Измерването на потока е задължително при рязане на силициеви пластини с диамантена тел, тъй като осигурява прецизно подаване на режещи течности към интерфейса тел-пластмаса – което е от решаващо значение за поддържане на оптимално охлаждане, смазване и отстраняване на отломки.RДанните за потока в реално време предотвратяват недостатъчно или прекомерно подаване на флуид, което в противен случай би причинило прегряване, счупване на проводника, повърхностни дефекти или разхищение. Точното измерване намалява променливостта на процеса, защитава плоскостта на пластината и целостта на повърхността, удължава живота на проводника и оптимизира ефективността на ресурсите.
Преглед на рязането на силициеви пластини и ролята на режещите течности
Рязането с диамантена тел е доминиращата техника за нарязване на монокристални и многокристални силициеви блокове на пластини за полупроводникови и фотоволтаични приложения. При този процес стоманена тел – обикновено с диаметър 40–70 μm – се покрива с диамантени абразивни зърна. Телта се движи с висока скорост и вградените диаманти смилат силиция чрез абразия, като минимизират повърхностните дефекти и насърчават еднородността на пластината. Теловете с намален диаметър, въведени през последните години, намаляват загубата на прорез, която се отнася до материала, разхищаван като фини силициеви частици по време на операцията по нарязване. Загубата на прорез се определя от диаметъра на телта и височината на абразивните зърна, стърчащи от повърхността на телта.
Рязане с диамантено въже
*
Режещите течности играят няколко ключови роли при рязането с диамантено въже. Основната им функция е да охлаждат както слитъка, така и телта, предотвратявайки прегряване, което би могло да повреди силиция или да намали живота на телта. Те също така отмиват фините силициеви частици, генерирани по време на рязане, което помага за поддържане на чист интерфейс, предотвратява повторното отлагане на отломки и намалява повърхностните микропукнатини върху пластината. Освен това, режещите течности смазват процеса, намалявайки триенето между телта и силиция, като по този начин удължават живота на телта и подобряват качеството на рязане. Съставът и физичните свойства на режещите течности за силициеви пластини – като вискозитет и плътност – трябва да се управляват внимателно, за да се оптимизира охлаждането, отстраняването на стружките и защитата на телта.
Съществуват няколко вида течности за рязане на пластини, включително течности на водна основа с добавки за подобрено смазване и суспендиране на частици. Изборът зависи от дизайна на оборудването, спецификациите на пластините и екологичните ограничения. Примерите включват дейонизирана вода с повърхностноактивни вещества или гликоли, формулирани за балансиране на ефективността на охлаждане с ниско образуване на остатъци.
Еволюцията към ултратънки диамантени телове в съвременните инсталации за производство на пластини засилва предизвикателствата при подаването на флуиди и контрола на процесите. С намаляването на диаметрите на теловете под 40 μm, рискът от скъсване на теловете се увеличава и толерансът за флуиди в процеса се затяга. Прецизното измерване на дебита – подкрепено от технологии като разходомери за режеща течност, високопрецизни сензори за измерване на дебит и сензори за масов дебит на Кориолис – е от съществено значение за поддържане на ефективно охлаждане и отстраняване на отломки. Сензорите за наблюдение на режеща течност и индустриалните решения за измерване на дебита на режеща течност позволяват на операторите да проследяват и регулират дебитите в реално време, постигайки оптимално смазване и качество на повърхността. Точността на разходомерите на Кориолис е особено важна за управление на флуиди с различна плътност и вискозитет, осигурявайки постоянни условия дори при увеличаване на скоростите на рязане и опъването на теловете.
Това нарастващо търсене на прецизност измести фокуса към наблюдение на динамични параметри на флуидите, като дебит, плътност и вискозитет. Инструменти като тези на Lonnmeter осигуряват надеждни измервания в реално време, които са необходими за осигуряване на качеството и оптимизиране на процесите при усъвършенствани операции по рязане с диамантена тел. С развитието на технологията за рязане на тел, интегрирането на надеждни технологии за измерване на потока е неразделна част от поддържането на производителността на пластините, минимизирането на загубите от прореза и намаляването на изискванията за последваща обработка в сектора за производство на силициеви пластини.
Предизвикателства при подаването на флуид при прецизно рязане с диамантено въже
При рязане с диамантена тел на ултратънки силициеви пластини – особено тези под 40 µm – доставянето на точното количество режеща течност за силициеви пластини до повърхността за рязане се превръща в сериозно предизвикателство. С намаляването на дебелината на телта намалява и пространството за потока на течността. Поддържането на постоянно подаване на режеща течност е от решаващо значение за осигуряване на смазване, контрол на температурата и отстраняване на отломки в точката на контакт.
