مسطحسازی مکانیکی شیمیایی(CMP) یک فرآیند بنیادی در تولید نیمههادیهای پیشرفته است. این فرآیند، مسطح بودن در سطح اتمی را در سطوح ویفر ارائه میدهد و امکان معماریهای چندلایه، بستهبندی دقیقتر دستگاه و بازده قابل اطمینانتر را فراهم میکند. CMP با استفاده از یک پد چرخان و یک دوغاب صیقلدهنده تخصصی، اقدامات شیمیایی و مکانیکی همزمان را برای حذف لایههای اضافی و ناهمواریهای سطح صاف، که برای الگوسازی و ترازبندی ویژگیها در مدارهای مجتمع بسیار مهم است، ادغام میکند.
کیفیت ویفر پس از CMP به شدت به کنترل دقیق ترکیب و ویژگیهای دوغاب پولیش بستگی دارد. این دوغاب حاوی ذرات ساینده مانند اکسید سریم (CeO₂) است که در ترکیبی از مواد شیمیایی معلق شدهاند تا هم سایش فیزیکی و هم سرعت واکنش شیمیایی را بهینه کنند. به عنوان مثال، اکسید سریم سختی و شیمی سطح بهینهای را برای فیلمهای مبتنی بر سیلیکون ارائه میدهد و آن را به ماده انتخابی در بسیاری از کاربردهای CMP تبدیل میکند. اثربخشی CMP نه تنها توسط خواص ذرات ساینده، بلکه با مدیریت دقیق غلظت دوغاب، pH و چگالی نیز تعیین میشود.
مسطحسازی مکانیکی شیمیایی
*
اصول دوغابهای پرداختکاری در تولید نیمههادیها
دوغابهای صیقلدهنده، بخش اصلی فرآیند مسطحسازی شیمیایی-مکانیکی هستند. آنها مخلوطهای پیچیدهای هستند که برای دستیابی به سایش مکانیکی و اصلاح شیمیایی سطح روی سطوح ویفر طراحی شدهاند. نقشهای اساسی دوغابهای CMP شامل حذف مؤثر مواد، کنترل مسطح بودن، یکنواختی در نواحی بزرگ ویفر و به حداقل رساندن نقص است.
نقشها و ترکیبات دوغابهای صیقلدهنده
یک دوغاب CMP معمولی حاوی ذرات ساینده معلق در یک ماتریس مایع است که با افزودنیهای شیمیایی و تثبیتکنندهها تکمیل میشود. هر جزء نقش متمایزی ایفا میکند:
- سایندهها:این ذرات ریز و جامد - عمدتاً سیلیس (SiO₂) یا اکسید سریم (CeO₂) در کاربردهای نیمههادی - بخش مکانیکی حذف مواد را انجام میدهند. غلظت و توزیع اندازه ذرات آنها، هم سرعت حذف و هم کیفیت سطح را کنترل میکند. میزان سایندگی معمولاً از 1٪ تا 5٪ وزنی متغیر است، با قطر ذرات بین 20 نانومتر و 300 نانومتر، که به طور دقیق مشخص شدهاند تا از خراش بیش از حد ویفر جلوگیری شود.
- افزودنیهای شیمیایی:این عوامل، محیط شیمیایی را برای مسطحسازی مؤثر ایجاد میکنند. اکسیدکنندهها (مثلاً پراکسید هیدروژن) تشکیل لایههای سطحی را که سایش آنها آسانتر است، تسهیل میکنند. عوامل کمپلکسکننده یا کلاتکننده (مانند پرسولفات آمونیوم یا اسید سیتریک) یونهای فلزی را به هم متصل میکنند، حذف را افزایش داده و تشکیل نقص را سرکوب میکنند. مهارکنندهها برای جلوگیری از حکاکی ناخواسته لایههای ویفر مجاور یا زیرین و بهبود گزینشپذیری معرفی میشوند.
- تثبیت کننده ها:سورفکتانتها و بافرهای pH، پایداری دوغاب و پراکندگی یکنواخت را حفظ میکنند. سورفکتانتها از تجمع مواد ساینده جلوگیری میکنند و سرعت حذف همگن را تضمین میکنند. بافرهای pH، سرعت واکنش شیمیایی ثابتی را فراهم میکنند و احتمال تجمع ذرات یا خوردگی را کاهش میدهند.
فرمولاسیون و غلظت هر جزء متناسب با جنس ویفر، ساختار قطعه و مرحله فرآیند مربوط به فرآیند مسطحسازی شیمیایی-مکانیکی تنظیم میشود.
دوغابهای رایج: سیلیس (SiO₂) در مقابل اکسید سریم (CeO₂)
دوغابهای صیقلدهنده سیلیس (SiO₂)در مراحل مسطحسازی اکسید، مانند پرداخت دیالکتریک بین لایهای (ILD) و جداسازی ترانشه کمعمق (STI)، غالب هستند. آنها از سیلیس کلوئیدی یا دودی به عنوان ساینده، اغلب در یک محیط بازی (pH ~10) استفاده میکنند و گاهی اوقات با سورفکتانتهای جزئی و مهارکنندههای خوردگی تکمیل میشوند تا نقصهای خراش را محدود کرده و نرخ حذف را بهینه کنند. ذرات سیلیس به دلیل اندازه یکنواخت و سختی کم، ارزش حذف ملایم و یکنواخت مواد را دارند که برای لایههای ظریف مناسب است.
دوغابهای جلادهنده اکسید سریم (CeO₂)برای کاربردهای چالشبرانگیزی که نیاز به گزینشپذیری و دقت بالا دارند، مانند صیقلدهی نهایی زیرلایه شیشهای، مسطحسازی پیشرفته زیرلایه و لایههای اکسید خاص در دستگاههای نیمهرسانا، انتخاب میشوند. سایندههای CeO₂ واکنشپذیری منحصر به فردی، به ویژه با سطوح دیاکسید سیلیکون، از خود نشان میدهند و مکانیسمهای حذف شیمیایی و مکانیکی را ممکن میسازند. این رفتار دوگانه، نرخ مسطحسازی بالاتری را در سطوح نقص پایینتر ارائه میدهد و دوغابهای CeO₂ را برای شیشه، زیرلایههای هارد دیسک یا گرههای دستگاه منطقی پیشرفته ترجیح میدهد.
