সিলিকন ওয়েফার ডায়মন্ড ওয়্যার কাটিংয়ে প্রবাহ পরিমাপ অপরিহার্য, কারণ এটি ওয়্যার-ওয়েফার ইন্টারফেসে কাটিং তরলের সুনির্দিষ্ট সরবরাহ নিশ্চিত করে - সর্বোত্তম শীতলকরণ, তৈলাক্তকরণ এবং ধ্বংসাবশেষ অপসারণ বজায় রাখার জন্য গুরুত্বপূর্ণ।Rই-টাইম ফ্লো ডেটা অপর্যাপ্ত বা অতিরিক্ত তরল সরবরাহ প্রতিরোধ করে, যা অন্যথায় অতিরিক্ত গরম, তার ভাঙা, পৃষ্ঠের ত্রুটি বা অপচয় ঘটাতে পারে। সঠিক পরিমাপ প্রক্রিয়ার পরিবর্তনশীলতা হ্রাস করে, ওয়েফার সমতলতা এবং পৃষ্ঠের অখণ্ডতা রক্ষা করে, তারের আয়ুষ্কাল বাড়ায় এবং সম্পদের দক্ষতা সর্বোত্তম করে।
সিলিকন ওয়েফার কাটিং এবং কাটিং ফ্লুইডের ভূমিকা সম্পর্কে সংক্ষিপ্ত বিবরণ
সেমিকন্ডাক্টর এবং ফটোভোলটাইক অ্যাপ্লিকেশনের জন্য মনোক্রিস্টালাইন এবং মাল্টিক্রিস্টালাইন সিলিকন ইনগটগুলিকে ওয়েফারে কাটার জন্য ডায়মন্ড ওয়্যার কাটিং হল প্রধান কৌশল। এই প্রক্রিয়ায়, একটি স্টিলের তার - সাধারণত 40-70 μm ব্যাসের - হীরার ঘর্ষণকারী দানা দিয়ে প্রলেপ দেওয়া হয়। তারটি উচ্চ গতিতে চলে এবং এমবেডেড হীরা ঘর্ষণ দ্বারা সিলিকনকে পিষে ফেলে, পৃষ্ঠের ত্রুটিগুলি হ্রাস করে এবং ওয়েফারের অভিন্নতা বৃদ্ধি করে। সাম্প্রতিক বছরগুলিতে প্রবর্তিত হ্রাসকৃত ব্যাসের তারগুলি কার্ফ লস কমায়, যা স্লাইসিং অপারেশনের সময় সূক্ষ্ম সিলিকন কণা হিসাবে নষ্ট হওয়া উপাদানকে বোঝায়। কার্ফ লস তারের ব্যাস এবং তারের পৃষ্ঠ থেকে বেরিয়ে আসা ঘর্ষণকারী দানার উচ্চতা দ্বারা নির্ধারিত হয়।
ডায়মন্ড ওয়্যার কাটিং
*
হীরার তার কাটার ক্ষেত্রে কাটিং তরলগুলি বেশ কয়েকটি গুরুত্বপূর্ণ ভূমিকা পালন করে। তাদের প্রাথমিক কাজ হল ইনগট এবং তার উভয়কেই ঠান্ডা করা, অতিরিক্ত গরম হওয়া রোধ করা যা সিলিকনের ক্ষতি করতে পারে বা তারের আয়ু কমাতে পারে। তারা কাটার সময় উৎপন্ন সূক্ষ্ম সিলিকন কণাগুলিকেও ধুয়ে ফেলে, যা একটি পরিষ্কার ইন্টারফেস বজায় রাখতে সাহায্য করে, ধ্বংসাবশেষের পুনঃস্থাপন রোধ করে এবং ওয়েফারের পৃষ্ঠের মাইক্রো-ফাটল কমাতে সাহায্য করে। অধিকন্তু, কাটিং তরলগুলি প্রক্রিয়াটিকে লুব্রিকেট করে, তার এবং সিলিকনের মধ্যে ঘর্ষণ কমায়, ফলে তারের আয়ু দীর্ঘায়িত হয় এবং কাটার মান উন্নত হয়। সিলিকন ওয়েফার কাটার তরলগুলির গঠন এবং ভৌত বৈশিষ্ট্যগুলি - যেমন সান্দ্রতা এবং ঘনত্ব - শীতলকরণ, চিপ অপসারণ এবং তারের সুরক্ষা সর্বোত্তম করার জন্য সাবধানতার সাথে পরিচালনা করতে হবে।
ওয়েফার কাটিং তরলের বেশ কয়েকটি ধরণ রয়েছে, যার মধ্যে রয়েছে বর্ধিত তৈলাক্তকরণ এবং কণা সাসপেনশনের জন্য সংযোজনযুক্ত জল-ভিত্তিক তরল। পছন্দটি সরঞ্জামের নকশা, ওয়েফারের নির্দিষ্টকরণ এবং পরিবেশগত সীমাবদ্ধতার উপর নির্ভর করে। উদাহরণগুলির মধ্যে রয়েছে সার্ফ্যাক্ট্যান্ট বা গ্লাইকোল সহ ডিওনাইজড জল, যা কম অবশিষ্টাংশ গঠনের সাথে শীতল দক্ষতার ভারসাম্য বজায় রাখার জন্য তৈরি করা হয়।
আধুনিক ওয়েফার প্ল্যান্টগুলিতে অতি-পাতলা হীরার তারের দিকে বিবর্তন তরল সরবরাহ এবং প্রক্রিয়া নিয়ন্ত্রণের চ্যালেঞ্জগুলিকে আরও বাড়িয়ে তোলে। তারের ব্যাস 40 μm এর নিচে সঙ্কুচিত হওয়ার সাথে সাথে, তার ভাঙার ঝুঁকি বৃদ্ধি পায় এবং প্রক্রিয়া ওঠানামার সহনশীলতা তীব্র হয়। কার্যকর শীতলকরণ এবং ধ্বংসাবশেষ অপসারণ বজায় রাখার জন্য কাটিং ফ্লো মিটার, উচ্চ-নির্ভুলতা প্রবাহ পরিমাপ সেন্সর এবং কোরিওলিস ভর প্রবাহ সেন্সরের মতো প্রযুক্তি দ্বারা সমর্থিত সুনির্দিষ্ট প্রবাহ হার পরিমাপ অপরিহার্য। কাটিং ফ্লুইড মনিটরিং সেন্সর এবং শিল্প কাটিয়া তরল প্রবাহ পরিমাপ সমাধান অপারেটরদের রিয়েল টাইমে প্রবাহ হার ট্র্যাক এবং সামঞ্জস্য করতে সক্ষম করে, সর্বোত্তম তৈলাক্তকরণ এবং পৃষ্ঠের গুণমান অর্জন করে। কোরিওলিস ফ্লো মিটারের নির্ভুলতা বিভিন্ন ঘনত্ব এবং সান্দ্রতা সহ তরল পরিচালনার জন্য বিশেষভাবে গুরুত্বপূর্ণ, কাটার গতি এবং তারের টান বৃদ্ধির সাথে সাথে সামঞ্জস্যপূর্ণ পরিস্থিতি নিশ্চিত করে।
