Flumezurado estas nemalhavebla en diamanta drattranĉado de siliciaj siliciaj silabplatoj, ĉar ĝi certigas precizan liveradon de tranĉfluidoj al la drato-silabplata interfaco — kritika por konservi optimuman malvarmigon, lubrikadon kaj forigon de derompaĵoj.RRealtempaj fluaj datumoj malhelpas neadekvatan aŭ troan fluidprovizon, kiu alie kaŭzus trovarmiĝon, dratrompon, surfacajn difektojn aŭ malŝparon. Preciza mezurado mildigas procezan ŝanĝiĝemon, protektas platecon kaj surfacan integrecon de la oblatoj, plilongigas la vivdaŭron de la drato kaj optimumigas rimedan efikecon.
Superrigardo de Silicia Oblateta Tranĉado kaj la Rolo de Tranĉfluidoj
Diamantdrata tranĉado estas la domina tekniko por tranĉi monokristalajn kaj multkristalajn siliciajn orbrikojn en oblatojn por duonkonduktaĵaj kaj fotovoltaikaj aplikoj. En ĉi tiu procezo, ŝtala drato - tipe 40-70 μm en diametro - estas kovrita per diamantaj abraziaj grajnoj. La drato moviĝas je altaj rapidoj, kaj la enigitaj diamantoj forŝprucas la silicion per abrazio, minimumigante surfacajn difektojn kaj antaŭenigante oblatan homogenecon. La dratoj kun reduktita diametro enkondukitaj en la lastaj jaroj malaltigas la segilperdon, kiu rilatas al la materialo malŝparita kiel fajnaj siliciaj partikloj dum la tranĉado. Segilperdo estas determinita de la dratdiametro kaj la alto de abraziaj grajnoj elstarantaj el la dratsurfaco.
Diamanta Drata Tranĉado
*
Tranĉfluidoj ludas plurajn gravajn rolojn en diamanta dratsegado. Ilia ĉefa funkcio estas malvarmigi kaj la orbrikon kaj la draton, malhelpante trovarmiĝon, kiu povus difekti la silicion aŭ redukti la vivdaŭron de la drato. Ili ankaŭ forlavas fajnajn siliciajn partiklojn generitajn dum tranĉado, kio helpas konservi puran interfacon, malhelpi redeponiĝon de rubo, kaj redukti surfacajn mikrofendojn sur la silicia ...
Ekzistas pluraj tipoj de fluidoj por tranĉi oblatojn, inkluzive de akvobazitaj fluidoj kun aldonaĵoj por plibonigita lubrikado kaj partikla suspendo. La elekto dependas de la ekipaĵa dezajno, specifoj de la oblatoj kaj mediaj limigoj. Ekzemploj inkluzivas dejonigitan akvon kun surfaktantoj aŭ glikoloj, formulitaj por balanci malvarmigan efikecon kun malalta restaĵformado.
La evoluo al ultra-maldikaj diamantaj dratoj en modernaj vaflaj instalaĵoj plifortigas defiojn en fluidliverado kaj procezregado. Ĉar dratodiametroj ŝrumpas sub 40 μm, la risko de dratorompiĝo pliiĝas kaj la toleremo por procezfluktuoj streĉiĝas. Preciza mezurado de flukvanto - subtenata de teknologioj kiel tranĉfluidaĵaj fluomezuriloj, altprecizaj fluomezursensiloj kaj Coriolis-amasfluosensiloj - estas esenca por konservi efikan malvarmigon kaj forigon de rubo. Tranfluidaĵaj monitoradsensiloj kaj industriaj tranĉfluflumezuraj solvoj ebligas al funkciigistoj spuri kaj alĝustigi flukvantojn en reala tempo, atingante optimuman lubrikadon kaj surfackvaliton. La precizeco de Coriolis-fluomezuriloj estas aparte kritika por administri fluidojn kun diversaj densecoj kaj viskozecoj, certigante koherajn kondiĉojn eĉ kiam tranĉrapidoj kaj dratostreĉoj pliiĝas.
Ĉi tiu kreskanta postulo je precizeco ŝanĝis la fokuson al monitorado de dinamikaj fluidaj parametroj kiel flukvanto, denseco kaj viskozeco. Instrumentoj kiel tiuj de Lonnmeter provizas fidindajn, realtempajn mezuradojn, kiuj estas nemalhaveblaj por kvalitkontrolo kaj procezoptimigo en progresintaj diamantdrataj tranĉoperacioj. Ĉar dratteknologio daŭre progresas, la integrado de fortikaj flumezurteknologioj estas esenca por subteni la trafluon de siliciaj ...