هدف کاربردی سایندهها، افزودنیها و تثبیتکنندهها
- سایندههاسایش مکانیکی را انجام دهید. اندازه، شکل و غلظت آنها، سرعت حذف و پرداخت سطح را تعیین میکند. به عنوان مثال، سایندههای سیلیسی یکنواخت ۵۰ نانومتری، مسطحسازی ملایم و یکنواخت لایههای اکسید را تضمین میکنند.
- افزودنیهای شیمیاییبا تسهیل اکسیداسیون و انحلال سطح، حذف انتخابی را امکانپذیر میکند. در CMP مس، گلیسین (به عنوان عامل کمپلکسساز) و پراکسید هیدروژن (به عنوان اکسیدکننده) به صورت همافزایی عمل میکنند، در حالی که BTA به عنوان یک مهارکننده محافظتکننده از ویژگیهای مس عمل میکند.
- تثبیت کننده ها: ترکیب دوغاب را در طول زمان یکنواخت نگه دارید. سورفکتانتها از رسوب و تجمع جلوگیری میکنند و تضمین میکنند که ذرات ساینده به طور مداوم پراکنده شده و برای فرآیند در دسترس باشند.
خواص منحصر به فرد و سناریوهای استفاده: دوغابهای CeO₂ و SiO₂
دوغاب صیقل دهنده CeO₂به دلیل واکنشپذیری شیمیایی ذاتی، گزینشپذیری بالایی بین شیشه و اکسید سیلیکون ارائه میدهد. این ماده به ویژه برای مسطحسازی زیرلایههای سخت و شکننده یا پشتههای اکسید کامپوزیت که در آنها گزینشپذیری بالای مواد ضروری است، مؤثر است. این امر، دوغابهای CeO₂ را به استانداردی در آمادهسازی پیشرفته زیرلایه، پرداخت دقیق شیشه و مراحل خاص جداسازی ترانشه کمعمق (STI) CMP در صنعت نیمهرسانا تبدیل میکند.
دوغاب صیقل دهنده SiO₂ترکیبی متعادل از حذف مکانیکی و شیمیایی را فراهم میکند. این ماده به طور گسترده برای مسطحسازی اکسید تودهای و دیالکتریک بین لایهای، که در آن توان عملیاتی بالا و حداقل نقص لازم است، استفاده میشود. اندازه ذرات یکنواخت و کنترلشده سیلیس همچنین ایجاد خراش را محدود کرده و کیفیت سطح نهایی برتر را تضمین میکند.
اهمیت اندازه ذرات و یکنواختی پراکندگی
اندازه ذرات و یکنواختی پراکندگی برای عملکرد دوغاب بسیار مهم است. ذرات ساینده یکنواخت در مقیاس نانومتری، نرخ حذف مواد ثابت و سطح ویفر بدون نقص را تضمین میکنند. تجمع ذرات منجر به خراش یا صیقل غیرقابل پیشبینی میشود، در حالی که توزیع اندازه گسترده باعث مسطح شدن غیر یکنواخت و افزایش تراکم نقص میشود.
کنترل مؤثر غلظت دوغاب - که توسط فناوریهایی مانند چگالیسنج دوغاب یا دستگاههای اندازهگیری چگالی دوغاب اولتراسونیک کنترل میشود - بارگذاری سایشی ثابت و نتایج فرآیند قابل پیشبینی را تضمین میکند و مستقیماً بر بازده و عملکرد دستگاه تأثیر میگذارد. دستیابی به کنترل دقیق چگالی و پراکندگی یکنواخت، الزامات کلیدی برای نصب تجهیزات مسطحسازی شیمیایی-مکانیکی و بهینهسازی فرآیند هستند.
به طور خلاصه، فرمولاسیون دوغابهای صیقلدهنده - به ویژه انتخاب و کنترل نوع ساینده، اندازه ذرات و مکانیسمهای تثبیت - زیربنای قابلیت اطمینان و کارایی فرآیند مسطحسازی شیمیایی-مکانیکی در کاربردهای صنعت نیمههادی است.
اهمیت اندازهگیری چگالی دوغاب در CMP
در فرآیند مسطحسازی شیمیایی-مکانیکی، اندازهگیری و کنترل دقیق چگالی دوغاب مستقیماً بر کارایی و کیفیت پولیش ویفر تأثیر میگذارد. چگالی دوغاب - غلظت ذرات ساینده در دوغاب پولیش - به عنوان یک اهرم مرکزی فرآیند عمل میکند و سرعت پولیش، کیفیت سطح نهایی و بازده کلی ویفر را شکل میدهد.
رابطه بین چگالی دوغاب، نرخ صیقلکاری، کیفیت سطح و بازده ویفر
غلظت ذرات ساینده در دوغاب صیقلدهنده CeO₂ یا سایر فرمولاسیونهای دوغاب صیقلدهنده، سرعت حذف مواد از سطح ویفر را تعیین میکند که معمولاً به آن نرخ حذف یا نرخ حذف مواد (MRR) گفته میشود. افزایش چگالی دوغاب عموماً تعداد تماسهای ساینده در واحد سطح را افزایش میدهد و سرعت پرداخت را تسریع میکند. به عنوان مثال، یک مطالعه کنترلشده در سال 2024 گزارش داد که افزایش غلظت ذرات سیلیس تا 5 درصد وزنی در دوغاب کلوئیدی، نرخ حذف را برای ویفرهای سیلیکونی 200 میلیمتری به حداکثر میرساند. با این حال، این رابطه خطی نیست - نقطهای از بازده نزولی وجود دارد. در چگالیهای دوغاب بالاتر، تجمع ذرات باعث ایجاد یک سطح ثابت یا حتی کاهش در نرخ حذف به دلیل اختلال در انتقال جرم و افزایش ویسکوزیته میشود.
کیفیت سطح به همان اندازه به چگالی دوغاب حساس است. در غلظتهای بالا، عیوبی مانند خراشها، خردههای جاافتاده و حفرهها بیشتر میشوند. در همین مطالعه، افزایش خطی در زبری سطح و چگالی قابل توجه خراش هنگام افزایش چگالی دوغاب بالاتر از ۸ تا ۱۰ درصد وزنی مشاهده شد. برعکس، کاهش چگالی، خطر نقص را کاهش میدهد اما میتواند حذف را کند کرده و مسطح بودن را به خطر بیندازد.