নির্ভুলতার এই ক্রমবর্ধমান চাহিদা প্রবাহ হার, ঘনত্ব এবং সান্দ্রতার মতো গতিশীল তরল পরামিতি পর্যবেক্ষণের দিকে মনোনিবেশ করেছে। লনমিটারের মতো যন্ত্রগুলি নির্ভরযোগ্য, রিয়েল-টাইম পরিমাপ প্রদান করে যা উন্নত হীরার তার কাটার ক্রিয়াকলাপে গুণমান নিশ্চিতকরণ এবং প্রক্রিয়া অপ্টিমাইজেশনের জন্য অপরিহার্য। তারের প্রযুক্তির অগ্রগতির সাথে সাথে, শক্তিশালী প্রবাহ পরিমাপ প্রযুক্তির একীকরণ ওয়েফার থ্রুপুট বজায় রাখার, কার্ফ ক্ষতি কমানোর এবং সিলিকন ওয়েফার উৎপাদন খাতের জন্য ডাউনস্ট্রিম ফিনিশিং প্রয়োজনীয়তা হ্রাস করার জন্য অবিচ্ছেদ্য।
প্রিসিশন ডায়মন্ড ওয়্যার কাটিংয়ে তরল সরবরাহের চ্যালেঞ্জ
অতি-পাতলা সিলিকন ওয়েফারের হীরার তার কাটার ক্ষেত্রে—বিশেষ করে ৪০ µm-এর কম ওজনের ক্ষেত্রে—স্লাইসিং ইন্টারফেসে সঠিক পরিমাণে সিলিকন ওয়েফার কাটিং তরল সরবরাহ করা একটি কঠিন চ্যালেঞ্জ হয়ে দাঁড়ায়। তারের পুরুত্ব হ্রাস পাওয়ার সাথে সাথে তরল প্রবাহের স্থানও হ্রাস পায়। যোগাযোগ বিন্দুতে তৈলাক্তকরণ, তাপমাত্রা নিয়ন্ত্রণ এবং ধ্বংসাবশেষ অপসারণ নিশ্চিত করার জন্য ধারাবাহিকভাবে কাটা তরল সরবরাহ বজায় রাখা অত্যন্ত গুরুত্বপূর্ণ।
অসঙ্গতিপূর্ণ বা অপর্যাপ্ত তরল প্রবাহ সরাসরি ওয়েফার শোষণের দিকে পরিচালিত করে, যেখানে অপর্যাপ্ত তৈলাক্তকরণের কারণে ওয়েফারটি অবাঞ্ছিতভাবে সরঞ্জামের সাথে লেগে থাকে। এটি কেবল কাটার প্রক্রিয়াকেই ব্যাহত করে না বরং ওয়েফার ভাঙা বা ক্ষতির ঝুঁকিও বাড়ায়। যখন তার এবং ওয়েফার হীরার তার কাটার তরল থেকে ক্রমাগত তৈলাক্তকরণ এবং শীতলকরণ গ্রহণ করে না তখন পৃষ্ঠের রুক্ষতা উল্লেখযোগ্যভাবে বৃদ্ধি পায়। ক্ষতিগ্রস্ত পৃষ্ঠ এবং মাইক্রো-ত্রুটির ফলে ওয়েফারের গুণমান এবং ফলন হ্রাস পায়, যা সেমিকন্ডাক্টর এবং ফটোভোলটাইক শিল্পের জন্য বড় বাধা তৈরি করে।
মাইক্রো-স্কেল করাতের ফাঁকে তরল প্রবেশের উপর তিনটি প্রধান কারণ প্রভাব ফেলে: তারের জ্যামিতি, কাটার গতি এবং কৈশিক ক্রিয়া। তারের জ্যামিতি - বিশেষ করে তারের ব্যাস এবং হীরার দানার বন্টন - সিলিকন ওয়েফার কাটার তরল কত সহজে প্রবাহিত হয় এবং যোগাযোগ অঞ্চলে লেগে থাকে তা সরাসরি প্রভাবিত করে। 40 µm এর কম তার ব্যবহার করার সময়, ছোট পৃষ্ঠের ক্ষেত্রফল তরলের অবাধ চলাচলকে সীমাবদ্ধ করে। উচ্চতর কাটার গতি তরলের ইন্টারফেসে পৌঁছানোর এবং ঠান্ডা করার জন্য উপলব্ধ সময় হ্রাস করে, যার ফলে স্থানীয়ভাবে অতিরিক্ত গরম হয় এবং দুর্বল তৈলাক্তকরণ হয়। কৈশিক ক্রিয়া, তরলের সংকীর্ণ স্থানে টানার প্রাকৃতিক ক্ষমতা, তরল ধারণকে দৃঢ়ভাবে নির্ধারণ করে। যাইহোক, তরল পরিবহন বৃদ্ধিকারী একই তরল সেতুগুলি সংলগ্ন তারের মধ্যে কৈশিক আনুগত্য প্রবর্তন করতে পারে, যার ফলে অসম টান তৈরি হয় এবং ওয়েফারের পুরুত্বের তারতম্য বৃদ্ধি পায়।
উন্নত ধরণের ওয়েফার কাটিং তরলের প্রবর্তন—যার মধ্যে ন্যানো পার্টিকেল-বর্ধিত সমাধানও রয়েছে—পরিমাপযোগ্য উন্নতি প্রদান করে। SiO₂ বা SiC ন্যানো পার্টিকেল দিয়ে তৈরি তরলগুলি অপ্টিমাইজড সান্দ্রতা এবং পৃষ্ঠের মিথস্ক্রিয়ার কারণে সংকীর্ণ ফাঁকগুলিকে আরও কার্যকরভাবে প্রবেশ করে। এই তরলগুলি তৈলাক্তকরণ বৃদ্ধি করে এবং তাপ আরও দক্ষতার সাথে বহন করে, যার ফলে পৃষ্ঠের রুক্ষতা কম হয় এবং ওয়েফার সমতলতা উন্নত হয়। গবেষণায় দেখা গেছে যে ন্যানো পার্টিকেল-বোঝাই তরল ব্যবহার স্লাইসিংয়ের সময় তাপমাত্রা ক্ষেত্র পরিবর্তন করে, ওয়েফারের অখণ্ডতাকে হুমকির মুখে ফেলে এমন চাপ আরও কমায়। এটি, কৈশিক পরিবহন বৃদ্ধির জন্য অতিস্বনক কম্পনের মতো কৌশলগুলির সাথে মিলিত হয়ে, আরও অভিন্ন হীরার তারের কাটা তরল সরবরাহের অনুমতি দেয়।