Fluida Liverado Defioj en Preciza Diamanta Drata Tranĉado
En diamanta drattranĉado de ultra-maldikaj siliciaj platetoj — precipe tiuj sub 40 µm — liveri la ĝustan kvanton da silicia plateta tranĉfluido al la tranĉinterfaco fariĝas impona defio. Dum la dratdikeco malpliiĝas, ankaŭ malpliiĝas la spaco por fluida fluo. Konservi konstantan provizon de tranĉfluido estas esenca por certigi lubrikadon, temperaturkontrolon kaj forigon de rubo ĉe la kontaktopunkto.
Nekonstanta aŭ neadekvata fluida fluo kondukas rekte al adsorbado de la sigelo, kie la sigelo nedezirinde algluiĝas al la ekipaĵo pro nesufiĉa lubrikado. Ĉi tio ne nur interrompas la tranĉprocezon, sed ankaŭ pliigas la riskon de rompiĝo aŭ difekto de la sigelo. Surfaca malglateco signife pliiĝas kiam la drato kaj sigelo ne ricevas kontinuan lubrikadon kaj malvarmigon de la diamanta drata tranĉfluido. Rezultantaj difektitaj surfacoj kaj mikrodifektoj reduktas la kvaliton kaj rendimenton de la sigelo, prezentante gravajn obstaklojn por la duonkonduktaĵaj kaj fotovoltaikaj industrioj.
Tri ĉefaj faktoroj influas la penetron de fluido en la mikroskalan segan interspacon: dratgeometrio, tranĉrapideco, kaj kapilara efiko. Dratgeometrio - specife la dratodiametro kaj la distribuo de diamantaj grajnoj - rekte influas kiom facile la tranĉfluido de siliciaj platoj fluas kaj adheras al la kontakta zono. Kiam oni uzas dratojn sub 40 µm, la pli malgranda surfaca areo limigas la liberan movadon de fluido. Pli altaj tranĉrapidecoj malpliigas la disponeblan tempon por la fluido atingi kaj malvarmigi la interfacon, kondukante al lokigita trovarmiĝo kaj malbona lubrikado. Kapilara efiko, la natura kapablo de la likvaĵo esti tirata en mallarĝajn spacojn, forte determinas fluidretenon. Tamen, la samaj likvaj pontoj, kiuj plibonigas fluidtransporton, povas enkonduki kapilaran adheron inter apudaj dratoj, kaŭzante neunuforman streĉiĝon kaj pliigante la varion de la platdikeco.
La enkonduko de progresintaj specoj de fluidoj por tranĉi vaflajn - inkluzive de nanopartiklo-plibonigitaj solvoj - provizas mezureblajn plibonigojn. Fluidoj inĝenieritaj kun SiO₂ aŭ SiC-nanopartikloj pli efike penetras mallarĝajn interspacojn pro optimumigita viskozeco kaj surfaca interagado. Ĉi tiuj fluidoj plibonigas lubrikadon kaj pli efike forportas varmon, rezultante en pli malalta surfaca malglateco kaj plibonigita plateco de la vaflaj fluidoj. Esploro montras, ke la uzo de nanopartiklo-ŝarĝitaj fluidoj modifas la temperaturkampon dum tranĉado, plue reduktante streĉojn, kiuj minacas la integrecon de la vafla. Ĉi tio, kombinita kun teknikoj kiel ultrasona vibrado por plifortigi kapilaran transporton, ebligas pli unuforman liveradon de diamantdrata tranĉfluido.
Konstanta fluidliverado postulas precizan, realtempan monitoradon kaj alĝustigon. Altpreciza industria mezurado de fluo de tranĉfluido fariĝas esenca, precipe en strikte kontrolitaj procezoj. La efektivigo de fluomezurilo de tranĉfluido - kiel ekzemple altpreciza koriolis-amasa fluomezurilo - ebligas precizan reguligon de la liverkvanto. La enliniaj densecaj kaj viskozecaj mezuriloj de Lonnmeter, kiam parigitaj kun precizaj iloj por mezuri flukvanton, kontribuas al optimumigo de fluidliverado, tiel ke eĉ la plej maldikaj oblatoj estas tranĉitaj glate, kun minimuma risko de difektoj.