بازده ویفر، نسبت ویفرهایی که پس از پرداخت، مشخصات فرآیند را برآورده میکنند، توسط این اثرات ترکیبی تنظیم میشود. نرخ بالای نقص و حذف غیریکنواخت، هر دو بازده را کاهش میدهند و بر تعادل ظریف بین توان عملیاتی و کیفیت در ساخت نیمههادیهای مدرن تأکید میکنند.
تأثیر تغییرات جزئی غلظت دوغاب بر فرآیند CMP
حتی انحرافات جزئی از چگالی بهینه دوغاب - کسری از درصد - میتواند به طور قابل توجهی بر خروجی فرآیند تأثیر بگذارد. اگر غلظت ساینده از هدف بالاتر رود، ممکن است خوشهبندی ذرات رخ دهد که منجر به سایش سریع پدها و دیسکهای تهویه، نرخ بالاتر خراش سطح و گرفتگی یا فرسایش احتمالی اجزای سیال در تجهیزات مسطحسازی شیمیایی-مکانیکی میشود. چگالی کمتر از حد مجاز میتواند لایههای باقیمانده و توپوگرافیهای نامنظم سطح را به جا بگذارد که مراحل بعدی فوتولیتوگرافی را به چالش میکشد و بازده را کاهش میدهد.
تغییرات در چگالی دوغاب همچنین بر واکنشهای شیمیایی-مکانیکی روی ویفر تأثیر میگذارد و اثرات بعدی آن بر نقص و عملکرد دستگاه است. به عنوان مثال، ذرات کوچکتر یا غیریکنواخت پراکنده در دوغابهای رقیق شده بر نرخ حذف موضعی تأثیر میگذارند و میکروتوپوگرافی ایجاد میکنند که میتواند به عنوان خطاهای فرآیند در تولید با حجم بالا منتشر شود. این ظرافتها نیاز به کنترل دقیق غلظت دوغاب و نظارت قوی، به ویژه در گرههای پیشرفته، دارند.
اندازهگیری و بهینهسازی چگالی دوغاب در لحظه
اندازهگیری بلادرنگ چگالی دوغاب، که با استقرار چگالیسنجهای درونخطی - مانند چگالیسنجهای اولتراسونیک دوغاب تولید شده توسط Lonnmeter - امکانپذیر شده است، اکنون در کاربردهای پیشرفته صنعت نیمههادی استاندارد است. این ابزارها امکان نظارت مداوم بر پارامترهای دوغاب را فراهم میکنند و بازخورد فوری در مورد نوسانات چگالی را هنگام حرکت دوغاب از طریق ابزارهای CMP و سیستمهای توزیع ارائه میدهند.
مزایای کلیدی اندازهگیری چگالی دوغاب در زمان واقعی عبارتند از:
- تشخیص فوری شرایط خارج از مشخصات، جلوگیری از انتشار نقصها از طریق فرآیندهای پرهزینه پاییندستی
- بهینهسازی فرآیند - مهندسان را قادر میسازد تا یک پنجره چگالی دوغاب بهینه را حفظ کنند، نرخ حذف را به حداکثر برسانند و در عین حال نقص را به حداقل برسانند.
- افزایش سازگاری ویفر به ویفر و قطعه به قطعه، که به بازده کلی ساخت بالاتر منجر میشود
- سلامت طولانی مدت تجهیزات، زیرا دوغابهای بیش از حد غلیظ یا کم غلیظ میتوانند سایش پدهای پولیش، میکسرها و لولهکشیهای توزیع را تسریع کنند.
محلهای نصب تجهیزات CMP معمولاً حلقههای نمونه یا خطوط گردش مجدد را از طریق منطقه اندازهگیری عبور میدهند و اطمینان حاصل میکنند که قرائتهای چگالی، نمایانگر جریان واقعی تحویل داده شده به ویفرها هستند.
دقیق و بلادرنگاندازهگیری چگالی دوغابستون فقرات روشهای قوی کنترل چگالی دوغاب را تشکیل میدهد و از فرمولاسیونهای دوغاب صیقلکاری جدید و تثبیتشده، از جمله دوغابهای اکسید سریم (CeO₂) چالشبرانگیز برای لایه میانی پیشرفته و CMP اکسیدی، پشتیبانی میکند. حفظ این پارامتر حیاتی مستقیماً با بهرهوری، کنترل هزینه و قابلیت اطمینان دستگاه در طول فرآیند مسطحسازی شیمیایی-مکانیکی مرتبط است.
اصول و فناوریهای اندازهگیری چگالی دوغاب
چگالی دوغاب، جرم جامدات در واحد حجم را در یک دوغاب صیقلکاری، مانند فرمولاسیونهای اکسید سریم (CeO₂) مورد استفاده در مسطحسازی شیمیایی-مکانیکی (CMP)، توصیف میکند. این متغیر، نرخ حذف مواد، یکنواختی خروجی و سطح نقص روی ویفرهای صیقلکاری شده را تعیین میکند. اندازهگیری مؤثر چگالی دوغاب برای کنترل پیشرفته غلظت دوغاب حیاتی است و مستقیماً بر بازده و نقص در کاربردهای صنعت نیمههادی تأثیر میگذارد.
طیف وسیعی از کنتورهای چگالی دوغاب در عملیات CMP به کار گرفته میشوند که هر کدام از اصول اندازهگیری متفاوتی استفاده میکنند. روشهای وزنی بر جمعآوری و وزن کردن حجم مشخصی از دوغاب متکی هستند که دقت بالایی ارائه میدهند اما فاقد قابلیت اندازهگیری در زمان واقعی هستند و استفاده مداوم از آنها را در محلهای نصب تجهیزات CMP غیرعملی میکنند. کنتورهای چگالی الکترومغناطیسی از میدانهای الکترومغناطیسی برای استنباط چگالی بر اساس تغییرات رسانایی و گذردهی الکتریکی ناشی از ذرات ساینده معلق استفاده میکنند. کنتورهای ارتعاشی، مانند دانسیتومترهای لوله ارتعاشی، پاسخ فرکانسی یک لوله پر از دوغاب را اندازهگیری میکنند. تغییرات چگالی بر فرکانس ارتعاش تأثیر میگذارد و امکان نظارت مداوم را فراهم میکند. این فناوریها از نظارت درون خطی پشتیبانی میکنند اما میتوانند به رسوب یا تغییرات شیمیایی حساس باشند.
