Planarú ceimiceach meicniúilIs próiseas bunúsach é (CMP) i ndéantúsaíocht leathsheoltóra ardleibhéil. Seachadann sé cothromaíocht ar leibhéal adamhach ar fud dhromchlaí na vaiféar, rud a chuireann ar chumas ailtireachtaí ilchisealacha, pacáil gléasanna níos doichte, agus toradh níos iontaofa. Comhtháthaíonn CMP gníomhartha ceimiceacha agus meicniúla comhuaineacha—ag baint úsáide as ceap rothlach agus sloda snasta speisialaithe—chun scannáin bhreise agus neamhrialtachtaí dromchla réidh a bhaint, rud atá ríthábhachtach le haghaidh patrúnú gnéithe agus ailíniú i gciorcaid chomhtháite.
Braitheann cáilíocht na vaiféir tar éis CMP go mór ar rialú cúramach a dhéanamh ar chomhdhéanamh agus ar shaintréithe an tsladaigh snasta. Tá cáithníní scríobacha sa tsladach, amhail ocsaíd cheiriam (CeO₂), ar fionraí i meascán ceimiceán atá deartha chun rátaí scríobtha fisiciúil agus imoibrithe ceimiceacha araon a bharrfheabhsú. Mar shampla, cuireann ocsaíd cheiriam cruas agus ceimic dhromchla is fearr ar fáil do scannáin atá bunaithe ar sileacan, rud a fhágann gurb é an t-ábhar is fearr i go leor feidhmchlár CMP. Ní hamháin go mbraitheann éifeachtacht CMP ar airíonna na gcáithníní scríobacha ach freisin ar bhainistíocht bheacht ar thiúchan, pH agus dlús an tsladaigh.
Pleanáil Cheimiceach Mheicniúil
*
Bunúsacha maidir le Slurraí a Snasú i nDéantúsaíocht Leathsheoltóra
Tá slurraí snasta lárnach don phróiseas cothromúcháin cheimicigh mheicniúil. Is meascáin chasta iad atá deartha chun scríobadh meicniúil agus modhnú ceimiceach dromchla a bhaint amach ar dhromchlaí vaiféir. I measc róil riachtanacha slurraí CMP tá baint ábhair éifeachtach, rialú cothromúcháin, aonfhoirmeacht thar limistéir mhóra vaiféir, agus íoslaghdú lochtanna.
Róil agus Comhdhéanamh Sluirí Snasta
Bíonn cáithníní scríobacha ar fionraí i maitrís leachtach i ngnáth-shruthán CMP, agus breiseáin cheimiceacha agus cobhsaitheoirí mar fhorlíonadh orthu. Tá ról ar leith ag gach comhpháirt:
- Scríobaigh:Is iad na cáithníní míne, soladacha seo—go príomha shilice (SiO₂) nó ocsaíd cheiriam (CeO₂) in iarratais leathsheoltóra—a dhéanann an chuid mheicniúil de bhaint ábhair. Rialaíonn a dtiúchan agus a ndáileadh méide cáithníní an ráta bainte agus cáilíocht an dromchla araon. De ghnáth, bíonn an t-ábhar scríobach idir 1% agus 5% de réir meáchain, le trastomhais na gcáithníní idir 20 nm agus 300 nm, agus sonraítear go docht iad chun scríobadh iomarcach ar na vaiféir a sheachaint.
- Breiseáin Cheimiceacha:Bunaíonn na gníomhairí seo an timpeallacht cheimiceach le haghaidh planarú éifeachtach. Éascaíonn ocsaídeoirí (m.sh., sárocsaíd hidrigine) foirmiú sraitheanna dromchla atá níos éasca a scríobadh. Ceanglaíonn gníomhairí casta nó cealaithe (amhail peirsulfáit amóiniam nó aigéad citreach) iain miotail, rud a fheabhsaíonn baint agus a chuireann cosc ar fhoirmiú lochtanna. Tugtar coscairí isteach chun cosc a chur ar ghreanadh nach dteastaíonn ar shraitheanna vaiféir in aice láimhe nó faoina bhun, rud a fheabhsaíonn roghnaíocht.
- Cobhsaitheoirí:Coinníonn dromchlaghníomhaithe agus maoláin pH cobhsaíocht an tsladaigh agus scaipeadh aonfhoirmeach. Cuireann dromchlaghníomhaithe cosc ar chomhbhailiú scríobach, rud a chinntíonn rátaí bainte aonchineálacha. Cumasaíonn maoláin pH rátaí imoibrithe ceimiceacha comhsheasmhacha agus laghdaíonn siad an dóchúlacht go mbeidh cnapáin nó creimeadh cáithníní ann.
Déantar foirmliú agus tiúchan gach comhpháirte a chur in oiriúint don ábhar vaiféir ar leith, do struchtúr na feiste, agus don chéim phróisis atá i gceist sa phróiseas planarúcháin cheimicigh mheicniúil.
Sluirí Coitianta: Sileaice (SiO₂) vs Ocsaíd Cheiriam (CeO₂)
Sluirí snasta shilice (SiO₂)is iad na céimeanna planarúcháin ocsaíde ceannasacha, amhail snasú tréleictreach idirchiseal (ILD) agus snasú aonraithe trinse éadomhain (STI). Úsáideann siad shilice collóideach nó deataithe mar scríobaigh, go minic i dtimpeallacht bhunúsach (pH ~10), agus uaireanta cuirtear dromchlaghníomhaithe beaga agus coscóirí creimeadh leo chun lochtanna scríobtha a theorannú agus rátaí bainte a bharrfheabhsú. Tá meas ar cháithníní shilice as a méid aonfhoirmeach agus a gcruas íseal, rud a sholáthraíonn baint ábhair mhín, aonfhoirmeach atá oiriúnach do shraitheanna íogair.
Sluirí snasta ocsaíd cheiriam (CeO₂)roghnaítear iad le haghaidh feidhmeanna dúshlánacha a éilíonn roghnaíocht agus cruinneas ard, amhail snasú deiridh foshraithe gloine, planarú foshraithe chun cinn, agus sraitheanna ocsaíde áirithe i bhfeistí leathsheoltóra. Taispeánann scríobaigh CeO₂ imoibríocht uathúil, go háirithe le dromchlaí dé-ocsaíd sileacain, rud a chuireann ar chumas meicníochtaí bainte ceimiceacha agus meicniúla araon. Seachadann an t-iompar déghníomhaíochta seo rátaí planarú níos airde ag leibhéil locht níos ísle, rud a fhágann gur fearr slodair CeO₂ le haghaidh gloine, foshraitheanna diosca crua, nó nóid gléasanna loighce chun cinn.