Mezurado de Fluida Fluo en Operacioj de Tranĉado de Vafloj
Preciza mezurado de flukvanto estas fundamenta por optimumigi la liveradon de tranĉfluido dum diamantdrata tranĉado de siliciaj platetoj. La efikeco de la tranĉfluido de siliciaj platetoj rekte influas malvarmigon, lubrikadon kaj forigon de derompaĵoj ĉe la kontakta interfaco, influante la kvaliton de la surfaco de la plateto, perdon de segiltranĉoj kaj la ĝeneralan produktadrendimenton. Neadekvata aŭ troa fluo ŝanĝas la efikecon de abrazia materialo, pliigas ileluziĝon kaj povas kaŭzi malkonsekvencan kvaliton de la plateto aŭ pli altajn rimedokostojn. Empiria esplorado indikas, ke surfaca malglateco (Ra) kaj subtera difekto povas esti minimumigitaj per konservado de la flukvanto de la tranĉfluido ene de la optimuma intervalo de 0,15–0,25 L/min por tipaj unu-drataj maŝinoj, ĉar neadekvata fluo kondukas al mikrofendetoj kaj amasiĝo de derompaĵoj, dum troa fluo enkondukas turbulencon kaj nenecesan konsumon.
Teknologioj por Mezurado de Flukvanto de Tranĉa Fluidaĵo
Fluomezuriloj por tranĉfluido integriĝas en la fluidajn provizajn liniojn, mezurante la liveritan volumenon de diamantdrata tranĉfluido en reala tempo. Oftaj fluomezurilaj teknologioj inkluzivas mekanikajn, elektronikajn kaj ultrasonajn tipojn:
- Mekanikaj fluomezuriloj, kiel ekzemple turbinaj kaj padelradaj dezajnoj, uzas rotaciantajn komponantojn delokigitajn de fluida fluo. Ili estas simplaj kaj fortikaj sed sentemaj al eluziĝo pro abraziaj fluidoj.
- Elektronikaj fluomezuriloj, precipe elektromagnetaj dezajnoj, mezuras fluidrapidecon uzante principojn de elektromagneta indukto, ofertante fidindan, prizorgadmalpezan funkciadon por konduktaj fluidoj.
- Ultrasonaj fluomezuriloj uzas altfrekvencajn sonondojn senditajn kaj ricevitajn trans la tubon. Mezurante la tempodiferencon de sontransito kun kaj kontraŭ la fluo, ĉi tiuj aparatoj provizas netrudeman, precizan mezuradon taŭgan por diversaj specoj de tranĉfluidoj por vaflaj tranĉoj.
Mezurado de masa fluo per koriolis elstaras en aplikoj kie necesas preciza kontrolo de fluida maso, sendepende de viskozeco aŭ temperaturŝanĝoj. Mezurado de masa fluo per koriolis-koriolis-sensiloj rekte mezuras la masan flukvanton surbaze de la koriolis-efiko, provizante altan precizecon kaj taŭgecon por kaj akvobazitaj kaj olebazitaj diamantdrataj tranĉfluidoj. Lonnmeter fabrikas enliniajn densecajn kaj viskozecajn mezurilojn, kiuj plue ebligas monitoradon de fluidaj ecoj por konsistenco kaj optimuma proceskontrolo en tranĉado de siliciaj platoj.
Kritikaj Mezurparametroj kaj Sensila Lokigo
Preciza mezurado de la fluo de tranĉfluido en tranĉado de oblatoj postulas atenton al pluraj ŝlosilaj parametroj:
- Flukvanto (L/min): La ĉefa mezuro por proceza optimumigo kaj kvalito-kontrolo.
- Denseco kaj viskozeco: Ambaŭ signife influas malvarmigan rendimenton, abrazian transporton kaj forigon de rubaĵoj.
- Temperaturo: Influas viskozecon kaj fluidan konduton ĉe la tranĉloko.
La lokigo de sensiloj estas esenca. Fluomezuraj sensiloj devas esti poziciigitaj rekte en la fluida liverlinio kiel eble plej proksime al la tranĉzono por minimumigi diferencojn pro tuba rezisto, elfluado aŭ vaporiĝo antaŭ la tranĉinterfaco. Realtempa enlinia mezurado certigas, ke la raportita fluovaloro kongruas kun la efektiva provizo al la diamantdrata tranĉareo.