Непостоянният или неадекватен поток на флуид води директно до адсорбция на пластините, при която пластината нежелано залепва към оборудването поради недостатъчно смазване. Това не само нарушава процеса на рязане, но и увеличава риска от счупване или повреда на пластината. Грапавостта на повърхността се увеличава значително, когато телта и пластината не получават непрекъснато смазване и охлаждане от режещата течност с диамантено въже. Получените повредени повърхности и микродефекти намаляват качеството и добива на пластините, което създава сериозни пречки за полупроводниковата и фотоволтаичната промишленост.
Три основни фактора влияят върху проникването на флуида в микромащабната междина на рязане: геометрия на телта, скорост на рязане и капилярно действие. Геометрията на телта – по-специално диаметърът на телта и разпределението на диамантените зърна – пряко влияят върху това колко лесно тече и прилепва флуидът за рязане на силициеви пластини към контактната зона. При използване на телове под 40 µm, по-малката повърхност ограничава свободното движение на флуида. По-високите скорости на рязане намаляват времето, през което флуидът достига и охлажда интерфейса, което води до локализирано прегряване и лошо смазване. Капилярното действие, естествената способност на течността да се засмуква в тесни пространства, силно определя задържането на флуид. Същите течни мостове, които подобряват транспорта на флуид, обаче могат да въведат капилярна адхезия между съседни телове, причинявайки неравномерно напрежение и увеличавайки вариациите в дебелината на пластината.
Въвеждането на усъвършенствани видове течности за рязане на пластини – включително решения, обогатени с наночастици – осигурява измерими подобрения. Течностите, създадени с SiO₂ или SiC наночастици, проникват по-ефективно в тесни пролуки благодарение на оптимизирания вискозитет и взаимодействието с повърхността. Тези течности подобряват смазването и отвеждат топлината по-ефективно, което води до по-ниска грапавост на повърхността и подобрена плоскост на пластината. Изследванията показват, че използването на течности, натоварени с наночастици, променя температурното поле по време на рязане, като допълнително намалява напреженията, които застрашават целостта на пластината. Това, в комбинация с техники като ултразвукова вибрация за усилване на капилярния транспорт, позволява по-равномерно подаване на течност за рязане с диамантена тел.
Постоянното подаване на флуид изисква точно наблюдение и регулиране в реално време. Високопрецизното измерване на потока на режеща течност в промишлеността става от съществено значение, особено в строго контролирани процеси. Внедряването на разходомер за режеща течност – като например високоточен сензор за измерване на масов поток на Кориолис – позволява прецизно регулиране на скоростта на подаване. Вградените измерватели на плътност и вискозитет на Lonnmeter, когато са комбинирани с прецизни инструменти за измерване на дебита, допринасят за оптимизиране на подаването на флуид, така че дори най-тънките пластини да се режат гладко, с минимален риск от дефекти.
Измерване на потока на флуид при операции по рязане на пластини
Прецизното измерване на дебита е от основно значение за оптимизиране на подаването на режеща течност при рязане с диамантена тел на силициеви пластини. Ефективността на режещата течност на силициевите пластини директно влияе върху охлаждането, смазването и отстраняването на отломки на контактната повърхност, което влияе върху качеството на повърхността на пластината, загубата на прорез и общия добив. Недостатъчният или прекомерен дебит променя абразивната ефективност, увеличава износването на инструмента и може да причини непостоянно качество на пластината или по-високи разходи за ресурси. Емпиричните изследвания показват, че грапавостта на повърхността (Ra) и подповърхностните повреди могат да бъдат сведени до минимум чрез поддържане на дебита на режещата течност в оптималния диапазон от 0,15–0,25 л/мин за типични машини с единична тел, тъй като недостатъчният дебит води до микропукнатини и натрупване на отломки, докато излишният дебит въвежда турбуленция и ненужна консумация.
Технологии за измерване на дебита на режеща течност
Дебитомерите за режеща течност се интегрират в тръбопроводите за подаване на течност, измервайки доставения обем режеща течност с диамантено въже в реално време. Често срещаните технологии за измерване на дебитомер включват механични, електронни и ултразвукови видове:
- Механичните разходомери, като например конструкциите с турбини и лопатки, използват въртящи се компоненти, измествани от потока на флуида. Те са прости и здрави, но са податливи на износване от абразивно натоварени флуиди.