Cuspóir Feidhmiúil Scríobach, Breiseán, agus Cobhsaitheoirí
- ScríobaighDéan an scríobadh meicniúil. Braitheann a méid, a gcruth agus a dtiúchan ar an ráta bainte agus ar an bailchríoch dromchla. Mar shampla, cinntíonn scríobaigh shilice aonfhoirmeacha 50 nm go ndéantar sraitheanna ocsaíde a chomhphlánú go réidh agus go cothrom.
- Breiseáin CheimiceachaCumasaíonn sé baint roghnach trí ocsaídiú agus tuaslagadh dromchla a éascú. I CMP copair, oibríonn glicín (mar ghníomhaire casta) agus sárocsaíd hidrigine (mar ocsaídeoir) go sineirgisteach, agus feidhmíonn BTA mar choscóir a chosnaíonn gnéithe copair.
- CobhsaitheoiríCoinnigh comhdhéanamh an tsladaigh aonfhoirmeach le himeacht ama. Cuireann dromchlaghníomhaithe cosc ar dhríodrú agus ar chomhbhailiú, rud a chinntíonn go scaiptear cáithníní scríobacha go comhsheasmhach agus go bhfuil siad ar fáil don phróiseas.
Airíonna Uathúla agus Cásanna Úsáide: Slurraí CeO₂ agus SiO₂
Sladrán snasta CeO₂Cuireann sé roghnaíocht mhéadaithe ar fáil idir gloine agus ocsaíd sileacain mar gheall ar a imoibríocht cheimiceach dhúchasach. Tá sé thar a bheith éifeachtach chun foshraitheanna crua, sobhriste nó cruacha ocsaíde ilchodacha a phleanáil ina bhfuil roghnaíocht ábhair ard riachtanach. Fágann sé seo go bhfuil slodair CeO₂ caighdeánach in ullmhú foshraitheanna chun cinn, bailchríoch gloine beacht, agus céimeanna CMP leithlisithe trinse éadomhain (STI) sonracha sa tionscal leathsheoltóra.
Sloid snasta SiO₂Soláthraíonn sé meascán cothrom de bhaint mheicniúil agus cheimiceach. Úsáidtear go forleathan é le haghaidh ocsaíd mhórchóireála agus planarúcháin tréleictrigh idirchiseal, áit a bhfuil gá le tréchur ard agus lochtanna íosta. Cuireann méid aonfhoirmeach, rialaithe na gcáithníní de shilice teorainn le giniúint scríobtha agus cinntíonn sé cáilíocht dhromchla deiridh níos fearr.
Tábhacht Méid na gCáithníní agus Aonfhoirmeacht Scaipthe
Tá méid na gcáithníní agus aonfhoirmeacht an scaipthe ríthábhachtach maidir le feidhmíocht an tsladair. Ráthaíonn cáithníní scríobacha aonfhoirmeacha ar scála nanaiméadar rátaí bainte ábhair comhsheasmhacha agus dromchla vaiféir saor ó lochtanna. Bíonn scríobadh nó snasú dothuartha mar thoradh ar chomhiomlánú, agus bíonn planarú neamh-aonfhoirmeach agus dlús lochtanna méadaithe mar thoradh ar dháiltí méide leathana.
Cinntíonn rialú éifeachtach ar thiúchan an tslaig — arna mhonatóiriú ag teicneolaíochtaí amhail méadar dlúis slaig nó gléasanna tomhais dlúis slaig ultrasonaic — luchtú scríobach tairiseach agus torthaí próisis intuartha, rud a théann i bhfeidhm go díreach ar tháirgeacht agus ar fheidhmíocht na ngléasanna. Is príomhriachtanais iad rialú beacht dlúis agus scaipeadh aonfhoirmeach a bhaint amach maidir le suiteáil trealaimh phleanála ceimiceach meicniúil agus uasmhéadú próisis.
Mar achoimre, cuireann foirmliú sloda snasta—go háirithe rogha agus rialú an chineáil scríobaigh, mhéid na gcáithníní, agus na meicníochtaí cobhsaíochta—tacaíocht le hiontaofacht agus éifeachtúlacht an phróisis phleanála ceimicigh mheicniúil in iarratais tionscail leathsheoltóra.
Tábhacht Thomhas Dlúis Slurry i CMP
Sa phróiseas planarúcháin cheimicigh mheicniúil, bíonn tionchar díreach ag tomhas agus rialú beacht ar dhlús an tslada ar éifeachtúlacht agus ar cháilíocht snasú na slisní. Feidhmíonn dlús an tslada — tiúchan na gcáithníní scríobacha laistigh den tslisní snasta — mar luamhán lárnach próisis, ag múnlú an ráta snasta, cáilíocht deiridh an dromchla, agus toradh foriomlán an tslada.
Gaol idir Dlús Slurry, Ráta Snasta, Cáilíocht Dromchla, agus Toradh Vaiféir
Is é tiúchan na gcáithníní scríobacha laistigh de shladair snasta CeO₂ nó foirmliú eile slaidéir snasta a chinneann cé chomh tapa agus a bhaintear ábhar ó dhromchla an tsliabháin, ar a dtugtar an ráta bainte nó an ráta bainte ábhair (MRR) go coitianta. De ghnáth, méadaíonn dlús méadaithe an tsladaigh líon na dteagmhálacha scríobacha in aghaidh an aonaid achair, rud a luasghéaraíonn an ráta snasta. Mar shampla, thuairiscigh staidéar rialaithe in 2024 gur uasmhéadaigh ardú tiúchan na gcáithníní shilice suas le 5% de réir meáchain i slaidéar collóideach rátaí bainte do shladair sileacain 200 mm. Mar sin féin, níl an gaol seo líneach - tá pointe laghdaitheach ann maidir le tuairisceáin. Ag dlúis slaidéir níos airde, bíonn ardchlár nó fiú laghdú ar an ráta bainte mar gheall ar iompar maise lagaithe agus slaodacht mhéadaithe mar thoradh ar chomhiomlánú cáithníní.
Tá cáilíocht an dromchla chomh híogair céanna do dhlús an tslaig. Ag tiúchain arda, bíonn lochtanna ar nós scríobtha, smionagar leabaithe, agus poill níos minice. Breathnaíodh sa staidéar céanna ardú líneach i ngarbhacht an dromchla agus dlús scríobtha suntasach nuair a mhéadaítear dlús an tslaig os cionn 8–10% de réir meáchain. Os a choinne sin, laghdaíonn dlús íslithe an riosca lochtanna ach is féidir leis an mbaint a mhoilliú agus an comhthreomhar a chur i mbaol.
