Silikon lövhəli almaz məftil kəsmədə axın ölçməsi əvəzolunmazdır, çünki kəsici mayelərin məftil-lövhə interfeysinə dəqiq çatdırılmasını təmin edir ki, bu da optimal soyutma, yağlama və zibilin təmizlənməsini təmin etmək üçün vacibdir.RSabit vaxt axını məlumatları, əks halda həddindən artıq istiləşməyə, naqilin qırılmasına, səth qüsurlarına və ya israfa səbəb ola biləcək qeyri-kafi və ya həddindən artıq maye tədarükünün qarşısını alır. Dəqiq ölçmə prosesin dəyişkənliyini azaldır, lövhənin düzlüyünü və səth bütövlüyünü qoruyur, naqillərin ömrünü uzadır və resurs səmərəliliyini optimallaşdırır.
Silikon lövhə kəsilməsinə ümumi baxış və kəsici mayelərin rolu
Almaz məftil kəsmə, yarımkeçirici və fotovoltaik tətbiqlər üçün monokristal və çoxkristal silikon külçələrini lövhələrə doğramaq üçün dominant üsuldur. Bu prosesdə, adətən diametri 40-70 μm olan polad məftil almaz aşındırıcı dənəciklərlə örtülür. Məftil yüksək sürətlə hərəkət edir və daxil edilmiş almazlar səth qüsurlarını minimuma endirərək lövhənin vahidliyini təmin edərək silikonu aşındıraraq üyüdür. Son illərdə tətbiq edilən azaldılmış diametrli məftillər, kəsmə əməliyyatı zamanı materialın incə silikon hissəcikləri kimi israf edilməsinə aid olan kerf itkisini azaldır. Kerf itkisi məftilin diametri və məftil səthindən çıxan aşındırıcı dənəciklərin hündürlüyü ilə müəyyən edilir.
Almaz Tel Kəsmə
*
Kəsici mayelər almaz məftil mişarlamasında bir sıra mühüm rol oynayır. Onların əsas funksiyası həm külçəni, həm də məftili soyutmaq, silikona zərər verə biləcək və ya məftilin ömrünü azalda biləcək həddindən artıq istiləşmənin qarşısını almaqdır. Onlar həmçinin kəsmə zamanı əmələ gələn incə silikon hissəciklərini yuyur ki, bu da təmiz səthi qorumağa, zibilin yenidən çökməsinin qarşısını almağa və lövhədəki səth mikro çatlarını azaltmağa kömək edir. Bundan əlavə, kəsici mayelər prosesi yağlayır, məftil və silikon arasındakı sürtünməni azaldır və beləliklə, məftilin ömrünü uzadır və kəsmə keyfiyyətini yaxşılaşdırır. Soyutma, qırıntıların çıxarılması və məftil qorunmasını optimallaşdırmaq üçün silikon lövhə kəsici mayelərin tərkibi və fiziki xüsusiyyətləri - məsələn, özlülük və sıxlıq - diqqətlə idarə olunmalıdır.
Gücləndirilmiş yağlama və hissəciklərin suspenziyası üçün əlavələri olan su əsaslı mayelər də daxil olmaqla, bir neçə lövhə kəsici maye növü mövcuddur. Seçim avadanlığın dizaynından, lövhənin spesifikasiyalarından və ətraf mühit məhdudiyyətlərindən asılıdır. Nümunələrə soyutma səmərəliliyi ilə aşağı qalıq əmələ gəlməsini balanslaşdırmaq üçün hazırlanmış səthi aktiv maddələr və ya qlikollarla deionlaşdırılmış su daxildir.