کنتورهای چگالی دوغاب اولتراسونیک، پیشرفت تکنولوژیکی کلیدی برای نظارت بر چگالی در زمان واقعی در مسطحسازی شیمیایی-مکانیکی هستند. این ابزارها امواج اولتراسونیک را از طریق دوغاب ساطع میکنند و زمان پرواز یا سرعت انتشار صدا را اندازهگیری میکنند. سرعت صوت در یک محیط به چگالی و غلظت جامدات آن بستگی دارد و امکان تعیین دقیق خواص دوغاب را فراهم میکند. مکانیسم اولتراسونیک برای محیطهای ساینده و شیمیایی تهاجمی معمول CMP بسیار مناسب است، زیرا در مقایسه با کنتورهای تماس مستقیم، نفوذناپذیر است و رسوب حسگر را کاهش میدهد. Lonnmeter کنتورهای چگالی دوغاب اولتراسونیک درون خطی متناسب با خطوط CMP صنعت نیمههادی تولید میکند.
مزایای استفاده از چگالی سنجهای دوغاب اولتراسونیک عبارتند از:
- اندازهگیری غیرتهاجمی: حسگرها معمولاً به صورت خارجی یا درون سلولهای جریان بایپس نصب میشوند که باعث به حداقل رساندن اختلال در دوغاب و جلوگیری از سایش سطوح حسگر میشود.
- قابلیت زمان واقعی: خروجی مداوم امکان تنظیمات فوری فرآیند را فراهم میکند و تضمین میکند که چگالی دوغاب در پارامترهای تعریف شده برای کیفیت بهینه پولیش ویفر باقی بماند.
- دقت و استحکام بالا: اسکنرهای اولتراسونیک، خوانشهای پایدار و تکرارپذیری ارائه میدهند که تحت تأثیر نوسانات شیمیایی دوغاب یا بار ذرات در طول نصبهای طولانی قرار نمیگیرند.
- ادغام با تجهیزات CMP: طراحی آنها از نصب در خطوط دوغاب چرخشی یا منیفولدهای تحویل پشتیبانی میکند و کنترل فرآیند را بدون خرابی طولانی ساده میکند.
مطالعات موردی اخیر در ساخت نیمههادیها، کاهش تا 30 درصدی نقص را گزارش میدهند، زمانی که نظارت بر چگالی اولتراسونیک درون خطی، نصب تجهیزات مسطحسازی شیمیایی-مکانیکی را برای فرآیندهای دوغاب پرداخت اکسید سریم (CeO₂) تکمیل میکند. بازخورد خودکار از حسگرهای اولتراسونیک امکان کنترل دقیقتر بر فرمولاسیونهای دوغاب پرداخت را فراهم میکند که منجر به بهبود یکنواختی ضخامت و کاهش ضایعات مواد میشود. چگالیسنجهای اولتراسونیک، هنگامی که با پروتکلهای کالیبراسیون قوی ترکیب میشوند، عملکرد قابل اعتمادی را در مواجهه با تغییرات ترکیب دوغاب، که در عملیات پیشرفته CMP مکرراً رخ میدهد، حفظ میکنند.
به طور خلاصه، اندازهگیری چگالی دوغاب در زمان واقعی - به ویژه با استفاده از فناوری اولتراسونیک - به مرکز روشهای دقیق کنترل چگالی دوغاب در CMP تبدیل شده است. این پیشرفتها مستقیماً باعث بهبود بازده، کارایی فرآیند و کیفیت ویفر در صنعت نیمههادی میشوند.
مکانیابی و یکپارچهسازی نصب در سیستمهای CMP
اندازهگیری صحیح چگالی دوغاب برای کنترل غلظت دوغاب در فرآیند مسطحسازی شیمیایی-مکانیکی حیاتی است. انتخاب نقاط نصب مؤثر برای اندازهگیری چگالی دوغاب مستقیماً بر دقت، پایداری فرآیند و کیفیت ویفر تأثیر میگذارد.
عوامل حیاتی برای انتخاب نقاط نصب
در سیستمهای CMP، چگالیسنجها باید طوری قرار داده شوند که دوغاب واقعی مورد استفاده برای پرداخت ویفر را کنترل کنند. مکانهای اصلی نصب عبارتند از:
- مخزن گردش مجدد:قرار دادن کنتور در خروجی، بینشی از وضعیت دوغاب پایه قبل از توزیع ارائه میدهد. با این حال، این مکان ممکن است تغییراتی را که در پاییندست رخ میدهند، مانند تشکیل حباب یا اثرات حرارتی موضعی، از دست بدهد.
- خطوط تحویل:نصب پس از واحدهای اختلاط و قبل از ورود به منیفولدهای توزیع، تضمین میکند که اندازهگیری چگالی، فرمول نهایی دوغاب، شامل دوغاب صیقلدهنده اکسید سریم (CeO₂) و سایر افزودنیها را منعکس میکند. این موقعیت امکان تشخیص سریع تغییرات غلظت دوغاب را درست قبل از پردازش ویفرها فراهم میکند.
- نظارت در نقطه استفاده:مکان بهینه بلافاصله در بالادست شیر یا ابزار مورد استفاده قرار میگیرد. این امر چگالی دوغاب را به صورت بلادرنگ ثبت میکند و اپراتورها را از انحرافات در شرایط فرآیند که میتواند ناشی از گرمایش خط، جداسازی یا تولید میکروحباب باشد، آگاه میسازد.
هنگام انتخاب محل نصب، عوامل دیگری مانند رژیم جریان، جهت لوله و نزدیکی به پمپها یا شیرها باید در نظر گرفته شوند:
- لطفنصب عمودیبا جریان رو به بالا برای به حداقل رساندن حباب هوا و تجمع رسوب روی عنصر حسگر.
- برای جلوگیری از خطاهای خواندن ناشی از اختلالات جریان، چندین قطر لوله بین کنتور و منابع اصلی تلاطم (پمپها، شیرها) در نظر بگیرید.
- استفاده کنیدتهویه جریان(صافکنندهها یا بخشهای آرامکننده) برای ارزیابی اندازهگیری چگالی در یک محیط آرام و ثابت.
چالشهای رایج و بهترین شیوهها برای یکپارچهسازی حسگرهای قابل اعتماد
سیستمهای دوغاب CMP چالشهای ادغام متعددی را ایجاد میکنند:
- ورود هوا و حبابها:در صورت وجود حبابهای ریز، چگالیسنجهای اولتراسونیک دوغاب میتوانند چگالی را اشتباه نشان دهند. از قرار دادن حسگرها در نزدیکی نقاط ورود هوا یا تغییر ناگهانی جریان، که معمولاً در نزدیکی تخلیه پمپها یا مخازن اختلاط رخ میدهد، خودداری کنید.