- Електронните разходомери, особено електромагнитните, измерват скоростта на флуида, използвайки принципите на електромагнитната индукция, предлагайки надеждна и лесна за поддръжка работа с проводими флуиди.
- Ултразвуковите разходомери използват високочестотни звукови вълни, предавани и приемани през тръбата. Чрез измерване на времевата разлика на преминаване на звука с и срещу потока, тези устройства осигуряват неинвазивно, точно измерване, подходящо за различни видове течности за рязане на пластини.
Измерването на масовия поток на Кориолис се откроява в приложения, където е необходим прецизен контрол на масата на флуида, независимо от промените във вискозитета или температурата. Сензорите за масов поток на Кориолис директно измерват масовия поток въз основа на ефекта на Кориолис, осигурявайки висока прецизност и пригодност както за водно-, така и за маслено-базирани диамантено-телови режещи течности. Lonnmeter произвежда вградени измерватели на плътност и вискозитет, които допълнително позволяват наблюдение на свойствата на флуида за консистентност и оптимален контрол на процеса при рязане на силициеви пластини.
Критични параметри на измерване и разположение на сензорите
Точното измерване на потока на режеща течност при рязане на пластини изисква внимание към няколко ключови параметъра:
- Дебит (л/мин): Основно измерване за оптимизация на процеса и осигуряване на качеството.
- Плътност и вискозитет: И двете влияят значително върху охлаждащата ефективност, транспорта на абразива и отстраняването на отломки.
- Температура: Влияе върху вискозитета и поведението на флуида в мястото на рязане.
Разположението на сензорите е от решаващо значение. Сензорите за измерване на потока трябва да бъдат разположени директно в тръбопровода за подаване на флуид възможно най-близо до зоната на рязане, за да се сведат до минимум несъответствията, дължащи се на съпротивление в тръбопровода, течове или изпарение преди границата на рязане. Измерването в реално време на линията гарантира, че отчетената стойност на потока съответства на действителното подаване към зоната за рязане с диамантено въже.
Функция на измерването на потока за поддържане на оптимални условия за рязане
Сензорите за измерване на потока са от съществено значение за наблюдение в реално време и адаптивно управление на подаването на флуид при рязане на силициеви пластини в промишлеността. Поддържането на оптимален дебит осигурява адекватно разсейване на топлината, непрекъснато отвеждане на отломките и равномерно смазване по диамантеното въже. Без това стабилността на процеса намалява, животът на въжето се скъсява и добивът се влошава поради повишен риск от повърхностни дефекти или прекомерна загуба на прорез.
Чрез интегриране на високопрецизно измерване на дебита с други параметри за обратна връзка (напр. скорост на заваръчна тел, скорост на подаване), производителите могат да наложат адаптивен контрол на прага на процеса, като директно свързват корекциите на дебита с наблюдаваните показатели на рязане. В резултат на това всяко отклонение от програмираната обвивка на потока задейства незабавни коригиращи действия, защитавайки както качеството на процеса, така и ефективността на ресурсите.
В обобщение, измерването на потока на режеща течност в промишлеността – разчитайки на надеждни сензори за измерване на потока и данни в реално време – служи като крайъгълен камък за високопроизводително и рентабилно производство на силициеви пластини в ерата на диамантеното рязане.
Измерване на масовия поток на Кориолис: Принципи и приложение
Измерването на масовия поток на Кориолис се основава на откриване на силата, упражнявана от течност, движеща се през вибриращи тръби. Докато флуидът тече – например, течност за рязане с диамантена тел или специализирана течност за рязане с силициеви пластини – тръбите претърпяват малко, измеримо фазово изместване. Това изместване е пропорционално на масовия поток, осигурявайки директно количествено определяне в реално време на масата на доставяната течност за рязане. Същият принцип позволява едновременно измерване на плътността на флуида, поддържайки висока прецизност при променящи се видове флуиди, състави и температури – критично изискване при производството на силициеви пластини и приложенията за рязане с диамантена тел.
Предимствата на този подход за видовете течности за рязане на пластини, особено при използване на високоефективни течности за рязане с диамантена тел, са значителни. Измерването на потока на Кориолис е независимо от вискозитета и промените в състава на флуида, като остава високоточно въпреки наличието на абразивни частици, нанодобавки или хетерогенни смеси, често срещани в течностите за рязане на силициеви пластини. Тази надеждност го прави по-добър от традиционните методи за обемно измерване на потока, които могат да бъдат повлияни от мехурчета, суспендирани частици и променящи се физични свойства на съвременните течности за рязане.