Funkcio de Flumezurado en Konservado de Optimumaj Tranĉaj Medioj
Flumezuraj sensiloj estas esencaj por realtempa monitorado kaj adapta kontrolo de la fluida liverado en industria silicia tranĉado de siliciaj platetoj. Konservado de optimuma flukvanto certigas adekvatan varmodisradiadon, kontinuan rubevakuadon kaj unuforman lubrikadon laŭlonge de la diamanta drato. Sen tio, la stabileco de la procezo malpliiĝas, la vivo de la drato mallongiĝas, kaj la rendimentoj suferas pro pliigita risko de surfacaj difektoj aŭ troa perdo de segiltranĉo.
Integrante altprecizan mezuradon de flukvanto kun aliaj retrokuplaj parametroj (ekz., dratrapideco, furaĝrapideco), fabrikantoj povas devigi adaptan kontrolon de la proceza sojlo, rekte ligante flukvanto-alĝustigojn kun observita tranĉefikeco. Rezulte, ĉiu devio de la programita flukoverto ekigas tujan korektan agon, protektante kaj procezan kvaliton kaj rimedan efikecon.
Resumante, industria mezurado de fluo de tranĉfluidaĵo — dependanta de fortikaj flumezuraj sensiloj kaj realtempaj datumoj — servas kiel bazŝtono por alt-rendimenta, kostefika produktado de siliciaj oplatetoj en la epoko de diamantdrata tranĉado.
Mezurado de Masa Fluo de Koriolis: Principoj kaj Apliko
Mezurado de koriolisa masfluo baziĝas sur detektado de la forto penita de likvaĵo moviĝanta tra vibrantaj tuboj. Dum la fluido fluas — ekzemple diamantdrata tranĉfluido aŭ specialigita silicia plattranĉfluido — la tuboj spertas malgrandan, mezureblan fazoŝovon. Ĉi tiu ŝovo estas proporcia al la masflukvanto, provizante rektan, realtempan kvantigon de la maso de liverita tranĉfluido. La sama principo permesas samtempan mezuradon de fluiddenseco, subtenante altan precizecon trans ŝanĝiĝantaj fluidspecoj, konsistoj kaj temperaturoj — kritika postulo en fabrikado de silicia plattranĉaj kaj diamantdrataj aplikoj.
La avantaĝoj de ĉi tiu metodo por siliciaj ...
Tranĉado de duonkonduktaĵaj siliciaj ...
Komparo de Coriolis-amasaj fluosensiloj kun aliaj sensiloj por monitorado de tranĉfluidaĵoj — kiel termikaj, elektromagnetaj aŭ ultrasonaj fluosistemoj — rivelas plurajn fortojn. Coriolis-amasaj fluosensiloj elstaras en altpreciza fluomezurado kaj liveras masbazitajn valorojn netuŝitajn de viskozecaj fluktuoj aŭ magnetaj ecoj. Elektromagnetaj kaj ultrasonaj mezuriloj luktas kun miksaĵoj de tranĉfluidaĵoj enhavantaj nanopartiklojn, aerpoŝojn aŭ etajn densecvariojn, ofte kondukante al nefidinda flukvantomezurado kaj pliigita prizorgadofrekvenco.
La precizeco de la koriolis-fluomezurilo estas konservata sub ŝanĝiĝantaj fluidaj konsistoj, ĉar signal-prilaborado kaj temperaturkompensaj skemoj efike filtras bruon kaj mediajn variojn. Funkciigistoj povas utiligi realtempajn datumojn por optimumigi malvarmigon, lubrikadon kaj partiklan forigon, respondante al la diversaj ecoj de malsamaj specoj de tranĉfluidaj vaflaĵoj kaj nanofluidaj miksaĵoj.
La adapto de koriolis-masa fluomezurado al ultra-maldikaj dratsegadaj kaj tranĉfluidoj kun nanopartikloj markas ŝanĝon en industria monitorado. Sensiloj fidinde mezuras veran masonfluon kaj densecon, sendepende de partikla enhavo aŭ fluida diverseco, ebligante fermitcirklan kontrolon kaj aŭtomatigitan fluidadministradon adaptitan por vafla tranĉado. Ĉi tiu nivelo de altpreciza fluomezurado estas centra por konservi procezan stabilecon, redukti materialperdon kaj certigi surfacan integrecon dum siliciaj vaflaj fabrikado kaj diamantdrataj tranĉprocezoj.
