রাসায়নিক যান্ত্রিক পলিশিং

স্লারি বৈশিষ্ট্য পর্যবেক্ষণে চ্যালেঞ্জগুলি

রাসায়নিক যান্ত্রিক পলিশিং প্রক্রিয়ায় ধারাবাহিক স্লারি ঘনত্ব এবং সান্দ্রতা বজায় রাখা চ্যালেঞ্জের সাথে পরিপূর্ণ। পরিবহন, জল বা হাইড্রোজেন পারক্সাইড দিয়ে পাতলা করা, অপর্যাপ্ত মিশ্রণ বা রাসায়নিক অবক্ষয়ের মতো কারণগুলির কারণে স্লারি বৈশিষ্ট্যগুলি পরিবর্তিত হতে পারে। উদাহরণস্বরূপ, স্লারি টোটে কণা বসতি স্থাপনের ফলে নীচে উচ্চ ঘনত্ব হতে পারে, যার ফলে অ-অভিন্ন পলিশিং হয়। pH, জারণ-হ্রাস সম্ভাবনা (ORP), বা পরিবাহিতা মত ঐতিহ্যবাহী পর্যবেক্ষণ পদ্ধতিগুলি প্রায়শই অপর্যাপ্ত, কারণ তারা স্লারি গঠনে সূক্ষ্ম পরিবর্তন সনাক্ত করতে ব্যর্থ হয়। এই সীমাবদ্ধতার ফলে ত্রুটি, হ্রাস অপসারণের হার এবং ভোগ্য ব্যয় বৃদ্ধি পেতে পারে, যা সেমিকন্ডাক্টর সরঞ্জাম নির্মাতারা এবং CMP পরিষেবা প্রদানকারীদের জন্য উল্লেখযোগ্য ঝুঁকি তৈরি করে। পরিচালনা এবং বিতরণের সময় গঠনগত পরিবর্তন কর্মক্ষমতা প্রভাবিত করে। সাব-10nm নোডগুলিতে স্লারি বিশুদ্ধতা এবং মিশ্রণের নির্ভুলতার উপর কঠোর নিয়ন্ত্রণ প্রয়োজন। pH এবং ORP ন্যূনতম পরিবর্তন দেখায়, যখন স্লারি বার্ধক্যের সাথে পরিবাহিতা পরিবর্তিত হয়। শিল্প গবেষণা অনুসারে, অসঙ্গত স্লারি বৈশিষ্ট্য ত্রুটির হার 20% পর্যন্ত বৃদ্ধি করতে পারে।

রিয়েল-টাইম মনিটরিংয়ের জন্য লনমিটারের ইনলাইন সেন্সর

লনমিটার তার উন্নত নন-নিউক্লিয়ার স্লারি ঘনত্ব মিটার দিয়ে এই চ্যালেঞ্জগুলি মোকাবেলা করে এবংসান্দ্রতা সেন্সর, যার মধ্যে রয়েছে ইন-লাইন সান্দ্রতা পরিমাপের জন্য ইনলাইন সান্দ্রতা মিটার এবং একযোগে স্লারি ঘনত্ব এবং সান্দ্রতা পর্যবেক্ষণের জন্য অতিস্বনক ঘনত্ব মিটার। এই সেন্সরগুলি CMP প্রক্রিয়াগুলিতে নিরবচ্ছিন্ন একীকরণের জন্য ডিজাইন করা হয়েছে, যার মধ্যে শিল্প-মান সংযোগ রয়েছে। লনমিটারের সমাধানগুলি এর শক্তিশালী নির্মাণের জন্য দীর্ঘমেয়াদী নির্ভরযোগ্যতা এবং কম রক্ষণাবেক্ষণ অফার করে। রিয়েল-টাইম ডেটা অপারেটরদের স্লারি মিশ্রণগুলিকে সূক্ষ্ম-টিউন করতে, ত্রুটিগুলি প্রতিরোধ করতে এবং পলিশিং কর্মক্ষমতা অপ্টিমাইজ করতে সক্ষম করে, যা বিশ্লেষণ এবং পরীক্ষার সরঞ্জাম সরবরাহকারী এবং CMP ভোগ্যপণ্য সরবরাহকারীদের জন্য এই সরঞ্জামগুলিকে অপরিহার্য করে তোলে।

সিএমপি অপ্টিমাইজেশনের জন্য ক্রমাগত পর্যবেক্ষণের সুবিধা

লনমিটারের ইনলাইন সেন্সরগুলির সাহায্যে ক্রমাগত পর্যবেক্ষণ রাসায়নিক যান্ত্রিক পলিশিং প্রক্রিয়াকে কার্যকর অন্তর্দৃষ্টি প্রদান করে এবং উল্লেখযোগ্য খরচ সাশ্রয় করে। রিয়েল-টাইম স্লারি ঘনত্ব পরিমাপ এবং সান্দ্রতা পর্যবেক্ষণ শিল্পের মানদণ্ড অনুসারে, স্ক্র্যাচ বা অতিরিক্ত পলিশিংয়ের মতো ত্রুটিগুলিকে 20% পর্যন্ত হ্রাস করে। পিএলসি সিস্টেমের সাথে একীকরণ স্বয়ংক্রিয় ডোজিং এবং প্রক্রিয়া নিয়ন্ত্রণ সক্ষম করে, স্লারি বৈশিষ্ট্যগুলি সর্বোত্তম সীমার মধ্যে থাকা নিশ্চিত করে। এর ফলে ভোগ্যপণ্যের খরচ 15-25% হ্রাস পায়, ডাউনটাইম কম হয় এবং ওয়েফারের অভিন্নতা উন্নত হয়। সেমিকন্ডাক্টর ফাউন্ড্রি এবং সিএমপি পরিষেবা প্রদানকারীদের জন্য, এই সুবিধাগুলি বর্ধিত উৎপাদনশীলতা, উচ্চ মুনাফা মার্জিন এবং ISO 6976 এর মতো মানগুলির সাথে সম্মতিতে অনুবাদ করে।