Рязането на полупроводникови пластини все повече разчита на усъвършенствана технология за сензори за потока на флуиди, за да се осигури надеждно наблюдение на режещата течност за силициеви пластини. Вградени сензори за масов поток с лонметри, използващи ефекта на Кориолис, се внедряват директно в технологичните линии. Това позволява прецизно подаване и наблюдение на режеща течност с нано-флуид и диамантена тел по време на рязане на пластини. Признаци за разграждане на флуида, несъответствия в сместа или промени в плътността се откриват своевременно, което позволява незабавни контролни интервенции за поддържане на добива на процеса и качеството на повърхността.
Сравняването на сензорите за масов поток на Кориолист с други сензори за наблюдение на режещи течности – като например термични, електромагнитни или ултразвукови системи за поток – разкрива няколко силни страни. Сензорите за масов поток на Кориолист се отличават с високо прецизно измерване на потока и предоставят показания, базирани на маса, които не се влияят от колебанията на вискозитета или магнитните свойства. Електромагнитните и ултразвуковите измервателни уреди се затрудняват със смеси от режещи течности, съдържащи наночастици, въздушни джобове или малки вариации в плътността, което често води до ненадеждно измерване на дебита и повишена честота на поддръжка.
Точността на кориолисовия разходомер се поддържа при променящ се състав на флуида, тъй като схемите за обработка на сигнала и температурна компенсация ефективно филтрират шума и промените в околната среда. Операторите могат да използват данни в реално време, за да оптимизират охлаждането, смазването и отстраняването на частици, реагирайки на разнообразните свойства на различните видове флуиди за рязане на пластини и нанофлуидни смеси.
Адаптирането на измерването на масовия поток на Кориолис към ултратънки флуиди за рязане с тел и рязане с наночастици бележи промяна в индустриалния мониторинг. Сензорите надеждно измерват истинския масов поток и плътност, независимо от съдържанието на частиците или хетерогенността на флуида, което позволява затворен контур за управление и автоматизирано управление на флуидите, съобразени с рязането на пластини. Това ниво на високопрецизно измерване на потока е от основно значение за поддържане на стабилността на процеса, намаляване на загубата на материал и осигуряване на целостта на повърхността по време на производството на силициеви пластини и процесите на рязане с диамантена тел.
Интегриране на данни от измерване на потока в управлението на процесите
Измерването на потока в реално време с помощта на сензори за масов поток на Кориолис трансформира управлението на режещите течности по време на рязане с диамантена тел на силициеви пластини. Вградените измерватели на плътност и вискозитет, като тези, произведени от Lonnmeter, позволяват незабавно наблюдение на свойствата на течността и дебита, като пряко подпомагат прецизния контрол на процеса.
Поддържането на оптимални дебити е от съществено значение за ефективното охлаждане, почистване и смазване на диамантената тел и силициевите пластини. Масовите разходомери на Кориолис се отличават в тази среда, като осигуряват високопрецизна обратна връзка в реално време за масовия поток и характеристиките на флуида. С тези данни автоматизираните системи могат да регулират скоростите на помпата, позициите на клапаните или скоростите на рециклиране, за да доставят точно необходимия обем и състав на флуида за рязане на пластини. Например, по време на бързи цикли на рязане, данните от сензорите могат да задействат увеличено подаване на флуид за по-добро отстраняване на отломки и охлаждане, докато по-бавните цикли може да изискват намален поток, за да се избегнат загуби.
Обратната връзка от сензорите за измерване на потока също е от решаващо значение за реагиране на променящите се условия на флуида. Тъй като вискозитетът или плътността на флуида се променят – поради промени в температурата или замърсяване – вградените измервателни уреди на Lonnmeter откриват тези вариации мигновено, позволявайки на системите за управление да компенсират чрез регулиране на дебита или иницииране на филтриране на флуида. Този подробен, базиран на данни подход гарантира, че флуидът остава в рамките на строгите спецификации за оптимална производителност на рязане.
В среди с голям обем работа, възможността за наблюдение и контрол на потока на режеща течност в реално време поддържа постоянна дебелина и намалява появата на скъпоструващи дефекти, както е показано в авангардни производствени линии в Азия и Европа. Усъвършенстваното управление на течностите също така подпомага прогнозната поддръжка, удължавайки живота на диамантеното въже.