ধারাবাহিক তরল সরবরাহের জন্য সঠিক, রিয়েল-টাইম পর্যবেক্ষণ এবং সমন্বয় প্রয়োজন। উচ্চ নির্ভুলতা শিল্প কাটিয়া তরল প্রবাহ পরিমাপ অপরিহার্য হয়ে ওঠে, বিশেষ করে কঠোরভাবে নিয়ন্ত্রিত প্রক্রিয়াগুলিতে। একটি কাটিয়া তরল প্রবাহ মিটার - যেমন একটি উচ্চ-নির্ভুলতা কোরিওলিস ভর প্রবাহ পরিমাপ সেন্সর - প্রয়োগ করা সরবরাহ হারের সুনির্দিষ্ট নিয়ন্ত্রণ সক্ষম করে। লনমিটারের ইনলাইন ঘনত্ব এবং সান্দ্রতা মিটার, যখন সুনির্দিষ্ট প্রবাহ হার পরিমাপ সরঞ্জামগুলির সাথে যুক্ত করা হয়, তখন তরল সরবরাহকে সর্বোত্তম করতে অবদান রাখে যাতে এমনকি পাতলাতম ওয়েফারগুলিও মসৃণভাবে কাটা যায়, ন্যূনতম ত্রুটির ঝুঁকি সহ।
ওয়েফার কাটিং অপারেশনে তরল প্রবাহ পরিমাপ
সিলিকন ওয়েফারের ডায়মন্ড ওয়্যার কাটিংয়ে কাটিং ফ্লুইড ডেলিভারি অপ্টিমাইজ করার জন্য সঠিক প্রবাহ হার পরিমাপ মৌলিক। সিলিকন ওয়েফার কাটিং ফ্লুইডের কার্যকারিতা সরাসরি কন্টাক্ট ইন্টারফেসে শীতলকরণ, তৈলাক্তকরণ এবং ধ্বংসাবশেষ অপসারণকে আকার দেয়, যা ওয়েফার পৃষ্ঠের গুণমান, কার্ফ লস এবং সামগ্রিক উৎপাদন ফলনের উপর প্রভাব ফেলে। অপর্যাপ্ত বা অতিরিক্ত প্রবাহ ঘষিয়া তুলিয়া ফেলিতে সক্ষম কার্যকারিতা পরিবর্তন করে, সরঞ্জামের ক্ষয় বৃদ্ধি করে এবং অসামঞ্জস্যপূর্ণ ওয়েফার গুণমান বা উচ্চতর সম্পদ খরচের কারণ হতে পারে। অভিজ্ঞতামূলক গবেষণা ইঙ্গিত দেয় যে সাধারণ একক-তারের মেশিনগুলির জন্য কাটিং ফ্লুইড প্রবাহ হার সর্বোত্তম 0.15-0.25 লি/মিনিট পরিসরের মধ্যে বজায় রেখে পৃষ্ঠের রুক্ষতা (Ra) এবং পৃষ্ঠের উপরিভাগের ক্ষতি কমানো যেতে পারে, কারণ অপর্যাপ্ত প্রবাহ মাইক্রোক্র্যাক এবং ধ্বংসাবশেষ জমার দিকে পরিচালিত করে, যখন অতিরিক্ত প্রবাহ অস্থিরতা এবং অপ্রয়োজনীয় খরচের প্রবর্তন করে।
তরল প্রবাহ হার পরিমাপ কাটার প্রযুক্তি
কাটিং ফ্লুইড ফ্লো মিটারগুলি তরল সরবরাহ লাইনের সাথে একীভূত হয়, রিয়েল টাইমে হীরার তার কাটার তরলের সরবরাহকৃত আয়তন পরিমাপ করে। সাধারণ ফ্লো মিটার প্রযুক্তির মধ্যে রয়েছে যান্ত্রিক, ইলেকট্রনিক এবং অতিস্বনক প্রকার:
- টারবাইন এবং প্যাডেলহুইল ডিজাইনের মতো যান্ত্রিক প্রবাহ মিটারগুলিতে তরল প্রবাহ দ্বারা স্থানচ্যুত ঘূর্ণায়মান উপাদান ব্যবহার করা হয়। এগুলি সহজ এবং শক্তিশালী কিন্তু ঘষিয়া তুলিয়া ফেলিতে সক্ষম তরল পদার্থের কারণে ক্ষয়প্রাপ্ত হওয়ার সম্ভাবনা বেশি।
- ইলেকট্রনিক ফ্লো মিটার, বিশেষ করে ইলেক্ট্রোম্যাগনেটিক ডিজাইন, ইলেক্ট্রোম্যাগনেটিক ইন্ডাকশনের নীতি ব্যবহার করে তরলের বেগ পরিমাপ করে, যা পরিবাহী তরলের জন্য নির্ভরযোগ্য, রক্ষণাবেক্ষণ-আলো অপারেশন প্রদান করে।
- অতিস্বনক ফ্লো মিটারগুলি পাইপ জুড়ে প্রেরিত এবং গ্রহণ করা উচ্চ-ফ্রিকোয়েন্সি শব্দ তরঙ্গ ব্যবহার করে। প্রবাহের সাথে এবং বিপরীতে শব্দ পরিবহনের সময়ের পার্থক্য পরিমাপ করে, এই ডিভাইসগুলি বিভিন্ন ধরণের ওয়েফার কাটিং তরলের জন্য উপযুক্ত অ-অনুপ্রবেশকারী, সঠিক পরিমাপ প্রদান করে।
কোরিওলিস ভর প্রবাহ পরিমাপ সেইসব অ্যাপ্লিকেশনগুলিতে আলাদা যেখানে তরল ভরের সুনির্দিষ্ট নিয়ন্ত্রণ প্রয়োজন, সান্দ্রতা বা তাপমাত্রার পরিবর্তন নির্বিশেষে। কোরিওলিস ভর প্রবাহ সেন্সরগুলি কোরিওলিস প্রভাবের উপর ভিত্তি করে সরাসরি ভর প্রবাহ হার পরিমাপ করে, যা জল-ভিত্তিক এবং তেল-ভিত্তিক হীরার তারের কাটার তরল উভয়ের জন্য উচ্চ নির্ভুলতা এবং উপযুক্ততা প্রদান করে। লনমিটার ইনলাইন ঘনত্ব এবং সান্দ্রতা মিটার তৈরি করে, যা সিলিকন ওয়েফার কাটিংয়ের ধারাবাহিকতা এবং সর্বোত্তম প্রক্রিয়া নিয়ন্ত্রণের জন্য তরল বৈশিষ্ট্যগুলির পর্যবেক্ষণকে আরও সক্ষম করে।