Integrante Fluomezurajn Datumojn en Procezan Kontrolon
Realtempa fluomezurado uzante koriolisajn amasfluosensilojn transformis la administradon de tranĉfluido dum diamantdrata tranĉado de siliciaj obleoj. Enliniaj densecaj kaj viskozecaj mezuriloj, kiel tiuj produktitaj de Lonnmeter, ebligas tujan monitoradon de fluidaj ecoj kaj flukvanto, rekte subtenante precizan procesregadon.
Konservi optimumajn flukvantojn estas esenca por la efika malvarmigo, purigado kaj lubrikado de la diamanta drato kaj siliciaj siliciaj platetoj. Coriolis-amasaj fluomezuriloj elstaras en ĉi tiu medio per provizado de altpreciza, realtempa retrosciigo pri amasa fluo kaj fluidaj karakterizaĵoj. Kun ĉi tiuj datumoj, aŭtomataj sistemoj povas ĝustigi pumpilrapidojn, valvpoziciojn aŭ reciklajn rapidecojn por precize liveri la bezonatan volumenon kaj konsiston de silicia tranĉfluido. Ekzemple, dum rapidaj tranĉcikloj, sensordatumoj povas ekigi pliigitan fluidliveradon por plibonigita forigo kaj malvarmigo de rubaĵoj, dum pli malrapidaj cikloj povas postuli reduktitan fluon por eviti malŝparon.
Religo de fluomezursensiloj ankaŭ estas kritika por respondi al ŝanĝiĝantaj fluidkondiĉoj. Kiam fluidviskozeco aŭ denseco ŝanĝiĝas — pro temperaturŝanĝoj aŭ poluado — la enliniaj mezuriloj de Lonnmeter detektas ĉi tiujn variojn tuj, permesante al kontrolsistemoj kompensi per alĝustigo de flukvantoj aŭ komencado de fluidfiltrado. Ĉi tiu detala, datenmovita aliro certigas, ke la fluido restas ene de striktaj specifoj por optimuma tranĉa rendimento.
En altvolumenaj medioj, la kapablo monitori kaj kontroli la fluon de tranĉfluido en reala tempo subtenas koheran dikecon kaj reduktas la okazon de multekostaj difektoj, kiel montrite en avangardaj produktadlinioj en Azio kaj Eŭropo. Altnivela fluidadministrado ankaŭ subtenas prognozan prizorgadon, plilongigante la vivdaŭron de diamantdrato.
Industriaj operacioj profitas konsiderinde de flu-kontrolitaj tranĉfluidaj sistemoj. Efika fluidadministrado reduktas konsumon kaj forigajn kostojn certigante, ke ĝuste sufiĉe da fluido estas uzata por ĉiu oblato, subtenante daŭripovon kaj reguligan konformecon. Redukto de fluida malŝparo - ebligita per kontinua retrosciigo kaj alĝustigo bazita sur sensoraj datumoj - tradukiĝas al pli malaltaj funkciaj elspezoj kaj reduktita media spuro.
Resumante, la integriĝo de realtempaj flumezuraj datumoj, ebligita per la enliniaj solvoj de Lonnmeter, estas ne nur bazŝtono por certigo de la kvalito de oblatoj, sed ankaŭ funkcia avantaĝo por la diamantdrata tranĉprocezo. Ĝi liveras mezureblajn plibonigojn en surfaca finpoluro, mekanika fidindeco, produktada rendimento kaj kostefikeco.
Eksperimentaj Komprenoj kaj Industria Gvidado
Lastatempaj eksperimentaj studoj ŝanĝis plej bonajn praktikojn en fluidliverado por diamantdrata tranĉado de siliciaj obleoj. Esplorado montras, ke precize administrita tranĉfluida provizo, precipe uzante progresintajn teknikojn, rekte korelacias kun pli malalta obleadsorbado kaj pli bona surfackvalito.