- رسوب گذاری:در خطوط افقی، حسگرها ممکن است با ذرات جامد تهنشین شونده، به خصوص با دوغاب صیقلدهنده CeO₂، مواجه شوند. نصب یا قرارگیری عمودی در بالای مناطق احتمالی تهنشینی برای حفظ کنترل دقیق چگالی دوغاب توصیه میشود.
- رسوب حسگر:دوغابهای CMP حاوی عوامل ساینده و شیمیایی هستند که ممکن است منجر به رسوب یا پوشش سنسور شوند. ابزارهای درون خطی Lonnmeter برای کاهش این امر طراحی شدهاند، اما بازرسی و تمیز کردن منظم برای قابلیت اطمینان همچنان ضروری است.
- ارتعاشات مکانیکی:قرار دادن نزدیک به دستگاههای مکانیکی فعال میتواند باعث ایجاد نویز در حسگر شود و دقت اندازهگیری را کاهش دهد. نقاط نصب را با حداقل میزان لرزش انتخاب کنید.
برای بهترین نتایج ادغام:
- برای نصب از مقاطع جریان لمینار استفاده کنید.
- در صورت امکان، تراز عمودی را تضمین کنید.
- دسترسی آسان برای نگهداری و کالیبراسیون دورهای را فراهم کنید.
- حسگرها را از لرزش و اختلالات جریان جدا کنید.
سی ام پی
*
استراتژیهای کنترل غلظت دوغاب
کنترل مؤثر غلظت دوغاب در فرآیند مسطحسازی شیمیایی-مکانیکی برای حفظ نرخهای ثابت حذف مواد، کاهش عیوب سطح ویفر و تضمین یکنواختی در ویفرهای نیمههادی ضروری است. روشها و فناوریهای متعددی برای دستیابی به این دقت استفاده میشوند که هم از عملیات ساده و هم از بازده بالای دستگاه پشتیبانی میکنند.
تکنیکها و ابزارهایی برای حفظ غلظت بهینه دوغاب
کنترل غلظت دوغاب با نظارت لحظهای بر ذرات ساینده و گونههای شیمیایی موجود در دوغاب پولیش آغاز میشود. برای دوغاب پولیش اکسید سریم (CeO₂) و سایر فرمولاسیونهای CMP، روشهای مستقیم مانند اندازهگیری چگالی دوغاب در خط تولید، اساسی هستند. چگالیسنجهای اولتراسونیک دوغاب، مانند نمونههای تولید شده توسط Lonnmeter، اندازهگیریهای مداوم چگالی دوغاب را ارائه میدهند که به شدت با محتوای جامد کل و یکنواختی آن مرتبط است.
تکنیکهای مکمل شامل آنالیز کدورت - که در آن حسگرهای نوری پراکندگی ذرات ساینده معلق را تشخیص میدهند - و روشهای طیفسنجی مانند طیفسنجی UV-Vis یا طیفسنجی نزدیک به مادون قرمز (NIR) برای تعیین کمیت واکنشدهندههای کلیدی در جریان دوغاب هستند. این اندازهگیریها ستون فقرات سیستمهای کنترل فرآیند CMP را تشکیل میدهند و امکان تنظیمات زنده را برای حفظ محدوده غلظت هدف و به حداقل رساندن تغییرپذیری از دستهای به دسته دیگر فراهم میکنند.
حسگرهای الکتروشیمیایی در فرمولاسیونهای غنی از یونهای فلزی به کار میروند و اطلاعات واکنش سریعی در مورد غلظتهای یونی خاص ارائه میدهند و از تنظیم دقیقتر در کاربردهای پیشرفته صنعت نیمههادی پشتیبانی میکنند.
حلقههای بازخورد و اتوماسیون برای کنترل حلقه بسته
نصب تجهیزات مدرن مسطحسازی شیمیایی-مکانیکی به طور فزایندهای از سیستمهای کنترل حلقه بسته استفاده میکند که مترولوژی درون خطی را با سیستمهای توزیع خودکار متصل میکنند. دادههای حاصل از کنتورهای چگالی دوغاب و سنسورهای مرتبط مستقیماً به کنترلکنندههای منطقی قابل برنامهریزی (PLC) یا سیستمهای کنترل توزیعشده (DCS) ارسال میشوند. این سیستمها به طور خودکار شیرها را برای افزودن آب جبرانی، دوز دوغاب غلیظ و حتی تزریق تثبیتکننده فعال میکنند و تضمین میکنند که فرآیند همیشه در محدوده عملیاتی مورد نیاز باقی بماند.
این معماری بازخورد امکان اصلاح مداوم هرگونه انحراف شناساییشده توسط حسگرهای بلادرنگ را فراهم میکند، از رقیقسازی بیش از حد جلوگیری میکند، غلظت بهینه مواد ساینده را حفظ میکند و مصرف بیش از حد مواد شیمیایی را کاهش میدهد. به عنوان مثال، در یک ابزار CMP با توان عملیاتی بالا برای گرههای ویفر پیشرفته، یک سنجشگر چگالی دوغاب اولتراسونیک درونخطی، افت غلظت مواد ساینده را تشخیص میدهد و بلافاصله به سیستم دوزینگ سیگنال میدهد تا تزریق دوغاب را افزایش دهد، تا زمانی که چگالی به نقطه تنظیم خود بازگردد. برعکس، اگر چگالی اندازهگیری شده از مشخصات بیشتر باشد، منطق کنترل، افزودن آب جبرانی را برای بازیابی غلظتهای صحیح آغاز میکند.
نقش اندازهگیری چگالی در تنظیم میزان افزودن آب جبرانی و دوغاب
اندازهگیری چگالی دوغاب، سنگ بنای کنترل فعال غلظت است. مقدار چگالی ارائه شده توسط ابزارهایی مانند چگالیسنجهای درونخطی Lonnmeter مستقیماً دو پارامتر عملیاتی حیاتی را مشخص میکند: حجم آب جبرانی و نرخ تغذیه دوغاب غلیظ.