সমালোচনামূলক পরিমাপ পরামিতি এবং সেন্সর স্থাপন
ওয়েফার কাটিংয়ে কাটিং তরল প্রবাহের সঠিক পরিমাপের জন্য বেশ কয়েকটি মূল পরামিতিগুলিতে মনোযোগ দেওয়া প্রয়োজন:
- প্রবাহ হার (লি/মিনিট): প্রক্রিয়া অপ্টিমাইজেশন এবং গুণমান নিশ্চিতকরণের জন্য প্রাথমিক পরিমাপ।
- ঘনত্ব এবং সান্দ্রতা: উভয়ই শীতলকরণ কর্মক্ষমতা, ঘষিয়া তুলিয়া ফেলিতে সক্ষম পরিবহন এবং ধ্বংসাবশেষ পরিষ্কারের উপর উল্লেখযোগ্যভাবে প্রভাব ফেলে।
- তাপমাত্রা: কাটা স্থানে সান্দ্রতা এবং তরল আচরণের উপর প্রভাব ফেলে।
সেন্সর স্থাপন অত্যন্ত গুরুত্বপূর্ণ। প্রবাহ পরিমাপ সেন্সরগুলিকে কাটিং জোনের যতটা সম্ভব কাছাকাছি তরল সরবরাহ লাইনে স্থাপন করতে হবে যাতে কাটার ইন্টারফেসের আগে পাইপিং প্রতিরোধ, ফুটো বা বাষ্পীভবনের কারণে অসঙ্গতি কমানো যায়। রিয়েল-টাইম ইনলাইন পরিমাপ নিশ্চিত করে যে রিপোর্ট করা প্রবাহ মান হীরার তার কাটার ক্ষেত্রে প্রকৃত সরবরাহের সাথে মিলে যায়।
সর্বোত্তম কাটিয়া পরিবেশ বজায় রাখার ক্ষেত্রে প্রবাহ পরিমাপের কাজ
শিল্প সিলিকন ওয়েফার কাটিংয়ে তরল সরবরাহের রিয়েল-টাইম পর্যবেক্ষণ এবং অভিযোজিত নিয়ন্ত্রণের জন্য প্রবাহ পরিমাপ সেন্সর অপরিহার্য। সর্বোত্তম প্রবাহ হার বজায় রাখার ফলে পর্যাপ্ত তাপ অপচয়, ক্রমাগত ধ্বংসাবশেষ অপসারণ এবং হীরার তার বরাবর অভিন্ন তৈলাক্তকরণ নিশ্চিত হয়। এটি ছাড়া, প্রক্রিয়ার স্থায়িত্ব হ্রাস পায়, তারের আয়ু কমে যায় এবং পৃষ্ঠের ত্রুটি বা অতিরিক্ত কার্ফ ক্ষতির ঝুঁকি বৃদ্ধির কারণে ফলন ক্ষতিগ্রস্ত হয়।
উচ্চ-নির্ভুল প্রবাহ হার পরিমাপকে অন্যান্য প্রতিক্রিয়া পরামিতিগুলির (যেমন, তারের গতি, ফিড রেট) সাথে একীভূত করে, নির্মাতারা প্রক্রিয়া থ্রেশহোল্ডের অভিযোজিত নিয়ন্ত্রণ প্রয়োগ করতে পারে, প্রবাহ হার সমন্বয়কে সরাসরি পর্যবেক্ষণ করা কাটিংয়ের কর্মক্ষমতার সাথে সংযুক্ত করে। ফলস্বরূপ, প্রোগ্রামযুক্ত প্রবাহ খাম থেকে যেকোনো বিচ্যুতি তাৎক্ষণিক সংশোধনমূলক পদক্ষেপ গ্রহণ করে, প্রক্রিয়ার গুণমান এবং সম্পদের দক্ষতা উভয়ই সুরক্ষিত করে।
সংক্ষেপে, শিল্প কাটিয়া তরল প্রবাহ পরিমাপ - শক্তিশালী প্রবাহ পরিমাপ সেন্সর এবং রিয়েল-টাইম ডেটার উপর নির্ভর করে - হীরার তার কাটার যুগে উচ্চ-ফলনশীল, সাশ্রয়ী সিলিকন ওয়েফার উৎপাদনের ভিত্তিপ্রস্তর হিসেবে কাজ করে।
কোরিওলিস ভর প্রবাহ পরিমাপ: নীতি এবং প্রয়োগ
কোরিওলিস ভর প্রবাহ পরিমাপ কম্পনকারী টিউবের মধ্য দিয়ে তরল প্রবাহিত হওয়ার ফলে প্রয়োগ করা বল সনাক্তকরণের উপর ভিত্তি করে করা হয়। তরল প্রবাহিত হওয়ার সাথে সাথে - যেমন হীরার তার কাটার তরল বা বিশেষায়িত সিলিকন ওয়েফার কাটার তরল - টিউবগুলিতে একটি ছোট, পরিমাপযোগ্য ফেজ শিফট অনুভব করা হয়। এই শিফট ভর প্রবাহ হারের সমানুপাতিক, যা সরবরাহ করা কাটিং তরলের ভরের সরাসরি, রিয়েল-টাইম পরিমাপ প্রদান করে। একই নীতি তরল ঘনত্বের একযোগে পরিমাপের অনুমতি দেয়, পরিবর্তিত তরলের ধরণ, রচনা এবং তাপমাত্রার ক্ষেত্রে উচ্চ নির্ভুলতা সমর্থন করে - সিলিকন ওয়েফার উত্পাদন এবং হীরার তার কাটার অ্যাপ্লিকেশনগুলিতে একটি গুরুত্বপূর্ণ প্রয়োজনীয়তা।
ওয়েফার কাটিং ফ্লুইড ধরণের জন্য এই পদ্ধতির সুবিধাগুলি, বিশেষ করে যখন উচ্চ-কার্যক্ষমতাসম্পন্ন হীরার তারের কাটিং ফ্লুইড ব্যবহার করা হয়, তা যথেষ্ট। কোরিওলিস প্রবাহ পরিমাপ তরল সান্দ্রতা এবং গঠন পরিবর্তনের উপর নির্ভর করে না, সিলিকন ওয়েফারের জন্য কাটিং ফ্লুইডে প্রায়শই পাওয়া যায় এমন ঘষিয়া তুলিয়া ফেলিতে সক্ষম কণা, ন্যানো-অ্যাডিটিভ বা ভিন্ন ভিন্ন মিশ্রণের উপস্থিতির মধ্যে অত্যন্ত নির্ভুল থাকে। এই দৃঢ়তা এটিকে ঐতিহ্যবাহী আয়তনের প্রবাহ পদ্ধতির চেয়ে উন্নত করে তোলে, যা বুদবুদ, স্থগিত কণা এবং উন্নত কাটিং ফ্লুইডের পরিবর্তনশীল ভৌত বৈশিষ্ট্য দ্বারা প্রভাবিত হতে পারে।