Rialaítear toradh na vaiféirí, is é sin an cion de vaiféirí a chomhlíonann sonraíochtaí an phróisis tar éis snasta, leis na héifeachtaí comhcheangailte seo. Laghdaíonn rátaí lochtanna níos airde agus baint neamh-aonfhoirmeach an toradh araon, rud a chuireann béim ar an gcothromaíocht íogair idir an tréchur agus an caighdeán i ndéantúsaíocht leathsheoltóra nua-aimseartha.
Tionchar Éagsúlachtaí Beaga i dTiúchan Sluirí ar an bPróiseas CMP
Fiú amháin dialltaí beaga ón dlús sloda is fearr—codáin de chéatadán—is féidir leo tionchar suntasach a imirt ar aschur an phróisis. Má théann tiúchan scríobach os cionn na sprice, féadfaidh bailiú cáithníní tarlú, rud a fhágann caitheamh tapa ar na pillíní agus na dioscaí oiriúnaithe, rátaí scríobtha dromchla níos airde, agus féidearthacht bac nó creimeadh comhpháirteanna sreabhach i dtrealamh planarúcháin cheimicigh mheicniúil. Is féidir le dlús íseal scannáin iarmharacha agus topagrafaíocht dromchla neamhrialta a fhágáil, rud a chuireann dúshlán roimh chéimeanna fótailigrafaíochta ina dhiaidh sin agus a laghdaíonn toradh.
Bíonn tionchar ag athruithe i ndlús an tsladaigh freisin ar imoibrithe ceimiceacha-meicniúla ar an sceallóg, agus bíonn éifeachtaí iartheachtacha acu ar lochtanna agus ar fheidhmíocht na ngléasanna. Mar shampla, bíonn tionchar ag cáithníní níos lú nó cáithníní nach bhfuil scaipthe go haonfhoirmeach i sladdraí caolaithe ar rátaí bainte áitiúla, rud a chruthaíonn micritheopagrafaíocht a fhéadann scaipeadh mar earráidí próisis i ndéantúsaíocht ardtoirte. Éilíonn na mionsonraí seo rialú daingean ar thiúchan an tsladaigh agus monatóireacht láidir, go háirithe i nóid ardleibhéil.
Tomhas agus Optamú Dlús Slurry Fíor-Ama
Is caighdeán anois i bhfeidhmchláir cheannródaíocha tionscail leathsheoltóra tomhas fíor-ama ar dhlús an tslaig, ar féidir é a dhéanamh trí úsáid a bhaint as méadair dlúis inlíne—amhail na méadair dlúis slaig ultrasonaic a mhonaraigh Lonnmeter. Ceadaíonn na hionstraimí seo monatóireacht leanúnach ar pharaiméadair slaig, ag soláthar aiseolas láithreach ar luaineachtaí dlúis de réir mar a ghluaiseann an slaig trí shraitheanna uirlisí CMP agus córais dáilte.
Áirítear ar na príomhbhuntáistí a bhaineann le tomhas dlúis sloda fíor-ama:
- Brath láithreach ar choinníollacha lasmuigh den tsonraíocht, rud a chuireann cosc ar iomadú lochtanna trí phróisis chostasacha iartheachtacha
- Uasmhéadú próisis — cuireann sé ar chumas innealtóirí fuinneog dlúis sloda is fearr a choinneáil, ag uasmhéadú an ráta bainte agus ag íoslaghdú lochtanna ag an am céanna
- Comhsheasmhacht fheabhsaithe ó vaiféar go vaiféar agus ó bhaisc go baisc, rud a aistríonn go dtí toradh monaraíochta foriomlán níos airde
- Sláinte trealaimh fhadtréimhseach, toisc gur féidir le sloda ró-thiubhaithe nó tearc-thiubhaithe caitheamh a bhrostú ar phainéil snasta, meascthóirí agus pluiméireacht dáilte
De ghnáth, cuireann suiteálacha trealaimh CMP lúba samplacha nó línte athchúrsaíochta tríd an gcrios méadraithe, ag cinntiú go bhfuil léamha dlúis ionadaíoch don sreabhadh iarbhír a sheachadtar chuig na sliseáin.
Beacht agus fíor-amatomhas dlúis slodaIs é seo cnámh droma na modhanna láidre rialaithe dlúis sloda, ag tacú le foirmlithe sloda snasta seanbhunaithe agus úrnua araon, lena n-áirítear sloda ocsaíd cheiriam (CeO₂) dúshlánacha le haghaidh CMP idirchiseal agus ocsaíd chun cinn. Tá baint dhíreach ag coinneáil an pharaiméadair chriticiúil seo le táirgiúlacht, rialú costais, agus iontaofacht gléasanna ar fud an phróisis phleanála ceimicigh mheicniúil.
Prionsabail agus Teicneolaíochtaí le haghaidh Tomhas Dlúis Sloid
Déanann dlús sloda cur síos ar mhais na solad in aghaidh an aonaid toirte i sloda snasta, amhail foirmlithe ocsaíd cheiriam (CeO₂) a úsáidtear i bplánarú ceimiceach meicniúil (CMP). Cinneann an athróg seo rátaí bainte ábhair, aonfhoirmeacht aschuir, agus leibhéil lochtanna ar shliseáin snasta. Tá tomhas éifeachtach dlús sloda ríthábhachtach chun tiúchan sloda chun cinn a rialú, rud a mbíonn tionchar díreach aige ar tháirgeacht agus ar lochtanna in iarratais tionscail leathsheoltóra.
Úsáidtear réimse méadar dlúis sloda in oibríochtaí CMP, agus úsáideann gach ceann acu prionsabail tomhais éagsúla. Braitheann modhanna gravimeéadracha ar thoirt sloda sainithe a bhailiú agus a mheá, rud a thairgeann cruinneas ard ach níl cumas fíor-ama acu agus rud a fhágann nach bhfuil siad praiticiúil le húsáid leanúnach i suíomhanna suiteála do threalamh CMP. Úsáideann méadair dlúis leictreamaighnéadacha réimsí leictreamaighnéadacha chun dlús a thuar bunaithe ar athruithe i seoltacht agus i dtréscaoilteacht mar gheall ar cháithníní scríobacha ar fionraí. Tomhaiseann méadair chreathaidh, amhail dlúismhéadair feadán creathaidh, freagairt minicíochta feadáin atá líonta le sloda; bíonn tionchar ag athruithe i dlús ar mhinicíocht chreathaidh, rud a chuireann monatóireacht leanúnach ar chumas. Tacaíonn na teicneolaíochtaí seo le monatóireacht inlíne ach is féidir leo a bheith íogair do shalachar nó d’athruithe ceimiceacha.
