suna tabbatar da cewa tsarin yana ci gaba da kasancewa mai iko da daidaito a duk lokacin da ake samarwa.
Lokacin Saƙo: Disamba-25-2025