সিলিকন ওয়েফারের জন্য কাটিং ফ্লুইডের নির্ভরযোগ্য পর্যবেক্ষণ নিশ্চিত করার জন্য সেমিকন্ডাক্টর ওয়েফার কাটিং ক্রমবর্ধমানভাবে উন্নত তরল প্রবাহ সেন্সর প্রযুক্তির উপর নির্ভর করে। কোরিওলিস প্রভাব ব্যবহার করে লোনমিটার ইনলাইন ভর প্রবাহ সেন্সরগুলি সরাসরি প্রক্রিয়া লাইনে প্রয়োগ করা হয়। এটি ওয়েফার স্লাইসিংয়ের সময় ন্যানো-তরল এবং হীরার তার কাটা তরলের সুনির্দিষ্ট সরবরাহ এবং পর্যবেক্ষণ সক্ষম করে। তরল অবক্ষয়, মিশ্রণের অসঙ্গতি বা ঘনত্বের পরিবর্তনের লক্ষণগুলি তাৎক্ষণিকভাবে সনাক্ত করা হয়, যা প্রক্রিয়ার ফলন এবং পৃষ্ঠের গুণমান বজায় রাখার জন্য তাৎক্ষণিক নিয়ন্ত্রণ হস্তক্ষেপের অনুমতি দেয়।
কোরিওলিস ভর প্রবাহ সেন্সরের সাথে অন্যান্য কাটিং ফ্লুইড মনিটরিং সেন্সরের তুলনা করলে - যেমন থার্মাল, ইলেক্ট্রোম্যাগনেটিক, অথবা আল্ট্রাসনিক ফ্লো সিস্টেম - বেশ কিছু শক্তি প্রকাশ পায়। কোরিওলিস ভর প্রবাহ সেন্সর উচ্চ নির্ভুলতা প্রবাহ পরিমাপে উৎকৃষ্ট এবং সান্দ্রতা ওঠানামা বা চৌম্বকীয় বৈশিষ্ট্য দ্বারা প্রভাবিত না হয়ে ভর-ভিত্তিক রিডিং প্রদান করে। ইলেক্ট্রোম্যাগনেটিক এবং আল্ট্রাসনিক মিটার ন্যানো পার্টিকেল, এয়ার পকেট বা ক্ষুদ্র ঘনত্বের তারতম্য ধারণকারী কাটিং তরল মিশ্রণের সাথে লড়াই করে, যা প্রায়শই অবিশ্বাস্য প্রবাহ হার পরিমাপ এবং বর্ধিত রক্ষণাবেক্ষণ ফ্রিকোয়েন্সির দিকে পরিচালিত করে।
তরল রচনা পরিবর্তনের অধীনে কোরিওলিস ফ্লো মিটারের নির্ভুলতা বজায় রাখা হয়, কারণ সিগন্যাল প্রক্রিয়াকরণ এবং তাপমাত্রা ক্ষতিপূরণ প্রকল্পগুলি দক্ষতার সাথে শব্দ এবং পরিবেশগত পরিবর্তনকে ফিল্টার করে। অপারেটররা বিভিন্ন ওয়েফার কাটিং তরল ধরণের এবং ন্যানোফ্লুইড মিশ্রণের বিভিন্ন বৈশিষ্ট্যের প্রতি সাড়া দিয়ে শীতলকরণ, তৈলাক্তকরণ এবং কণা অপসারণকে অপ্টিমাইজ করার জন্য রিয়েল-টাইম ডেটা ব্যবহার করতে পারে।
অতি-পাতলা তারের করাত এবং ন্যানো পার্টিকেল ব্যবহার করে তরল কাটার জন্য কোরিওলিস ভর প্রবাহ পরিমাপের অভিযোজন শিল্প পর্যবেক্ষণে একটি পরিবর্তনের চিহ্ন। সেন্সরগুলি নির্ভরযোগ্যভাবে প্রকৃত ভর প্রবাহ এবং ঘনত্ব পরিমাপ করে, কণার পরিমাণ বা তরল বৈচিত্র্য নির্বিশেষে, ওয়েফার কাটার জন্য তৈরি ক্লোজড-লুপ নিয়ন্ত্রণ এবং স্বয়ংক্রিয় তরল ব্যবস্থাপনা সক্ষম করে। সিলিকন ওয়েফার তৈরি এবং হীরার তার কাটার প্রক্রিয়ার সময় প্রক্রিয়ার স্থিতিশীলতা বজায় রাখা, উপাদানের ক্ষতি হ্রাস করা এবং পৃষ্ঠের অখণ্ডতা নিশ্চিত করার জন্য এই স্তরের উচ্চ নির্ভুলতা প্রবাহ পরিমাপ গুরুত্বপূর্ণ।
প্রক্রিয়া নিয়ন্ত্রণে প্রবাহ পরিমাপের তথ্য একীভূত করা
কোরিওলিস ভর প্রবাহ সেন্সর ব্যবহার করে রিয়েল-টাইম প্রবাহ পরিমাপ সিলিকন ওয়েফারের হীরার তার কাটার সময় কাটিং তরল ব্যবস্থাপনাকে রূপান্তরিত করেছে। লনমিটার দ্বারা উত্পাদিত ইনলাইন ঘনত্ব এবং সান্দ্রতা মিটারগুলি তরল বৈশিষ্ট্য এবং প্রবাহ হারের তাৎক্ষণিক পর্যবেক্ষণ সক্ষম করে, সরাসরি সুনির্দিষ্ট প্রক্রিয়া নিয়ন্ত্রণকে সমর্থন করে।