Is dul chun cinn teicneolaíoch ríthábhachtach iad méadair dlúis sloda ultrasonaic maidir le monatóireacht dlúis fíor-ama i bplánarú ceimiceach-meicniúil. Astaíonn na hionstraimí seo tonnta ultrasonaic tríd an sloda agus tomhaiseann siad am eitilte nó luas iomadú fuaime. Braitheann luas fuaime i meán ar a dhlús agus ar thiúchan na solad, rud a ligeann do chinneadh beacht airíonna sloda. Tá an mheicníocht ultrasonaic an-oiriúnach do thimpeallachtaí scríobacha agus ceimiceacha ionsaitheacha atá tipiciúil do CMP, toisc nach bhfuil sé ionsáiteach agus go laghdaíonn sé salachar braiteora i gcomparáid le méadair teagmhála dírí. Déanann Lonnmeter méadair dlúis sloda ultrasonaic inlíne a mhonarú atá saincheaptha do línte CMP sa tionscal leathsheoltóra.
I measc na mbuntáistí a bhaineann le méadair dlúis sloda ultrasonaic tá:
- Tomhas neamh-ionrach: De ghnáth, suiteáiltear braiteoirí go seachtrach nó laistigh de chealla sreafa seachbhóthar, rud a íoslaghdaíonn cur isteach ar an sloda agus a sheachnaíonn scríobadh dromchlaí braite.
- Cumas fíor-ama: Cuireann aschur leanúnach ar chumas coigeartuithe próisis láithreacha, rud a chinntíonn go bhfanann dlús an tsladair laistigh de pharaiméadair shainithe chun cáilíocht snasta na vaiféir is fearr is féidir a bhaint amach.
- Cruinneas agus láidreacht ard: Cuireann scanóirí ultrasonaic léamha cobhsaí agus in-athdhéanta ar fáil, gan tionchar ag ceimic luaineach sloda ná ualach cáithníní orthu le linn suiteálacha fada.
- Comhtháthú le trealamh CMP: Tacaíonn a ndearadh le socrúcháin suiteála i línte sloda athchúrsála nó i ndéantóirí seachadta, rud a shruthlíniúnaíonn rialú próisis gan am neamhfhónaimh fada.
Tuairiscíonn staidéir cháis le déanaí i ndéantúsaíocht leathsheoltóirí laghdú suas le 30% ar lochtanna nuair a chomhlánaíonn monatóireacht dlúis ultrasonaic inlíne suiteáil trealaimh phleanála ceimiceach-mheicniúil le haghaidh próisis sloda snasta ocsaíd cheiriam (CeO₂). Ceadaíonn aiseolas uathoibrithe ó braiteoirí ultrasonaic rialú níos doichte ar fhoirmlithe sloda snasta, rud a fhágann aonfhoirmeacht fheabhsaithe tiús agus dramhaíl ábhair níos ísle. Coinníonn méadair dlúis ultrasonaic, nuair a chuirtear le chéile le prótacail calabrúcháin láidre, feidhmíocht iontaofa i bhfianaise athruithe ar chomhdhéanamh sloda, atá go minic in oibríochtaí CMP chun cinn.
Mar achoimre, tá tomhas dlúis sloda fíor-ama—go háirithe ag baint úsáide as teicneolaíocht ultrasonaic—ina phríomhghné de mhodhanna rialaithe dlúis sloda beachta i CMP. Feabhsaíonn na dul chun cinn seo toradh, éifeachtúlacht phróisis agus cáilíocht na vaiféar sa tionscal leathsheoltóra go díreach.
Socruithe Suiteála agus Comhtháthú i gCórais CMP
Tá tomhas ceart dlús an tsladaigh ríthábhachtach chun tiúchan an tsladaigh a rialú sa phróiseas planarúcháin cheimicigh mheicniúil. Bíonn tionchar díreach ag roghnú pointí suiteála éifeachtacha do mhéadair dlúis an tsladaigh ar chruinneas, ar chobhsaíocht an phróisis agus ar cháilíocht na vaiféil.
Fachtóirí Criticiúla maidir le Pointí Suiteála a Roghnú
I socruithe CMP, ba cheart méadair dlúis a shuíomh chun monatóireacht a dhéanamh ar an dríodar iarbhír a úsáidtear le haghaidh snasú vaiféir. Áirítear ar na príomhshuíomhanna suiteála:
- Umar Athchúrsála:Trí an méadar a chur ag an asraon, tugtar léargas ar riocht an bhoinn-shlodair roimh an dáileadh. Mar sin féin, d’fhéadfadh sé nach dtabharfaí faoi deara athruithe a tharlaíonn níos faide síos an abhainn, amhail foirmiú boilgeog nó éifeachtaí teirmeacha áitiúla, sa suíomh seo.
- Línte Seachadta:Trí na haonaid a shuiteáil i ndiaidh meascáin agus sula dtéann siad isteach sna hailt dáilte, cinntítear go léiríonn an tomhas dlúis foirmliú deiridh an tsladaigh, lena n-áirítear sladaigh snasta ocsaíd cheiriam (CeO₂) agus breiseáin eile. Ligeann an suíomh seo braiteadh pras ar athruithe tiúchana an tsladaigh díreach sula ndéantar na sliseáin a phróiseáil.
- Monatóireacht ar Phointe Úsáide:Is é an suíomh is fearr ná díreach suas srutha ón gcomhla nó ón uirlis phointe úsáide. Gabhann sé seo dlús an tsladair i bhfíor-am agus cuireann sé oibreoirí ar an eolas faoi neamhréireachtaí i ndálaí próisis a d’fhéadfadh teacht chun cinn as téamh líne, deighilt, nó giniúint micrea-bholgán.
Agus suíomhanna suiteála á roghnú, ní mór fachtóirí breise amhail córas sreafa, treoshuíomh na bpíopaí, agus gaireacht do chaidéil nó do chomhlaí a chur san áireamh:
- Fabhargléasadh ingearachle sreabhadh suas chun carnadh boilgeog aeir agus dríodair ar an eilimint braite a íoslaghdú.
- Coinnigh roinnt trastomhais píopaí idir an méadar agus príomhfhoinsí suaiteachta (caidéil, comhlaí) chun earráidí léitheoireachta de bharr suaitheadh sreafa a sheachaint.
- Úsáidriochtú sreafa(dírighneoirí nó rannóga suaimhneacha) chun an tomhas dlúis a mheas i dtimpeallacht laminar seasta.