Промишлените операции печелят значително от системите за режещи течности с контролиран поток. Ефективното управление на течностите намалява разходите за потребление и изхвърляне, като гарантира, че се използва точно толкова течност, колкото е необходимо за всяка пластина, което подпомага устойчивостта и спазването на регулаторните изисквания. Намаляването на разхищението на течности – осигурено чрез непрекъсната обратна връзка и корекции въз основа на данни от сензори – води до по-ниски оперативни разходи и намален екологичен отпечатък.
В обобщение, интегрирането на данни от измервания на потока в реално време, осигурено от вградените решения на Lonnmeter, е не само крайъгълен камък за осигуряване на качеството на пластините, но и оперативно предимство за процеса на рязане с диамантена тел. То осигурява измерими подобрения в повърхностното качество, механичната надеждност, производствения добив и рентабилността.
Експериментални прозрения и индустриални насоки
Последните експериментални проучвания промениха най-добрите практики за подаване на флуид за рязане с диамантена тел на силициеви пластини. Изследванията показват, че прецизно управляваното подаване на режеща течност, особено при използване на съвременни техники, е пряко свързано с по-ниска адсорбция на пластините и по-добро качество на повърхността.
Приложението на ултразвуков капилярен ефект при подаването на флуид се очертава като революционен метод. Ултразвуковите вълни вкарват режещата течност по-дълбоко в ултратънки прорези – особено в области по-тесни от 50 μm – където традиционните методи за подаване често се провалят. Тази подобрена инфилтрация значително намалява адсорбцията на абразивни частици и отломки върху повърхността на пластината. Емпиричните тестове показват, че пластините, подложени на подаване на флуид с ултразвуково подпомагане, показват измеримо по-малко повърхностни дефекти, като по този начин по-висок добив и надеждност в последващите процеси.
Оптимизацията на параметрите е от решаващо значение за максимално използване на ползите както от ултразвуковото подобрение, така и от нанофлуидните технологии при подаването на режеща течност. Ключовите параметри включват:
- Разстояние между плочите: Разстоянието между резервоара за флуид и зоната на рязане трябва да бъде сведено до минимум за оптимално покачване на флуида.
- Позиция на ултразвуковия преобразувател и паралелизъм на настройката: Ясно дефинираната геометрия осигурява равномерно предаване на вълните и капилярно действие.
- Температура на флуида: Контролираното нагряване увеличава мобилността на флуида и капилярната ефективност.
- Продължителност и честота на ултразвуково приложение: Правилното време предотвратява прегряване, като същевременно увеличава максимално инфилтрацията.
- Избор на вид флуид: Различните базови флуиди и добавки реагират уникално на ултразвукова стимулация.
Технологията с нанофлуиди въвежда още един важен напредък. Режещите течности, в които са вложени наночастици като SiO2 и SiC, показват подобрена топлопроводимост и смазване. Тази модификация води до по-ефективно охлаждане, подобрено отстраняване на отломки и намалена грапавост на повърхността на пластината. Данните показват, че смесените формулировки с наночастици предлагат синергични подобрения, като допълнително намаляват деформацията и създават превъзходна морфология на пластината в сравнение с еднотипните или конвенционалните режещи течности.
Производителите, които се стремят да оптимизират ефикасността на своите режещи течности, могат да приложат следните оперативни насоки:
- Използвайте вградени измерватели на плътност и вискозитет (като тези от Lonnmeter), за да наблюдавате и контролирате консистенцията на режещата течност, като гарантирате, че свойствата на потока остават идеални за ултразвуково и нано-асистиране.
- Следете и регулирайте дебита на режещата течност с помощта на високопрецизен сензор за измерване на потока. Измерването на масовия поток на Кориолис е особено полезно за измерване на потока на режеща течност в промишлеността, предлагайки точност в реално време както за плътност, така и за обем.
- Редовно калибрирайте сензорите за измерване на потока, за да поддържате надеждни показания, което е от решаващо значение за постоянната обработка на пластините.
- Изберете видове течности за рязане на пластини и концентрации на наночастици, съобразени със специфичния размер на пластината, характеристиките на диамантената тел и работната среда.
Сравнителните проучвания потвърждават, че промените в параметрите, свързани с един фактор – като например увеличаване на скоростта на телта или регулиране на скоростта на подаване – корелират с промени в износването на телта, грапавостта на повърхността и общата вариация на дебелината (TTV). Поддържането на прецизност на потока и бързото и отзивчиво подаване на флуид са жизненоважни както за минимизиране на дефектите, така и за удължаване на живота на телта.