হীরার তার এবং সিলিকন ওয়েফারের কার্যকর শীতলকরণ, পরিষ্কারকরণ এবং তৈলাক্তকরণের জন্য সর্বোত্তম প্রবাহ হার বজায় রাখা অপরিহার্য। কোরিওলিস ভর প্রবাহ মিটারগুলি ভর প্রবাহ এবং তরল বৈশিষ্ট্যের উপর উচ্চ-নির্ভুলতা, রিয়েল-টাইম প্রতিক্রিয়া প্রদান করে এই পরিবেশে উৎকৃষ্ট। এই ডেটার সাহায্যে, স্বয়ংক্রিয় সিস্টেমগুলি ওয়েফার কাটিং তরলের প্রয়োজনীয় আয়তন এবং গঠন সঠিকভাবে সরবরাহ করার জন্য পাম্প গতি, ভালভ অবস্থান বা পুনর্ব্যবহার হার সামঞ্জস্য করতে পারে। উদাহরণস্বরূপ, দ্রুত কাটিয়া চক্রের সময়, সেন্সর ডেটা উন্নত ধ্বংসাবশেষ অপসারণ এবং শীতলকরণের জন্য বর্ধিত তরল সরবরাহকে ট্রিগার করতে পারে, অন্যদিকে ধীর চক্রের জন্য অপচয় এড়াতে কম প্রবাহের প্রয়োজন হতে পারে।
তরল অবস্থার পরিবর্তনের প্রতিক্রিয়া জানাতে প্রবাহ পরিমাপ সেন্সর থেকে প্রতিক্রিয়াও গুরুত্বপূর্ণ। তাপমাত্রা পরিবর্তন বা দূষণের কারণে তরল সান্দ্রতা বা ঘনত্বের পরিবর্তনের সাথে সাথে লনমিটারের ইনলাইন মিটারগুলি তাৎক্ষণিকভাবে এই পরিবর্তনগুলি সনাক্ত করে, যা নিয়ন্ত্রণ ব্যবস্থাগুলিকে প্রবাহ হার সামঞ্জস্য করে বা তরল পরিস্রাবণ শুরু করে ক্ষতিপূরণ দিতে সক্ষম করে। এই দানাদার, ডেটা-চালিত পদ্ধতিটি সর্বোত্তম কাটিয়া কর্মক্ষমতার জন্য তরলকে কঠোর নির্দিষ্টকরণের মধ্যে রাখা নিশ্চিত করে।
উচ্চ-ভলিউম পরিবেশে, রিয়েল-টাইমে কাটিং তরল প্রবাহ পর্যবেক্ষণ এবং নিয়ন্ত্রণ করার ক্ষমতা ধারাবাহিক বেধকে সমর্থন করে এবং ব্যয়বহুল ত্রুটির ঘটনা হ্রাস করে, যেমনটি এশিয়া এবং ইউরোপের শীর্ষস্থানীয় উত্পাদন লাইনগুলিতে দেখানো হয়েছে। উন্নত তরল ব্যবস্থাপনা ভবিষ্যদ্বাণীমূলক রক্ষণাবেক্ষণকেও সমর্থন করে, হীরার তারের আয়ুষ্কাল দীর্ঘায়িত করে।
শিল্প কার্যক্রম প্রবাহ-নিয়ন্ত্রিত কাটিং তরল ব্যবস্থা থেকে উল্লেখযোগ্যভাবে উপকৃত হয়। দক্ষ তরল ব্যবস্থাপনা প্রতিটি ওয়েফারের জন্য পর্যাপ্ত তরল ব্যবহার নিশ্চিত করে খরচ এবং নিষ্কাশন খরচ কমায়, যা স্থায়িত্ব এবং নিয়ন্ত্রক সম্মতি সমর্থন করে। সেন্সর ডেটার উপর ভিত্তি করে ক্রমাগত প্রতিক্রিয়া এবং সমন্বয় দ্বারা সক্ষম তরল বর্জ্য হ্রাস - পরিচালন ব্যয় হ্রাস করে এবং পরিবেশগত প্রভাব হ্রাস করে।
সংক্ষেপে, লনমিটারের ইনলাইন সমাধান দ্বারা সক্ষম রিয়েল-টাইম প্রবাহ পরিমাপ ডেটার একীকরণ কেবল ওয়েফারের গুণমান নিশ্চিতকরণের জন্য একটি ভিত্তিপ্রস্তর নয় বরং হীরার তার কাটার প্রক্রিয়ার জন্য একটি কার্যকরী সুবিধাও। এটি পৃষ্ঠের সমাপ্তি, যান্ত্রিক নির্ভরযোগ্যতা, উৎপাদন ফলন এবং খরচ কার্যকারিতার ক্ষেত্রে পরিমাপযোগ্য উন্নতি প্রদান করে।
পরীক্ষামূলক অন্তর্দৃষ্টি এবং শিল্প নির্দেশিকা
সাম্প্রতিক পরীক্ষামূলক গবেষণায় সিলিকন ওয়েফারের হীরার তার কাটার জন্য তরল সরবরাহের সর্বোত্তম পদ্ধতিগুলিকে নতুন রূপ দেওয়া হয়েছে। গবেষণা দেখায় যে সুনির্দিষ্টভাবে পরিচালিত কাটিং তরল সরবরাহ, বিশেষ করে উন্নত কৌশল ব্যবহার করে, সরাসরি নিম্ন ওয়েফার শোষণ এবং উন্নত পৃষ্ঠের মানের সাথে সম্পর্কিত।
তরল সরবরাহে অতিস্বনক কৈশিক প্রভাবের প্রয়োগ একটি যুগান্তকারী পরিবর্তন হিসেবে আবির্ভূত হয়েছে। অতিস্বনক তরঙ্গ তরলকে অতি পাতলা কার্ফের গভীরে নিয়ে যায়—বিশেষ করে ৫০ মাইক্রোমিটারের কম সংকীর্ণ অঞ্চলে—যেখানে ঐতিহ্যবাহী সরবরাহ পদ্ধতি প্রায়শই ব্যর্থ হয়। এই বর্ধিত অনুপ্রবেশ ওয়েফার পৃষ্ঠে ঘষিয়া তুলিয়া ফেলিতে সক্ষম কণা এবং ধ্বংসাবশেষের শোষণকে উল্লেখযোগ্যভাবে হ্রাস করে। অভিজ্ঞতামূলক পরীক্ষাগুলি দেখায় যে অতিস্বনক-সহায়তাপ্রাপ্ত তরল সরবরাহের অধীনে থাকা ওয়েফারগুলি পরিমাপযোগ্যভাবে কম পৃষ্ঠের ত্রুটি দেখায়, যার ফলে প্রবাহ প্রক্রিয়াগুলিতে উচ্চ ফলন এবং নির্ভরযোগ্যতা বৃদ্ধি পায়।
তরল সরবরাহ কমাতে অতিস্বনক বর্ধন এবং ন্যানো-তরল প্রযুক্তি উভয়ের সুবিধা সর্বাধিক করার জন্য প্যারামিটার অপ্টিমাইজেশন অত্যন্ত গুরুত্বপূর্ণ। মূল পরামিতিগুলির মধ্যে রয়েছে:
- প্লেটের দূরত্ব: সর্বোত্তম তরল বৃদ্ধির জন্য তরল জলাধার এবং কাটিং জোনের মধ্যে ব্যবধান কমিয়ে আনতে হবে।