Dúshláin Choitianta agus na Cleachtais is Fearr maidir le Comhtháthú Braiteoirí Iontaofa
Tá roinnt dúshlán comhtháthaithe i gceist le córais sciodair CMP:
- Aeriompar agus boilgeoga:Is féidir le méadair dlúis sloda ultrasonaic an dlús a léamh go mícheart má bhíonn micrea-bholgáin i láthair. Seachain braiteoirí a chur in aice le pointí isteach aeir nó aistrithe sreafa tobann, rud a tharlaíonn go coitianta in aice le sceitheadh caidéil nó umair mheasctha.
- Dríodrú:I línte cothrománacha, d’fhéadfadh braiteoirí teacht ar sholaid socraithe, go háirithe le sloda snasta CeO₂. Moltar iad a shuiteáil go hingearach nó a shuíomh os cionn criosanna socraithe féideartha chun rialú cruinn ar dhlús an tsloidir a choinneáil.
- Salú Braiteora:Bíonn gníomhairí scríobacha agus ceimiceacha i slabhraí CMP a d’fhéadfadh salachar nó sciath an braiteora a chur faoi deara. Tá ionstraimí inlíne Lonnmeter deartha chun seo a mhaolú, ach tá cigireacht agus glanadh rialta fós riachtanach le haghaidh iontaofachta.
- Creathadh Meicniúla:Is féidir le suíomh gar do fheistí meicniúla gníomhacha torann a chur faoi deara laistigh den braiteoir, rud a laghdaíonn cruinneas tomhais. Roghnaigh pointí suiteála a bhfuil an nochtadh don chreathadh is lú is féidir leo.
Chun na torthaí comhtháthaithe is fearr a fháil:
- Bain úsáid as rannóga sreafa laminar le haghaidh suiteála.
- Cinntigh ailíniú ingearach nuair is féidir.
- Rochtain éasca a sholáthar le haghaidh cothabhála agus calabrúcháin thréimhsiúil.
- Déan braiteoirí a leithlisiú ó chreathadh agus ó chur isteach ar shreabhadh.
CMP
*
Straitéisí Rialaithe Tiúchana Sluirí
Tá rialú éifeachtach ar thiúchan an tslama sa phróiseas planarúcháin cheimicigh mheicniúil riachtanach chun rátaí bainte ábhair comhsheasmhacha a choinneáil, lochtanna dromchla na sliseán a laghdú, agus aonfhoirmeacht a chinntiú ar fud na sliseán leathsheoltóra. Úsáidtear roinnt modhanna agus teicneolaíochtaí chun an cruinneas seo a bhaint amach, ag tacú le hoibríochtaí sruthlínithe agus toradh ard gléasanna araon.
Teicnící agus Uirlisí chun Tiúchan Slurry Optamach a Choinneáil
Tosaíonn rialú tiúchana sloda le monatóireacht fhíor-ama ar cháithníní scríobacha agus ar speicis cheimiceacha araon sa sloda snasta. I gcás sloda snasta ocsaíd cheiriam (CeO₂) agus foirmlithe CMP eile, tá modhanna díreacha amhail tomhas dlúis sloda inlíne bunúsach. Seachadann méadair dlúis sloda ultrasonaic, amhail iad siúd a mhonaraíonn Lonnmeter, tomhais leanúnacha ar dhlús sloda, a bhfuil dlúthbhaint aige le hábhar iomlán soladach agus aonfhoirmeacht.
I measc na dteicnící comhlántacha tá anailís moirtiúlachta — áit a mbraitheann braiteoirí optúla scaipeadh ó cháithníní scríobacha ar fionraí — agus modhanna speictreascópacha cosúil le speictreascópacht UV-Vis nó Near-Infridhearg (NIR) chun imoibritheoirí tábhachtacha sa sruth sloda a chainníochtú. Is iad na tomhais seo cnámh droma na gcóras rialaithe próisis CMP, rud a chuireann ar chumas coigeartuithe beo chun fuinneoga tiúchana sprice a choinneáil agus athraitheacht ó bhaisc go baisc a íoslaghdú.
Úsáidtear braiteoirí leictriceimiceacha i bhfoirmlithe atá saibhir in iain miotail, ag soláthar faisnéise freagartha thapa ar thiúchain ianacha sonracha agus ag tacú le tuilleadh mionchoigeartaithe in iarratais ardleibhéil sa tionscal leathsheoltóra.
Lúba Aiseolais agus Uathoibriú le haghaidh Rialú Lúb Dúnta
Úsáideann suiteálacha trealaimh nua-aimseartha maidir le planarú ceimiceach-mheicniúil córais rialaithe lúb dúnta níos mó agus níos mó a nascann méadreolaíocht inlíne le córais dáilte uathoibrithe. Beathaítear sonraí ó mhéadair dlúis sloda agus braiteoirí gaolmhara go díreach chuig rialtóirí loighce in-ríomhchláraithe (PLCanna) nó córais rialaithe dáilte (DCS). Gníomhaíonn na córais seo comhlaí go huathoibríoch le haghaidh cur uisce líonta leis, dáileog sloda comhchruinnithe, agus fiú instealladh cobhsaitheora, rud a chinntíonn go bhfanann an próiseas laistigh den imchlúdach oibriúcháin riachtanach i gcónaí.
Leis an ailtireacht aiseolais seo, is féidir aon diallais a bhraitear le braiteoirí fíor-ama a cheartú go leanúnach, rud a sheachnaíonn ró-chaolú, a chaomhnú tiúchan scríobach is fearr, agus a laghdaíonn úsáid cheimiceán iomarcach. Mar shampla, in uirlis CMP ard-tháthaithe do nóid vaiféir chun cinn, braithfidh méadar dlúis sloda ultrasonaic inlíne titim i dtiúchan scríobach agus tabharfaidh sé comhartha láithreach don chóras dáileog chun tabhairt isteach an sloda a mhéadú, go dtí go bhfillfidh an dlús ar a phointe socraithe. Os a choinne sin, má sháraíonn an dlús tomhaiste an tsonraíocht, cuireann an loighic rialaithe uisce líonta isteach chun na tiúchain chearta a athbhunú.
Ról Thomhas Dlúis i gCoigeartú Rátaí Breise Uisce agus Slurry
Is é tomhas dlúis sloda cloch lárnach an rialaithe tiúchana ghníomhaigh. Tugann an luach dlúis a sholáthraíonn ionstraimí ar nós méadair dlúis inlíne Lonnmeter eolas díreach do dhá pharaiméadar oibríochta ríthábhachtacha: toirt uisce líonta agus ráta beatha sloda tiubhaithe.