Често задавани въпроси
Как режещата течност със силициеви пластини подобрява производителността на рязане с диамантена тел?
Течността за рязане на силициеви пластини служи едновременно като смазка и охлаждаща течност при рязане с диамантена тел. Основната ѝ функция е да намали триенето и да разсее топлината, генерирана на границата между телта и пластината. По-ниското триене и температури минимизират микропукнатините и повърхностните драскотини, които могат да доведат до повреда на пластината и по-нисък общ добив. Течността също така отвежда отломки от зоната на рязане, поддържайки диамантената тел и повърхността на пластината чисти. Това непрекъснато отстраняване на частици води до по-гладки повърхности на пластините и поддържа постоянно, висококачествено производство. Например, подобрените нано-течности за рязане с наночастици SiO₂ и SiC могат да проникнат по-дълбоко в прореза, намалявайки грапавостта на повърхността и изкривяването на пластината, като допълнително подобряват производството на пластини за употреба в полупроводници.
Какво представлява дебитомерът за режеща течност и защо е важен при рязане на пластини?
Дебитомерът за режеща течност измерва точното количество течност, доставена в зоната на рязане. Поддържането на прецизен поток е жизненоважно за адекватно смазване, разсейване на топлината и отстраняване на отломки. Ако потокът е твърде нисък, телта прегрява или натрупва отломки, причинявайки драскотини и пукнатини. Прекомерният поток може да разхити течност и да създаде дисбаланс в налягането, което влияе върху плоскостта на пластината и живота на инструмента. Дебитомерите за режеща течност, като например вградените плътностомери и вискозитеметрите, произведени от Lonnmeter, помагат на операторите да наблюдават и регулират подаването в реално време. Това гарантира, че процесът остава в оптимални параметри, като максимизира добива на пластината и минимизира износването на инструмента.
Как измерването на масовия поток на Кориолис е от полза за контрола на режещата течност на силициевите пластини?
Измерването на масовия поток с Кориолис е безценно за високопрецизно измерване на потока в производството на силициеви пластини. За разлика от традиционните разходомери, сензорите с Кориолис измерват директно масовия поток, независимо от вискозитета, плътността или температурните вариации на флуида. Тази функция позволява точно наблюдение на различни видове режещи течности за пластини, включително тези с наночастици. Резултатът е постоянно подаване на режеща течност с правилната скорост, поддържайки стабилно смазване и охлаждане въпреки колебанията в процеса. Тези предимства допринасят директно за превъзходно качество на пластините при взискателни приложения за рязане с диамантена тел, където прецизният контрол намалява дефектите и оптимизира производителността.
Какви фактори влияят върху измерването на дебита при приложения с диамантено въжено трионче?
Точното измерване на дебита зависи от няколко взаимосвързани променливи. Изборът на сензор е ключов; например, сензорите за масов поток на Кориолис предоставят надеждни данни дори за вискозни или натоварени с частици флуиди. Съставът на флуида – като например наличието на наночастици – може да промени вискозитета и плътността и да повлияе на изискванията за калибриране на сензора. Диаметърът на телта и скоростта на рязане също влияят върху количеството флуид, необходимо за ефективно охлаждане и отстраняване на отломки. Калибрирането за всеки специфичен процес е от съществено значение, за да се гарантира, че сензорът отчита истински стойности, като се гарантира, че за всяка партида се използва правилното количество режеща течност.
Могат ли нано-флуидите и ултразвуковите техники да подобрят проникването на флуиди по време на рязане на силициеви пластини?
Изследванията показват, че нано-флуидите, особено тези с SiO₂ и SiC наночастици, повишават ефективността на доставянето на флуид до критичния интерфейс между проводник и пластина. Тези частици помагат на флуида да достигне микроскопични пролуки, осигурявайки по-добро охлаждане и смазване. Освен това, техниките с ултразвуков капилярен ефект допълнително подобряват движението и проникването на флуида, особено при рязане с ултратънка тел. Това означава, че е необходима по-малко режеща течност, за да се постигне оптимална производителност, а резултатите включват намалена адсорбция на флуид, подобрена морфология на повърхността и по-ниски нива на дефекти. Тези постижения подкрепят преминаването към по-тънки пластини с по-голям диаметър както в полупроводниковата, така и във фотоволтаичната промишленост, като сензорите за наблюдение на режещата течност гарантират, че процесът остава контролиран и постоянен през всеки производствен цикъл.
Време на публикуване: 25 декември 2025 г.