- অতিস্বনক ট্রান্সডিউসারের অবস্থান এবং সেটআপ সমান্তরালতা: স্পষ্টভাবে সংজ্ঞায়িত জ্যামিতি অভিন্ন তরঙ্গ সংক্রমণ এবং কৈশিক ক্রিয়া নিশ্চিত করে।
- তরল তাপমাত্রা: নিয়ন্ত্রিত তাপীকরণ তরলের গতিশীলতা এবং কৈশিক দক্ষতা বৃদ্ধি করে।
- অতিস্বনক প্রয়োগের সময়কাল এবং ফ্রিকোয়েন্সি: সঠিক সময় অতিরিক্ত গরম হওয়া রোধ করে এবং অনুপ্রবেশকে সর্বাধিক করে তোলে।
- তরলের ধরণ নির্বাচন: বিভিন্ন বেস তরল এবং সংযোজনগুলি অতিস্বনক উদ্দীপনার প্রতি অনন্যভাবে সাড়া দেয়।
ন্যানোফ্লুইড প্রযুক্তি আরেকটি বড় অগ্রগতির সূচনা করে। SiO2 এবং SiC এর মতো ন্যানো পার্টিকেল দিয়ে মিশ্রিত কাটিং তরল উন্নত তাপ পরিবাহিতা এবং তৈলাক্তকরণ দেখায়। এই পরিবর্তনের ফলে আরও কার্যকর শীতলতা, বর্ধিত ধ্বংসাবশেষ অপসারণ এবং ওয়েফার পৃষ্ঠের রুক্ষতা হ্রাস পায়। তথ্য ইঙ্গিত দেয় যে মিশ্র ন্যানো-পার্টিকেল ফর্মুলেশনগুলি সিনারজিস্টিক উন্নতি প্রদান করে, ওয়ারপেজ আরও হ্রাস করে এবং একক-টাইপ বা প্রচলিত কাটিং তরলের তুলনায় উচ্চতর ওয়েফার আকারবিদ্যা তৈরি করে।
যেসব নির্মাতারা তাদের কাটিং ফ্লুইডের কার্যকারিতা সর্বোত্তম করতে চান তারা নিম্নলিখিত কার্যকরী নির্দেশিকা বাস্তবায়ন করতে পারেন:
- কাটার তরলের সামঞ্জস্য নিরীক্ষণ এবং নিয়ন্ত্রণ করতে ইনলাইন ঘনত্ব মিটার এবং সান্দ্রতা মিটার (যেমন লনমিটার থেকে) ব্যবহার করুন, যাতে প্রবাহের বৈশিষ্ট্যগুলি অতিস্বনক এবং ন্যানো-সহায়তার জন্য আদর্শ থাকে।
- উচ্চ নির্ভুলতা প্রবাহ পরিমাপ সেন্সর ব্যবহার করে কাটিং তরল প্রবাহ হার পর্যবেক্ষণ এবং সমন্বয় করুন। কোরিওলিস ভর প্রবাহ পরিমাপ শিল্প কাটিয়া তরল প্রবাহ পরিমাপের জন্য বিশেষভাবে কার্যকর, ঘনত্ব এবং আয়তন উভয়ের জন্যই রিয়েল-টাইম নির্ভুলতা প্রদান করে।
- ওয়েফার প্রক্রিয়াকরণের জন্য নির্ভরযোগ্য রিডিং বজায় রাখার জন্য নিয়মিতভাবে প্রবাহ পরিমাপ সেন্সরগুলি ক্যালিব্রেট করুন, যা ধারাবাহিকভাবে কার্যকর।
- নির্দিষ্ট ওয়েফারের আকার, হীরার তারের বৈশিষ্ট্য এবং কার্যক্ষম পরিবেশের সাথে মিলে যাওয়া ওয়েফার কাটিং তরলের ধরণ এবং ন্যানো পার্টিকেলের ঘনত্ব নির্বাচন করুন।
তুলনামূলক গবেষণা নিশ্চিত করে যে একক-ফ্যাক্টর প্যারামিটার পরিবর্তনগুলি - যেমন তারের বেগ বৃদ্ধি বা ফিড রেট সামঞ্জস্য করা - তারের পরিধান, পৃষ্ঠের রুক্ষতা এবং মোট বেধের পরিবর্তনের (TTV) সাথে সম্পর্কযুক্ত। ত্রুটিগুলি হ্রাস এবং তারের আয়ু দীর্ঘায়িত করার জন্য প্রবাহের নির্ভুলতা এবং দ্রুত, প্রতিক্রিয়াশীল তরল সরবরাহ বজায় রাখা অত্যন্ত গুরুত্বপূর্ণ।
সচরাচর জিজ্ঞাস্য
সিলিকন ওয়েফার কাটিং ফ্লুইড কীভাবে হীরার তার কাটার কর্মক্ষমতা উন্নত করে?
সিলিকন ওয়েফার কাটিং ফ্লুইড হীরার তার কাটার ক্ষেত্রে লুব্রিকেন্ট এবং কুল্যান্ট উভয়ই কাজ করে। এর প্রাথমিক কাজ হল ঘর্ষণ কমানো এবং তার-ওয়েফার ইন্টারফেসে উৎপন্ন তাপ অপচয় করা। কম ঘর্ষণ এবং তাপমাত্রা মাইক্রোক্র্যাক এবং পৃষ্ঠের স্ক্র্যাচ কমিয়ে দেয়, যা ওয়েফারের ক্ষতির কারণ হতে পারে এবং সামগ্রিক ফলন কমিয়ে দেয়। তরল কাটিয়া এলাকা থেকে ধ্বংসাবশেষও বহন করে, যা হীরার তার এবং ওয়েফার পৃষ্ঠকে পরিষ্কার রাখে। কণাগুলির এই ক্রমাগত অপসারণের ফলে ওয়েফার পৃষ্ঠগুলি মসৃণ হয় এবং ধারাবাহিক, উচ্চ-মানের উৎপাদন সমর্থন করে। উদাহরণস্বরূপ, SiO₂ এবং SiC ন্যানো পার্টিকেল সহ উন্নত ন্যানো-কাটিং তরল কার্ফের গভীরে প্রবেশ করতে পারে, পৃষ্ঠের রুক্ষতা এবং ওয়েফার ওয়ারপেজ হ্রাস করে, সেমিকন্ডাক্টর ব্যবহারের জন্য ওয়েফার আউটপুট আরও উন্নত করে।
কাটিং ফ্লুইড ফ্লো মিটার কী এবং ওয়েফার করাতের ক্ষেত্রে এটি কেন গুরুত্বপূর্ণ?