Trí mhéadair dlúis a lonnú ag pointí straitéiseacha—amhail roimh ionchur uirlis CMP nó i ndiaidh an mheascthóra ag an bpointe úsáide—cuireann sonraí fíor-ama ar chumas córais uathoibrithe an ráta breise uisce líonta a choigeartú, rud a chaolaíonn an sloda de réir na sonraíochtaí atá ag teastáil. Ag an am céanna, is féidir leis an gcóras ráta beatha an sloda tiubhaithe a mhodhnú chun tiúchain scríobacha agus ceimiceacha a choinneáil go beacht, ag cur san áireamh úsáid uirlisí, éifeachtaí aosaithe, agus caillteanais de bharr próiseas.
Mar shampla, le linn ritheanna planarúcháin fhada le haghaidh struchtúir NAND 3T, braitheann monatóireacht leanúnach dlúis treochtaí comhiomlánaithe nó socraithe sloda, rud a spreagann méaduithe uathoibríocha in uisce líonta nó corraíl, de réir mar is gá le haghaidh cobhsaíocht phróisis. Tá an lúb rialaithe docht-rialaithe seo bunúsach chun spriocanna aonfhoirmeachta déine ó shlaiféar go slaféar agus laistigh de shlaiféar a choinneáil, go háirithe de réir mar a chúngaíonn toisí gléasanna agus fuinneoga próisis.
Mar achoimre, braitheann straitéisí rialaithe tiúchana sloda i CMP ar mheascán de thomhais ardleibhéil inlíne agus freagairtí uathoibrithe lúb dúnta. Tá ról lárnach ag méadair dlúis sloda, go háirithe aonaid ultrasonaic cosúil leo siúd ó Lonnmeter, maidir leis na sonraí ardtaifigh, tráthúla a sheachadadh atá riachtanach le haghaidh bainistíocht phróisis dhian i gcéimeanna criticiúla déantúsaíochta leathsheoltóirí. Laghdaíonn na huirlisí agus na modheolaíochtaí seo athraitheacht, tacaíonn siad le hinbhuanaitheacht trí úsáid cheimiceán a bharrfheabhsú, agus cuireann siad ar chumas an chruinneas atá riachtanach do theicneolaíochtaí nód nua-aimseartha.
Treoir Roghnúcháin Méadair Dlúis Slurry don Tionscal Leathsheoltóra
Éilíonn roghnú méadar dlúis sloda le haghaidh planarú ceimiceach meicniúil (CMP) sa tionscal leathsheoltóra aird chúramach ar raon ceanglas teicniúil. I measc na bpríomhchritéar feidhmíochta agus cur i bhfeidhm tá íogaireacht, cruinneas, comhoiriúnacht le ceimiceacha sloda ionsaitheacha, agus éascaíocht chomhtháthaithe laistigh de chórais seachadta sloda CMP agus suiteálacha trealaimh.
Riachtanais Íogaireachta agus Cruinneis
Braitheann rialú próisis CMP ar athruithe beaga bídeacha i gcomhdhéanamh an tsladaigh. Ní mór don mhéadar dlúis athruithe íosta de 0.001 g/cm³ nó níos fearr a bhrath. Tá an leibhéal íogaireachta seo riachtanach chun fiú athruithe an-bheag in ábhar scríobach a aithint - amhail iad siúd a fhaightear i sladán snasta CeO₂ nó i sladáin bunaithe ar shilice - toisc go mbíonn tionchar acu seo ar rátaí bainte ábhair, ar phláineacht na sliseanna, agus ar lochtanna. Is é ±0.001–0.002 g/cm³ raon cruinnis inghlactha tipiciúil do mhéadair dlúis sladaigh leathsheoltóra.
Comhoiriúnacht le Sluirí Ionsaitheacha
Is féidir le sloda a úsáidtear i CMP nana-cháithníní scríobacha cosúil le hocsaíd cheiriam (CeO₂), alúmana, nó shilice a bheith iontu, ar fionraí i meáin atá gníomhach ó thaobh na ceimice de. Caithfidh an méadar dlúis nochtadh fada do scríobadh fisiceach agus timpeallachtaí creimneacha a sheasamh gan imeacht as calabrú ná salachar a fhulaingt. Ba chóir go mbeadh ábhair a úsáidtear i gcodanna fliucha neamhghníomhacha do gach ceimic sloda a úsáidtear go coitianta.
Éascaíocht Chomhtháthaithe
Ní mór do mhéadair dlúis sloda inlíne a fheistiú go héasca i suiteálacha trealaimh CMP atá ann cheana féin. Áirítear leis na nithe seo a leanas:
- Toirt marbh íosta agus titim brú íseal chun tionchar a sheachaint ar sheachadadh an tsladaigh.
- Tacaíocht do naisc phróisis thionsclaíocha chaighdeánacha le haghaidh suiteáil agus cothabháil thapa.
- Comhoiriúnacht aschuir (m.sh., comharthaí analógacha/digiteacha) le haghaidh comhtháthú fíor-ama le córais rialaithe tiúchana sloda, ach gan na córais sin féin a sholáthar.
Gnéithe Comparáideacha de na Príomhtheicneolaíochtaí Braiteoirí
Déantar rialú dlúis na slurraí snasta a bhainistiú go príomha trí dhá rang braiteoirí: méadair bunaithe ar dhlúsmhéadracht agus méadair bunaithe ar athraonmhéadracht. Tugann gach ceann acu láidreachtaí atá ábhartha d’fheidhmchláir thionscal na leathsheoltóirí.
Méadair atá bunaithe ar dhlúsmhéadracht (m.sh., Méadar Dlúis Slurry Ultrafhuaime)
- Úsáideann sé luas iomadúcháin fuaime tríd an sloda, a bhaineann go díreach le dlús.
- Soláthraíonn sé líneacht ard i dtomhas dlúis thar raon tiúchan sloda agus cineálacha scríobach.
- An-oiriúnach do shlamaí snasta ionsaitheacha, lena n-áirítear foirmlithe CeO₂ agus shilice, toisc gur féidir na heilimintí braite a dhéanamh scartha go fisiciúil ó cheimiceáin.
- Comhlíonann íogaireacht agus cruinneas tipiciúil an riachtanas faoi bhun 0.001 g/cm³.
- Suiteáil inlíne de ghnáth, rud a cheadaíonn tomhas leanúnach fíor-ama le linn oibriú trealaimh phlánárúcháin cheimicigh mheicniúil.
Méadair atá bunaithe ar athraontamhéadracht
- Tomhaiseann sé an t-innéacs athraonta chun dlús an tsladair a ríomh.
- Éifeachtach chun athruithe beaga i gcomhdhéanamh an tsloid a bhrath mar gheall ar íogaireacht ard d’athruithe tiúchana; in ann athruithe ar chodán maise <0.1% a réiteach.