با قرار دادن چگالیسنجها در نقاط استراتژیک - مانند قبل از ورودی ابزار CMP یا بعد از میکسر در محل استفاده - دادههای بلادرنگ، سیستمهای خودکار را قادر میسازد تا نرخ افزودن آب جبرانی را تنظیم کنند و در نتیجه دوغاب را تا مشخصات مورد نظر رقیق کنند. همزمان، سیستم میتواند نرخ تغذیه دوغاب غلیظ را تنظیم کند تا غلظت مواد ساینده و شیمیایی را به طور دقیق حفظ کند و استفاده از ابزار، اثرات پیری و تلفات ناشی از فرآیند را در نظر بگیرد.
برای مثال، در طول اجرای گسترده مسطحسازی برای ساختارهای NAND سهبعدی، نظارت مداوم بر چگالی، روند تجمع یا تهنشینی دوغاب را تشخیص میدهد و باعث افزایش خودکار آب جبرانی یا همزدن، همانطور که برای پایداری فرآیند لازم است، میشود. این حلقه کنترلی کاملاً تنظیمشده، در حفظ اهداف دقیق یکنواختی ویفر به ویفر و درون ویفر، بهویژه با توجه به ابعاد دستگاه و پنجرههای فرآیند باریک، اساسی است.
به طور خلاصه، استراتژیهای کنترل غلظت دوغاب در CMP به ترکیبی از اندازهگیریهای پیشرفته درون خطی و پاسخهای حلقه بسته خودکار متکی هستند. دستگاههای اندازهگیری چگالی دوغاب، به ویژه واحدهای اولتراسونیک مانند دستگاههای Lonnmeter، نقش محوری در ارائه دادههای با وضوح بالا و به موقع مورد نیاز برای مدیریت دقیق فرآیند در مراحل حساس تولید نیمههادیها دارند. این ابزارها و روشها، تغییرپذیری را به حداقل میرسانند، با بهینهسازی استفاده از مواد شیمیایی، از پایداری پشتیبانی میکنند و دقت مورد نیاز برای فناوریهای مدرن گره را ممکن میسازند.
راهنمای انتخاب چگالیسنج دوغاب برای صنعت نیمههادی
انتخاب یک چگالیسنج دوغاب برای مسطحسازی شیمیایی-مکانیکی (CMP) در صنعت نیمهرسانا، نیازمند توجه دقیق به طیف وسیعی از الزامات فنی است. معیارهای کلیدی عملکرد و کاربرد شامل حساسیت، دقت، سازگاری با شیمی دوغاب تهاجمی و سهولت ادغام در سیستمهای تحویل دوغاب CMP و نصب تجهیزات است.
الزامات حساسیت و دقت
کنترل فرآیند CMP به تغییرات بسیار کوچک در ترکیب دوغاب بستگی دارد. چگالیسنج باید حداقل تغییرات 0.001 گرم بر سانتیمتر مکعب یا بهتر را تشخیص دهد. این سطح از حساسیت برای شناسایی حتی تغییرات بسیار جزئی در محتوای ساینده - مانند مواردی که در دوغاب صیقلکاری CeO₂ یا دوغابهای مبتنی بر سیلیس یافت میشود - ضروری است زیرا این موارد بر نرخ حذف مواد، مسطح بودن ویفر و نقص تأثیر میگذارند. محدوده دقت قابل قبول معمول برای چگالیسنجهای دوغاب نیمههادی ±0.001 تا 0.002 گرم بر سانتیمتر مکعب است.
سازگاری با دوغابهای خورنده
دوغابهای مورد استفاده در CMP میتوانند حاوی نانوذرات ساینده مانند اکسید سریم (CeO₂)، آلومینا یا سیلیس باشند که در محیطهای فعال شیمیایی معلق شدهاند. چگالیسنج باید در معرض سایش فیزیکی و محیطهای خورنده به مدت طولانی مقاومت کند، بدون اینکه از کالیبراسیون خارج شود یا دچار رسوب شود. مواد مورد استفاده در قطعات مرطوب باید نسبت به تمام ترکیبات شیمیایی دوغاب رایج بیاثر باشند.
سهولت ادغام
کنتورهای چگالی دوغاب درون خطی باید به راحتی در تاسیسات تجهیزات CMP موجود جا شوند. ملاحظات شامل موارد زیر است:
- حداقل حجم مرده و افت فشار کم برای جلوگیری از تأثیرگذاری بر تحویل دوغاب.
- پشتیبانی از اتصالات استاندارد فرآیند صنعتی برای نصب و نگهداری سریع.
- سازگاری خروجی (مثلاً سیگنالهای آنالوگ/دیجیتال) برای ادغام بلادرنگ با سیستمهای کنترل غلظت دوغاب، اما بدون ارائه خود آن سیستمها.
ویژگیهای مقایسهای فناوریهای پیشرو در حسگرها
کنترل چگالی دوغابهای صیقلکاری عمدتاً از طریق دو دسته حسگر مدیریت میشود: حسگرهای مبتنی بر چگالیسنجی و حسگرهای مبتنی بر رفراکتومتری. هر کدام از این حسگرها نقاط قوتی مرتبط با کاربردهای صنعت نیمههادی دارند.
کنتورهای مبتنی بر چگالیسنجی (مثلاً کنتور چگالی دوغاب اولتراسونیک)
- از سرعت انتشار صدا در دوغاب استفاده میکند که مستقیماً به چگالی مربوط میشود.
- خطی بودن بالا در اندازهگیری چگالی در طیف وسیعی از غلظتهای دوغاب و انواع ساینده را فراهم میکند.
- برای دوغابهای صیقلدهندهی قوی، شامل فرمولاسیونهای CeO₂ و سیلیس، بسیار مناسب است، زیرا عناصر حسگر میتوانند به صورت فیزیکی از مواد شیمیایی جدا شوند.
- حساسیت و دقت معمول، نیاز به زیر 0.001 گرم بر سانتیمتر مکعب را برآورده میکند.
- نصب معمولاً به صورت درون خطی انجام میشود و امکان اندازهگیری مداوم و بلادرنگ را در حین کار تجهیزات مسطحسازی شیمیایی-مکانیکی فراهم میکند.
دستگاههای اندازهگیری مبتنی بر رفرکتومتری
- ضریب شکست را برای استنباط چگالی دوغاب اندازهگیری میکند.
- به دلیل حساسیت بالا به تغییرات غلظت، برای تشخیص تغییرات نامحسوس در ترکیب دوغاب مؤثر است؛ قادر به تشخیص تغییرات کمتر از 0.1% کسر جرمی است.