একটি কাটিং ফ্লুইড ফ্লো মিটার করাত অঞ্চলে সরবরাহ করা তরলের সঠিক পরিমাণ পরিমাপ করে। পর্যাপ্ত তৈলাক্তকরণ, তাপ অপচয় এবং ধ্বংসাবশেষ পরিষ্কারের জন্য সঠিক প্রবাহ বজায় রাখা অত্যন্ত গুরুত্বপূর্ণ। প্রবাহ খুব কম হলে, তারটি অতিরিক্ত গরম হয়ে যায় বা ধ্বংসাবশেষ জমা করে, যার ফলে স্ক্র্যাচ এবং ফ্র্যাকচার হয়। অতিরিক্ত প্রবাহ তরল নষ্ট করতে পারে এবং চাপের ভারসাম্যহীনতা তৈরি করতে পারে, যা ওয়েফারের সমতলতা এবং সরঞ্জামের জীবনকে প্রভাবিত করে। লনমিটার দ্বারা নির্মিত ইনলাইন ঘনত্ব মিটার এবং সান্দ্রতা মিটারের মতো কাটিং ফ্লুইড ফ্লো মিটারগুলি অপারেটরদের রিয়েল টাইমে সরবরাহ নিরীক্ষণ এবং সামঞ্জস্য করতে সহায়তা করে। এটি নিশ্চিত করে যে প্রক্রিয়াটি সর্বোত্তম পরামিতিগুলির মধ্যে থাকে, ওয়েফারের ফলন সর্বাধিক করে এবং সরঞ্জামের ক্ষয় কমিয়ে দেয়।
কোরিওলিস ভর প্রবাহ পরিমাপ সিলিকন ওয়েফার কাটিং তরল নিয়ন্ত্রণে কীভাবে উপকারী?
সিলিকন ওয়েফার উৎপাদনে উচ্চ নির্ভুলতা প্রবাহ পরিমাপের জন্য কোরিওলিস ভর প্রবাহ পরিমাপ অমূল্য। ঐতিহ্যবাহী ফ্লো মিটারের বিপরীতে, কোরিওলিস সেন্সরগুলি তরল সান্দ্রতা, ঘনত্ব বা তাপমাত্রার তারতম্য নির্বিশেষে সরাসরি ভর প্রবাহ পরিমাপ করে। এই বৈশিষ্ট্যটি ন্যানো পার্টিকেল সহ বিভিন্ন ধরণের ওয়েফার কাটিং তরলের সঠিক পর্যবেক্ষণ সক্ষম করে। ফলাফল হল সঠিক হারে কাটিং তরলের ধারাবাহিক সরবরাহ, প্রক্রিয়ার ওঠানামা সত্ত্বেও স্থিতিশীল তৈলাক্তকরণ এবং শীতলতা বজায় রাখা। এই সুবিধাগুলি সরাসরি হীরার তারের কাটার অ্যাপ্লিকেশনগুলিতে উচ্চতর ওয়েফার মানের অবদান রাখে, যেখানে সুনির্দিষ্ট নিয়ন্ত্রণ ত্রুটি হ্রাস করে এবং উৎপাদনশীলতাকে সর্বোত্তম করে তোলে।
হীরার তারের করাত প্রয়োগে প্রবাহ হার পরিমাপকে কোন বিষয়গুলি প্রভাবিত করে?
সঠিক প্রবাহ হার পরিমাপ বিভিন্ন আন্তঃসংযুক্ত ভেরিয়েবলের উপর নির্ভর করে। সেন্সর নির্বাচন গুরুত্বপূর্ণ; উদাহরণস্বরূপ, কোরিওলিস ভর প্রবাহ সেন্সরগুলি সান্দ্র বা কণা-বোঝাই তরলের জন্যও নির্ভরযোগ্য তথ্য সরবরাহ করে। তরল গঠন - যেমন ন্যানো পার্টিকেলের উপস্থিতি - সান্দ্রতা এবং ঘনত্ব পরিবর্তন করতে পারে এবং সেন্সর ক্রমাঙ্কনের প্রয়োজনীয়তাগুলিকে প্রভাবিত করতে পারে। তারের ব্যাস এবং কাটার গতি কার্যকর শীতলকরণ এবং ধ্বংসাবশেষ অপসারণের জন্য কতটা তরল প্রয়োজন তাও প্রভাবিত করে। সেন্সরটি সঠিক মানগুলি পড়তে নিশ্চিত করার জন্য প্রতিটি নির্দিষ্ট প্রক্রিয়ার জন্য ক্রমাঙ্কন অপরিহার্য, প্রতিটি ব্যাচের জন্য সঠিক পরিমাণে কাটার তরল ব্যবহার করা হয়েছে তা নিশ্চিত করে।
সিলিকন ওয়েফার কাটার সময় কি ন্যানো-তরল এবং অতিস্বনক কৌশল তরল অনুপ্রবেশ বাড়াতে পারে?
গবেষণায় দেখা গেছে যে ন্যানো-তরল, বিশেষ করে যাদের SiO₂ এবং SiC ন্যানো পার্টিকেল রয়েছে, তারা গুরুত্বপূর্ণ তার-ওয়েফার ইন্টারফেসে তরল সরবরাহের দক্ষতা বৃদ্ধি করে। এই কণাগুলি তরলকে মাইক্রোস্কোপিক ফাঁকে পৌঁছাতে সাহায্য করে, যা আরও ভাল শীতলকরণ এবং তৈলাক্তকরণ নিশ্চিত করে। অতিরিক্তভাবে, অতিস্বনক কৈশিক প্রভাব কৌশলগুলি তরল চলাচল এবং অনুপ্রবেশকে আরও উন্নত করে, বিশেষ করে অতি-পাতলা তার কাটার ক্ষেত্রে। এর অর্থ হল সর্বোত্তম কর্মক্ষমতা অর্জনের জন্য কম কাটার তরল প্রয়োজন, এবং ফলাফলগুলির মধ্যে রয়েছে তরল শোষণ হ্রাস, উন্নত পৃষ্ঠের আকারবিদ্যা এবং নিম্ন ত্রুটির হার। এই অগ্রগতিগুলি সেমিকন্ডাক্টর এবং ফটোভোলটাইক উভয় শিল্পেই পাতলা, বৃহত্তর-ব্যাসের ওয়েফারের দিকে অগ্রসর হওয়াকে সমর্থন করে, কাটিং তরল পর্যবেক্ষণ সেন্সরগুলি নিশ্চিত করে যে প্রক্রিয়াটি প্রতিটি উৎপাদন চক্র জুড়ে নিয়ন্ত্রিত এবং সামঞ্জস্যপূর্ণ থাকে।
পোস্টের সময়: ডিসেম্বর-২৫-২০২৫