- Mar sin féin, bíonn innéacs athraonta íogair d’athróga comhshaoil amhail teocht, rud a éilíonn calabrú cúramach agus cúiteamh teochta.
- D’fhéadfadh comhoiriúnacht cheimiceach theoranta a bheith ann, go háirithe i slodair an-ionsaitheach nó teimhneacha.
Méadreolaíocht Méid na gCáithníní mar Chomhlánú
- Is féidir léamha dlúis a shaobhadh mar gheall ar athruithe i ndáileadh mhéid na gcáithníní nó i gcomhthráthú.
- Moltar comhtháthú le hanailís thréimhsiúil ar mhéid na gcáithníní (e.g., scaipeadh solais dinimiciúil nó micreascópacht leictreon) de réir dea-chleachtais sa tionscal, rud a chinntíonn nach bhfuil athruithe dealraitheacha dlúis mar gheall ar chomhbhailiú cáithníní amháin.
Breithnithe maidir le Méadair Dlúis Inlíne Lonnmeter
- Speisialtóireacht Lonnmeter is ea méadair dlúis agus slaodachta inlíne a mhonarú, gan bogearraí tacaíochta ná comhtháthú córais a sholáthar.
- Is féidir méadair Lonnmeter a shonrú chun seasamh in aghaidh slodair CMP scríobacha atá gníomhach ó thaobh ceimice de agus tá siad deartha le haghaidh suiteáil dhíreach inlíne i dtrealamh próisis leathsheoltóra, ag freastal ar na riachtanais maidir le tomhas dlús slodair i bhfíor-am.
Agus roghanna á n-athbhreithniú, dírigh ar chritéir lárnacha an fheidhmchláir: cinntigh go mbainfidh an méadar dlúis an íogaireacht agus an cruinneas riachtanach amach, go bhfuil sé déanta as ábhair atá comhoiriúnach le do cheimic sloda, go seasann sé le hoibriú leanúnach, agus go gcomhtháthaíonn sé go gan uaim i línte seachadta sloda snasta sa phróiseas CMP. I gcás thionscal na leathsheoltóirí, tá tomhas beacht dlúis sloda mar bhonn agus taca ag aonfhoirmeacht, toradh agus tréchur déantúsaíochta na vaiféar.
Tionchar Rialú Éifeachtach Dlúis Slodair ar Thorthaí CMP
Tá rialú beacht ar dhlús an tsladair ríthábhachtach sa phróiseas planarúcháin cheimicigh mheicniúil. Nuair a choinnítear dlús comhsheasmhach, fanann méid na gcáithníní scríobacha atá i láthair le linn snasta cobhsaí. Bíonn tionchar díreach aige seo ar an ráta bainte ábhair (MRR) agus ar cháilíocht dhromchla an tsladair.
Laghdú ar Lochtanna Dromchla na Sliseán agus WIWNU Feabhsaithe
Tá sé cruthaithe go laghdaíonn dlús sloda is fearr lochtanna dromchla vaiféir amhail micriscríobáin, miasú, creimeadh, agus éilliú cáithníní. Léiríonn taighde ó 2024 go dtugann raon dlúis rialaithe, de ghnáth idir 1% de réir meáchain agus 5% de réir meáchain i gcás foirmlithe bunaithe ar shilice collóideach, an chothromaíocht is fearr idir éifeachtúlacht bhaint agus íoslaghdú lochtanna. Méadaíonn dlús thar a bheith ard imbhuailtí scríobacha, rud a fhágann go n-ardaíonn comhaireamh lochtanna faoi dhó nó faoi thrí in aghaidh an cheintiméadar cearnach, mar a dheimhnítear le hanailísí micreascópachta fórsa adamhach agus eilipsiméadrachta. Feabhsaíonn rialú daingean dlúis neamh-aonfhoirmeacht laistigh den vaiféir (WIWNU) freisin, rud a chinntíonn go mbaintear ábhar go cothrom ar fud an vaiféir, rud atá riachtanach do ghléasanna leathsheoltóra nód chun cinn. Cuidíonn dlús comhsheasmhach le cosc a chur ar thurais phróisis a d'fhéadfadh spriocanna tiús scannáin nó cothromúlacht a chur i mbaol.
Síneadh Saoil Sluirí agus Laghdú ar Chostas Inchaite
Le teicnící rialaithe tiúchana sloda—lena n-áirítear monatóireacht fhíor-ama le méadair dlúis sloda ultrasonaic—cuireann siad le saolré úsáideach sloda snasta CMP. Trí ródháileog nó caolú iomarcach a chosc, baintear úsáid is fearr as tomhaltáin le trealamh planarúcháin cheimicigh mheicniúil. Laghdaíonn an cur chuige seo minicíocht athsholáthair sloda agus cuireann sé straitéisí athchúrsála ar chumas, rud a íslíonn costais iomlána. Mar shampla, in iarratais sloda snasta CeO₂, ceadaíonn cothabháil chúramach dlúis athchóiriú baisceanna sloda agus íoslaghdaíonn sé méid dramhaíola gan feidhmíocht a íobairt. Cuireann rialú éifeachtach dlúis ar chumas innealtóirí próisis sloda snasta a aisghabháil agus a athúsáid a fhanann laistigh de thairseacha feidhmíochta inghlactha, rud a chuireann tuilleadh coigilteas costais chun cinn.
In-athdhéantacht agus Rialú Próisis Feabhsaithe le haghaidh Déantúsaíocht Nóid Ardleibhéil
Éilíonn feidhmeanna nua-aimseartha sa tionscal leathsheoltóra in-athdhéantacht ard sa chéim phleanála ceimiceach-meicniúil. I ndéantúsaíocht nód chun cinn, is féidir le fiú luaineachtaí beaga i ndlús an tslat éagsúlacht doghlactha a bheith mar thoradh ar thorthaí na sliseán. Éascaíonn uathoibriú agus comhtháthú méadar dlúis slat ultrasonaic inlíne - amhail iad siúd a mhonaraíonn Lonnmeter - aiseolas leanúnach, fíor-ama le haghaidh rialú próisis. Seachadann na hionstraimí seo tomhais chruinne sna timpeallachtaí ceimiceacha crua atá tipiciúil do CMP, ag tacú le córais lúb dúnta a fhreagraíonn láithreach do dhialltaí. Ciallaíonn tomhas iontaofa dlúis aonfhoirmeacht níos mó ó shlat go sliseán agus rialú níos doichte ar an MRR, atá ríthábhachtach do tháirgeadh leathsheoltóra faoi bhun 7nm. Tá suiteáil cheart trealaimh - suíomh ceart sa líne seachadta slat - agus cothabháil rialta riachtanach chun a chinntiú go bhfeidhmíonn méadair go hiontaofa agus go soláthraíonn siad sonraí atá ríthábhachtach do chobhsaíocht phróisis.