- با این حال، ضریب شکست به متغیرهای محیطی مانند دما حساس است و کالیبراسیون دقیق و جبران دما را الزامی میکند.
- ممکن است سازگاری شیمیایی محدودی داشته باشد، به خصوص در دوغابهای بسیار خورنده یا مات.
مترولوژی اندازه ذرات به عنوان یک مکمل
- قرائتهای چگالی میتوانند با تغییرات در توزیع اندازه ذرات یا تجمع آنها، دچار انحراف شوند.
- ادغام با آنالیز اندازه ذرات دورهای (مثلاً پراکندگی نور پویا یا میکروسکوپ الکترونی) توسط بهترین شیوههای صنعتی توصیه میشود، و تضمین میکند که تغییرات چگالی ظاهری صرفاً به دلیل تجمع ذرات نباشد.
ملاحظات مربوط به چگالیسنجهای درونخطی Lonnmeter
- شرکت Lonnmeter متخصص در تولید چگالیسنجها و ویسکوزیتهسنجهای درونخطی است، بدون اینکه نرمافزار پشتیبانی یا یکپارچهسازی سیستم ارائه دهد.
- کنتورهای لونمتر میتوانند برای مقاومت در برابر دوغابهای CMP ساینده و از نظر شیمیایی فعال مشخص شوند و برای نصب مستقیم درون خطی در تجهیزات فرآیند نیمههادی طراحی شدهاند و نیازهای اندازهگیری چگالی دوغاب را در زمان واقعی برآورده میکنند.
هنگام بررسی گزینهها، بر معیارهای اصلی کاربرد تمرکز کنید: اطمینان حاصل کنید که چگالیسنج حساسیت و دقت مورد نیاز را به دست میآورد، از موادی سازگار با شیمی دوغاب شما ساخته شده است، در برابر عملیات مداوم مقاومت میکند و به طور یکپارچه در خطوط تحویل دوغاب صیقلکاری در فرآیند CMP ادغام میشود. برای صنعت نیمههادی، اندازهگیری دقیق چگالی دوغاب، زیربنای یکنواختی ویفر، بازده و توان عملیاتی تولید است.
تأثیر کنترل مؤثر چگالی دوغاب بر نتایج CMP
کنترل دقیق چگالی دوغاب در فرآیند مسطحسازی شیمیایی-مکانیکی بسیار مهم است. وقتی چگالی ثابت نگه داشته شود، مقدار ذرات ساینده موجود در حین پولیش ثابت میماند. این امر مستقیماً بر نرخ حذف مواد (MRR) و کیفیت سطح ویفر تأثیر میگذارد.
کاهش عیوب سطح ویفر و بهبود WIWNU
ثابت شده است که حفظ چگالی بهینه دوغاب، عیوب سطح ویفر مانند ریزخراشها، شیارهای سطحی، فرسایش و آلودگی ذرات را به حداقل میرساند. تحقیقات انجام شده از سال 2024 نشان میدهد که محدوده چگالی کنترلشده، معمولاً بین 1 تا 5 درصد وزنی برای فرمولاسیونهای مبتنی بر سیلیس کلوئیدی، بهترین تعادل را بین راندمان حذف و به حداقل رساندن نقص ایجاد میکند. چگالی بیش از حد بالا، برخوردهای سایشی را افزایش میدهد و منجر به افزایش دو تا سه برابری تعداد نقصها در هر سانتیمتر مربع میشود، همانطور که توسط میکروسکوپ نیروی اتمی و آنالیزهای بیضویسنجی تأیید شده است. کنترل دقیق چگالی همچنین عدم یکنواختی درون ویفر (WIWNU) را بهبود میبخشد و تضمین میکند که مواد به طور مساوی در سراسر ویفر حذف میشوند، که برای دستگاههای نیمههادی گره پیشرفته ضروری است. چگالی ثابت به جلوگیری از انحرافات فرآیندی که میتواند اهداف ضخامت فیلم یا صافی را به خطر بیندازد، کمک میکند.
افزایش طول عمر دوغاب و کاهش هزینه مواد مصرفی
تکنیکهای کنترل غلظت دوغاب - از جمله نظارت بلادرنگ با سنجشگرهای چگالی دوغاب اولتراسونیک - طول عمر مفید دوغاب پرداخت CMP را افزایش میدهند. با جلوگیری از مصرف بیش از حد یا رقیقسازی بیش از حد، تجهیزات مسطحسازی شیمیایی-مکانیکی به استفاده بهینه از مواد مصرفی دست مییابند. این رویکرد، دفعات تعویض دوغاب را کاهش میدهد و استراتژیهای بازیافت را امکانپذیر میسازد و هزینههای کل را کاهش میدهد. به عنوان مثال، در کاربردهای دوغاب پرداخت CeO₂، نگهداری دقیق چگالی امکان بازسازی دستههای دوغاب را فراهم میکند و حجم ضایعات را بدون کاهش عملکرد به حداقل میرساند. کنترل مؤثر چگالی، مهندسان فرآیند را قادر میسازد تا دوغاب پرداخت را که در آستانههای عملکرد قابل قبول باقی میماند، بازیابی و دوباره استفاده کنند و باعث صرفهجویی بیشتر در هزینهها شوند.
تکرارپذیری و کنترل فرآیند بهبود یافته برای تولید گرههای پیشرفته
کاربردهای مدرن صنعت نیمههادی نیازمند تکرارپذیری بالا در مرحله مسطحسازی شیمیایی-مکانیکی هستند. در تولید پیشرفته گره، حتی نوسانات جزئی در چگالی دوغاب میتواند منجر به تغییرات غیرقابل قبولی در نتایج ویفر شود. اتوماسیون و ادغام کنتورهای چگالی دوغاب اولتراسونیک درون خطی - مانند آنهایی که توسط Lonnmeter تولید میشوند - بازخورد مداوم و بلادرنگ را برای کنترل فرآیند تسهیل میکنند. این ابزارها اندازهگیریهای دقیقی را در محیطهای شیمیایی خشن معمول CMP ارائه میدهند و از سیستمهای حلقه بستهای پشتیبانی میکنند که بلافاصله به انحرافات پاسخ میدهند. اندازهگیری چگالی قابل اعتماد به معنای یکنواختی بیشتر از ویفر به ویفر و کنترل دقیقتر بر MRR است که برای تولید نیمههادی زیر 7 نانومتر حیاتی است. نصب مناسب تجهیزات - موقعیت صحیح در خط تحویل دوغاب - و نگهداری منظم برای اطمینان از عملکرد قابل اعتماد کنتورها و ارائه دادههای حیاتی برای ثبات فرآیند ضروری است.