La apliko de ultrasona kapilara efiko en fluidliverado aperis kiel revolucia afero. Ultrasonaj ondoj pelas tranĉfluidon pli profunden en ultramaldikajn fendojn - precipe en regionojn pli mallarĝajn ol 50 μm - kie tradiciaj livermetodoj ofte malsukcesas. Ĉi tiu plibonigita enfiltriĝo konsiderinde malpliigas la adsorbadon de abraziaj partikloj kaj derompaĵoj sur la surfacon de la sigelo. Empiriaj testoj montras, ke sigeloj submetitaj al ultrason-helpata fluidliverado montras mezureble malpli da surfacaj difektoj, tial pli altan rendimenton kaj fidindecon en postaj procezoj.
Parametro-optimigo estas kritika por maksimumigi la avantaĝojn de kaj ultrasona plibonigo kaj nanofluidaj teknologioj en liverado de tranĉfluido. Ŝlosilaj parametroj inkluzivas:
- Plata distanco: La interspaco inter la fluida rezervujo kaj la tranĉzono devas esti minimumigita por optimuma fluida leviĝo.
- Pozicio de ultrasona transduktilo kaj aranĝo de paraleleco: Klare difinita geometrio certigas unuforman ondotransdonon kaj kapilaran agadon.
- Fluida temperaturo: Kontrolita hejtado pliigas fluidan moveblecon kaj kapilaran efikecon.
- Daŭro kaj ofteco de ultrasona apliko: Ĝusta tempigo malhelpas trovarmiĝon dum maksimumigas enfiltriĝon.
- Elekto de fluida tipo: Malsamaj bazaj fluidoj kaj aldonaĵoj respondas unike al ultrasona stimulo.
Nanofluida teknologio enkondukas alian gravan antaŭeniron. Tranĉfluidoj infuzitaj kun nanopartikloj kiel SiO2 kaj SiC montras plibonigitan varmokonduktivecon kaj lubrikadon. Ĉi tiu modifo kondukas al pli efika malvarmigo, plibonigita forigo de rubaĵoj kaj reduktita malglateco de la surfaco de la silo. Datumoj indikas, ke miksitaj nanopartiklaj formuloj ofertas sinergiajn plibonigojn, plue malpliigante misformiĝon kaj produktante superan silomorfologion ol unu-tipaj aŭ konvenciaj tranĉfluidoj.
Fabrikistoj, kiuj celas optimumigi la efikecon de sia tranĉfluido, povas efektivigi la jenajn funkciajn gvidliniojn:
- Uzu enliniajn densecmezurilojn kaj viskozecmezurilojn (kiel tiujn de Lonnmeter) por monitori kaj kontroli la konsistencon de tranĉfluido, certigante ke la fluaj ecoj restas idealaj por ultrasona kaj nano-asistado.
- Monitoru kaj ĝustigu la flukvanton de tranĉfluido per altpreciza fluomezura sensilo. La mezurado de Coriolis-amasa fluo estas aparte utila por industria mezurado de fluo de tranĉfluido, ofertante realtempan precizecon por kaj denseco kaj volumeno.
- Regule kalibru fluomezurajn sensilojn por konservi fidindajn valorojn, kiuj estas esencaj por kohera prilaborado de oblatoj.
- Elektu tipojn de tranĉfluidaĵoj por oblatoj kaj nanopartiklajn koncentriĝojn kongruajn kun la specifa grandeco de oblatoj, karakterizaĵoj de diamantdrato kaj funkcia medio.
Komparaj studoj konfirmas, ke ŝanĝoj de unu-faktoraj parametroj — kiel ekzemple pliigo de la dratrapideco aŭ alĝustigo de la furaĝrapideco — korelacias kun ŝanĝoj en la eluziĝo de la drato, la malglateco de la surfaco kaj la variado de la totala dikeco (TTV). Konservi la precizecon de la fluo kaj rapidan, respondeman fluidprovizon estas esencaj por minimumigi difektojn kaj plilongigi la vivon de la drato.
Oftaj Demandoj
Kiel silicia silicia similplata tranĉfluido plibonigas la rendimenton de diamanta dratotranĉado?