Tá sé bunúsach dlús leordhóthanach sloda a choinneáil chun toradh táirge a uasmhéadú, lochtanna a íoslaghdú, agus monarú cost-éifeachtach a chinntiú i bpróisis CMP.
Ceisteanna Coitianta (CCanna)
Cad é feidhm mhéadair dlúis sloda sa phróiseas planarúcháin cheimicigh mheicniúil?
Tá ról ríthábhachtach ag méadar dlúis sloda sa phróiseas planarúcháin cheimiceach-mheicniúil trí dhlús agus tiúchan an sloda snasta a thomhas go leanúnach. Is é a phríomhfheidhm sonraí fíor-ama a sholáthar maidir leis an gcothromaíocht scríobach agus cheimiceach sa sloda, ag cinntiú go bhfuil an dá cheann laistigh de theorainneacha beachta le haghaidh planarúcháin vaiféir is fearr. Cuireann an rialú fíor-ama seo cosc ar lochtanna cosúil le scríobadh nó baint ábhair míchothrom, atá coitianta le meascáin sloda ró-chaolaithe nó tearc-chaolaithe. Cuidíonn dlús sloda comhsheasmhach le hin-atáirgtheacht a choinneáil ar fud ritheanna táirgthe, íoslaghdaíonn sé éagsúlacht ó vaiféar go vaiféar, agus tacaíonn sé le hoptamú próisis trí ghníomhartha ceartaitheacha a spreagadh má bhraitear diallais. I monarú leathsheoltóra chun cinn agus i bhfeidhmeanna ard-iontaofachta, laghdaíonn monatóireacht leanúnach dramhaíl freisin agus tacaíonn sé le bearta dochta dearbhaithe cáilíochta.
Cén fáth gur fearr sloda snasta CeO₂ le haghaidh céimeanna áirithe de phlánáil sa tionscal leathsheoltóra?
Roghnaítear sloda snasta ocsaíd cheiriam (CeO₂) le haghaidh céimeanna sonracha planarúcháin leathsheoltóra mar gheall ar a roghnaíocht agus a chleamhnas ceimiceach eisceachtúil, go háirithe le haghaidh scannán gloine agus ocsaíde. Mar thoradh ar a cháithníní scríobacha aonfhoirmeacha, bíonn planarúchán ardchaighdeáin ann le rátaí locht an-íseal agus scríobadh dromchla íosta. Cuireann airíonna ceimiceacha CeO₂ rátaí bainte cobhsaí agus in-athdhéanta ar fáil, atá riachtanach d’fheidhmchláir ardleibhéil amhail fótóinic agus ciorcaid chomhtháite ard-dlúis. Ina theannta sin, cuireann sloda CeO₂ i gcoinne comhbhailithe, ag cothabháil fionraí comhsheasmhach fiú le linn oibríochtaí CMP fada.
Conas a oibríonn méadar dlúis sloda ultrasonaic i gcomparáid le cineálacha eile tomhais?
Oibríonn méadar dlúis sloda ultrasonaic trí thonnta fuaime a tharchur tríd an sloda agus luas agus maolú na dtonnta seo a thomhas. Bíonn tionchar díreach ag dlús sloda ar cé chomh tapa agus a thaistealaíonn na tonnta agus ar an méid a laghdaíonn a ndéine. Níl an cur chuige tomhais seo ionrach agus soláthraíonn sé sonraí tiúchana sloda fíor-ama gan gá sreabhadh an phróisis a leithlisiú ná a chur isteach go fisiciúil. Léiríonn modhanna ultrasonaic níos lú íogaireachta d’athróga amhail luas sreafa nó méid na gcáithníní i gcomparáid le córais tomhais dlúis mheicniúla (bunaithe ar snámhphointe) nó gravimeéadracha. I bplánarú ceimiceach meicniúil, aistrítear é seo go tomhais iontaofa, láidre fiú i sloda ard-sreafa, saibhir i gcáithníní.
Cá háit ar cheart méadair dlúis sloda a shuiteáil de ghnáth i gcóras CMP?
I measc na suíomhanna suiteála is fearr le haghaidh méadar dlúis sloda i dtrealamh planarúcháin cheimicigh mheicniúil tá:
- An umar athchúrsaíochta: chun monatóireacht leanúnach a dhéanamh ar dlús foriomlán an tsladair roimh an dáileadh.
- Roimh sheachadadh chuig an bpointe úsáide chuig an ceap snasta: chun a chinntiú go gcomhlíonann an sloda a sholáthraítear sonraíochtaí dlúis sprice.
- Tar éis pointí meascáin an tsladair: a chinntiú go gcomhlíonann baisceanna nua-ullmhaithe na foirmlithe riachtanacha sula dtéann siad isteach sa lúb próisis.
Leis na suíomhanna straitéiseacha seo, is féidir aon diall i dtiúchan an tsladaigh a bhrath agus a cheartú go tapa, rud a chuireann cosc ar cháilíocht na vaiféar lagaithe agus ar chur isteach ar phróisis. Braitheann an socrúchán ar dhinimic shreafa an tsladaigh, ar iompar meascáin tipiciúil, agus ar an ngá atá le haiseolas láithreach in aice leis an eochaircheap planarization.
Conas a fheabhsaíonn rialú beacht tiúchana sloda feidhmíocht an phróisis CMP?
Feabhsaíonn rialú beacht ar thiúchan an tslama an próiseas planarúcháin cheimicigh mheicniúil trí rátaí bainte aonfhoirmeacha a chinntiú, éagsúlacht friotaíochta bileog a íoslaghdú, agus minicíocht lochtanna dromchla a laghdú. Síneann dlús tslama cobhsaí saolré an eochaircheap snasta agus an tsliabháin trí ró-úsáid nó tearcúsáid scríobach a chosc. Laghdaíonn sé costais phróisis freisin trí thomhaltas tslama a bharrfheabhsú, ath-obair a laghdú, agus toradh níos airde ar fheistí leathsheoltóra a thacú. Go háirithe i ndéantúsaíocht ardleibhéil agus i monarú feistí chandamach, tacaíonn rialú dian tslama le cothromaíocht in-athchruthaithe, feidhmíocht leictreach chomhsheasmhach, agus sceitheadh laghdaithe trasna ailtireachtaí feistí.
Am poist: 09 Nollaig 2025