حفظ چگالی کافی دوغاب برای به حداکثر رساندن بازده محصول، به حداقل رساندن نقص و تضمین ساخت مقرون به صرفه در فرآیندهای CMP ضروری است.
سوالات متداول (FAQs)
وظیفه دستگاه سنجش چگالی دوغاب در فرآیند مسطحسازی شیمیایی-مکانیکی چیست؟
یک دستگاه سنجش چگالی دوغاب با اندازهگیری مداوم چگالی و غلظت دوغاب صیقلکاری، نقش مهمی در فرآیند مسطحسازی شیمیایی-مکانیکی ایفا میکند. وظیفه اصلی آن ارائه دادههای بلادرنگ در مورد تعادل مواد ساینده و شیمیایی در دوغاب است و اطمینان حاصل میکند که هر دو در محدوده دقیقی برای مسطحسازی بهینه ویفر قرار دارند. این کنترل بلادرنگ از نقصهایی مانند خراش یا حذف ناهموار مواد، که در مخلوطهای دوغاب بیش از حد یا کمتر از حد رقیقشده رایج است، جلوگیری میکند. چگالی ثابت دوغاب به حفظ تکرارپذیری در طول چرخههای تولید کمک میکند، تغییرات ویفر به ویفر را به حداقل میرساند و با انجام اقدامات اصلاحی در صورت تشخیص انحراف، از بهینهسازی فرآیند پشتیبانی میکند. در ساخت نیمههادیهای پیشرفته و کاربردهای با قابلیت اطمینان بالا، نظارت مداوم همچنین ضایعات را کاهش میدهد و از اقدامات دقیق تضمین کیفیت پشتیبانی میکند.
چرا دوغاب صیقلدهنده CeO₂ برای برخی از مراحل مسطحسازی در صنعت نیمهرسانا ترجیح داده میشود؟
دوغاب صیقلدهنده اکسید سریم (CeO₂) به دلیل گزینشپذیری استثنایی و میل ترکیبی شیمیاییاش، بهویژه برای لایههای شیشه و اکسید، برای مراحل خاص مسطحسازی نیمهرساناها انتخاب میشود. ذرات ساینده یکنواخت آن منجر به مسطحسازی با کیفیت بالا با نرخ نقص بسیار پایین و حداقل خراش سطحی میشوند. خواص شیمیایی CeO₂ نرخهای حذف پایدار و تکرارپذیر را امکانپذیر میسازد که برای کاربردهای پیشرفته مانند فوتونیک و مدارهای مجتمع با چگالی بالا ضروری است. علاوه بر این، دوغاب CeO₂ در برابر تجمع مقاومت میکند و حتی در طول عملیات CMP طولانی، تعلیق ثابتی را حفظ میکند.
چگالیسنج دوغاب اولتراسونیک در مقایسه با سایر انواع اندازهگیری چگونه عمل میکند؟
یک دستگاه سنجش چگالی دوغاب اولتراسونیک با انتقال امواج صوتی از طریق دوغاب و اندازهگیری سرعت و تضعیف این امواج عمل میکند. چگالی دوغاب مستقیماً بر سرعت حرکت امواج و میزان کاهش شدت آنها تأثیر میگذارد. این رویکرد اندازهگیری غیرتهاجمی است و دادههای غلظت دوغاب را در زمان واقعی و بدون نیاز به جداسازی یا اختلال فیزیکی در جریان فرآیند ارائه میدهد. روشهای اولتراسونیک در مقایسه با سیستمهای اندازهگیری چگالی مکانیکی (مبتنی بر شناور) یا گرانشی، حساسیت کمتری به متغیرهایی مانند سرعت جریان یا اندازه ذرات نشان میدهند. در مسطحسازی شیمیایی-مکانیکی، این امر به اندازهگیریهای قابل اعتماد و قوی حتی در دوغابهای غنی از ذرات با جریان بالا تبدیل میشود.
معمولاً دستگاههای اندازهگیری چگالی دوغاب در یک سیستم CMP باید در کجا نصب شوند؟
مکانهای نصب بهینه برای یک چگالیسنج دوغاب در تجهیزات مسطحسازی شیمیایی-مکانیکی شامل موارد زیر است:
- مخزن گردش مجدد: برای نظارت مداوم بر چگالی کلی دوغاب قبل از توزیع.
- قبل از تحویل به پد پولیش در محل استفاده: برای اطمینان از اینکه دوغاب ارائه شده با مشخصات چگالی هدف مطابقت دارد.
- نقاط پس از اختلاط دوغاب: اطمینان از اینکه بچهای تازه آمادهشده قبل از ورود به چرخه فرآیند، با فرمولاسیونهای مورد نیاز مطابقت دارند.
این موقعیتهای استراتژیک امکان تشخیص سریع و اصلاح هرگونه انحراف در غلظت دوغاب را فراهم میکنند و از افت کیفیت ویفر و وقفه در فرآیند جلوگیری میکنند. محل قرارگیری توسط دینامیک جریان دوغاب، رفتار معمول اختلاط و لزوم بازخورد فوری در نزدیکی پد مسطحسازی تعیین میشود.
چگونه کنترل دقیق غلظت دوغاب، عملکرد فرآیند CMP را بهبود میبخشد؟
کنترل دقیق غلظت دوغاب، فرآیند مسطحسازی شیمیایی-مکانیکی را با تضمین نرخهای حذف یکنواخت، به حداقل رساندن تغییرات مقاومت ورق و کاهش فراوانی عیوب سطحی بهبود میبخشد. چگالی پایدار دوغاب، با جلوگیری از استفاده بیش از حد یا کمتر از حد ساینده، طول عمر پد پولیش و ویفر را افزایش میدهد. همچنین با بهینهسازی مصرف دوغاب، کاهش دوبارهکاری و پشتیبانی از بازده بالاتر دستگاههای نیمههادی، هزینههای فرآیند را کاهش میدهد. به ویژه در تولید پیشرفته و ساخت دستگاههای کوانتومی، کنترل دقیق دوغاب از صافی قابل تکرار، عملکرد الکتریکی ثابت و کاهش نشت در معماریهای دستگاه پشتیبانی میکند.
زمان ارسال: 9 دسامبر 2025