Silicia silicia silicia tranĉfluido servas kiel kaj lubrikaĵo kaj fridigaĵo en diamanta drattranĉado. Ĝia ĉefa funkcio estas redukti frotadon kaj disipi varmon generitan ĉe la drato-silva interfaco. Pli malalta frotado kaj temperaturoj minimumigas mikrofendojn kaj surfacajn gratvundojn, kiuj povas konduki al silicia difekto kaj pli malalta totala rendimento. La fluido ankaŭ forportas rubon de la tranĉareo, tenante la diamantan draton kaj silician surfacon puraj. Ĉi tiu kontinua forigo de partikloj rezultas en pli glataj siliciaj surfacoj kaj subtenas koheran, altkvalitan fabrikadon. Ekzemple, plibonigitaj nano-tranĉfluidoj kun SiO₂ kaj SiC-nanopartikloj povas penetri pli profunde en la segiltranĉon, reduktante surfacan malglatecon kaj silician misformiĝon, plue plibonigante silician produktadon por semikonduktaĵa uzo.
Kio estas mezurilo de fluo por tranĉfluido, kaj kial ĝi gravas en segado de oblatoj?
Flumezurilo por tranĉfluidaĵo mezuras la precizan kvanton da fluido liverita al la sega zono. Konservi precizan fluon estas esenca por adekvata lubrikado, varmodisradiado kaj forigo de rubo. Se la fluo estas tro malalta, la drato trovarmiĝas aŭ akumulas rubon, kaŭzante gratvundojn kaj fendetojn. Troa fluo povas malŝpari fluidon kaj krei premmalekvilibrojn, influante la platecon de la oblatoj kaj la vivdaŭron de la ilo. Flumezuriloj por tranĉfluidaĵo, kiel ekzemple enliniaj densecmezuriloj kaj viskozecmezuriloj fabrikitaj de Lonnmeter, helpas funkciigistojn monitori kaj ĝustigi la provizon en reala tempo. Ĉi tio certigas, ke la procezo restas ene de optimumaj parametroj, maksimumigante la rendimenton de la oblatoj kaj minimumigante la eluziĝon de la ilo.
Kiel mezurado de koriolis-amasa fluo utilas al kontrolo de siliciaj oplatetoj por tranĉfluido?
Mezurado de amasfluo per Coriolis estas valorega por altpreciza fluomezurado en produktado de siliciaj ...
Kiuj faktoroj influas la mezuradon de flukvanto en aplikoj de diamantdrataj segiloj?
Preciza mezurado de flukvanto dependas de pluraj interligitaj variabloj. La elekto de sensilo estas ŝlosila; ekzemple, Coriolis-amasaj fluosensiloj provizas fidindajn datumojn eĉ por viskozaj aŭ partiklo-ŝarĝitaj fluidoj. La konsisto de la fluido - kiel la ĉeesto de nanopartikloj - povas ŝanĝi la viskozecon kaj densecon kaj influi la postulojn pri la alĝustigo de la sensilo. La diametro de la drato kaj la rapido de tranĉado ankaŭ influas kiom da fluido necesas por efika malvarmigo kaj forigo de rubaĵoj. Alĝustigo por ĉiu specifa procezo estas esenca por garantii, ke la sensilo legas verajn valorojn, certigante, ke la ĝusta kvanto de tranĉfluido estas uzata por ĉiu aro.
Ĉu nanofluidoj kaj ultrasonaj teknikoj povas plibonigi fluidpenetron dum tranĉado de siliciaj platoj?
Esplorado montras, ke nanofluidoj, precipe tiuj kun SiO₂ kaj SiC-nanopartikloj, pliigas la efikecon de fluida liverado al la kritika drato-plato-plato. Ĉi tiuj partikloj helpas la fluidon atingi mikroskopajn interspacojn, certigante pli bonan malvarmigon kaj lubrikadon. Krome, ultrasonaj kapilaraj efikaj teknikoj plue plibonigas fluidan movadon kaj penetron, precipe en ultra-maldika drattranĉado. Ĉi tio signifas, ke malpli da tranĉfluido estas bezonata por atingi optimuman rendimenton, kaj la rezultoj inkluzivas reduktitan fluidan adsorbadon, plibonigitan surfacan morfologion kaj pli malaltajn difekto-oftecojn. Ĉi tiuj progresoj subtenas la ŝanĝon al pli maldikaj, pli grand-diametraj platoj en kaj duonkonduktaĵaj kaj fotovoltaikaj industrioj, kun sensiloj por monitorado de tranĉfluido, kiuj certigas, ke la procezo restas kontrolita kaj kohera dum ĉiu produktadciklo.
Afiŝtempo: 25-a de decembro 2025