Müasir lövhə zavodlarında ultra nazik almaz tellərə doğru təkamül maye çatdırılmasında və prosesə nəzarətdə çətinlikləri artırır. Telin diametrləri 40 μm-dən aşağı düşdükcə, telin qırılma riski artır və proses dalğalanmalarına qarşı tolerantlıq artır. Kesici maye axını ölçənləri, yüksək dəqiqlikli axın ölçən sensorlar və Coriolis kütlə axını sensorları kimi texnologiyalar tərəfindən dəstəklənən dəqiq axın sürətinin ölçülməsi effektiv soyutma və zibilin təmizlənməsini təmin etmək üçün vacibdir. Kesici maye monitorinq sensorları və sənaye kəsici maye axını ölçmə həlləri operatorlara axın sürətlərini real vaxt rejimində izləməyə və tənzimləməyə, optimal yağlama və səth keyfiyyətinə nail olmağa imkan verir. Coriolis axın ölçənlərinin dəqiqliyi, kəsmə sürətləri və tel gərginliyi artdıqca belə ardıcıl şərtləri təmin edərək, müxtəlif sıxlıq və özlülüklərə malik mayelərin idarə olunması üçün xüsusilə vacibdir.
Dəqiqliyə artan tələbat diqqəti axın sürəti, sıxlıq və özlülük kimi dinamik maye parametrlərinin monitorinqinə yönəldib. Lonnmeter kimi cihazlar qabaqcıl almaz məftil kəsmə əməliyyatlarında keyfiyyətə zəmanət və proses optimallaşdırılması üçün əvəzolunmaz olan etibarlı, real vaxt ölçmələri təmin edir. Məftil texnologiyası inkişaf etməyə davam etdikcə, güclü axın ölçmə texnologiyalarının inteqrasiyası lövhənin ötürmə qabiliyyətini qorumaq, kerf itkisini minimuma endirmək və silikon lövhə istehsalı sektoru üçün sonrakı bitirmə tələblərini azaltmaq üçün vacibdir.
Dəqiq almaz məftil kəsməsində maye çatdırılma problemləri
Ultra nazik silikon lövhələrin, xüsusən də 40 µm-dən aşağı olanların, almaz məftillə kəsilməsində dilimləmə səthinə lazımi miqdarda silikon lövhə kəsici mayenin çatdırılması böyük bir problemə çevrilir. Telin qalınlığı azaldıqca maye axını üçün yer də azalır. Yağlama, temperatur nəzarəti və təmas nöqtəsində zibilin təmizlənməsini təmin etmək üçün kəsici mayenin sabit tədarükünün saxlanılması vacibdir.
Mayenin qeyri-sabit və ya qeyri-kafi axını birbaşa lövhənin adsorbsiyasına gətirib çıxarır ki, bu da lövhənin kifayət qədər yağlanmaması səbəbindən avadanlığa istənməyən şəkildə yapışmasına səbəb olur. Bu, yalnız kəsmə prosesini pozmur, həm də lövhənin qırılması və ya zədələnməsi riskini artırır. Naqil və lövhə almaz məftil kəsici mayedən davamlı yağlama və soyutma almadıqda səthin pürüzlülüyü əhəmiyyətli dərəcədə artır. Nəticədə zədələnmiş səthlər və mikro qüsurlar lövhənin keyfiyyətini və məhsuldarlığını azaldır və yarımkeçirici və fotovoltaik sənayesi üçün böyük maneələr yaradır.
Mikromiqyaslı mişar boşluğuna mayenin nüfuz etməsinə üç əsas amil təsir göstərir: məftil həndəsəsi, kəsmə sürəti və kapilyar təsir. Məftil həndəsəsi - xüsusən də məftil diametri və almaz dənəciklərinin paylanması - silikon lövhə kəsici mayenin təmas zonasına necə asanlıqla axdığına və yapışdığına birbaşa təsir göstərir. 40 µm-dən az tellərdən istifadə edərkən, daha kiçik səth sahəsi mayenin sərbəst hərəkətini məhdudlaşdırır. Daha yüksək kəsmə sürətləri mayenin səthə çatması və soyuması üçün mövcud vaxtı azaldır, lokal həddindən artıq istiləşməyə və zəif yağlanmaya səbəb olur. Mayenin dar boşluqlara çəkilmə təbii qabiliyyəti olan kapilyar təsir mayenin tutulmasını güclü şəkildə müəyyən edir. Lakin, mayenin daşınmasını gücləndirən eyni maye körpüləri bitişik tellər arasında kapilyar yapışma yarada bilər, qeyri-bərabər gərginliyə və lövhə qalınlığının dəyişməsinin artmasına səbəb ola bilər.
Nanohissəciklərlə gücləndirilmiş məhlullar da daxil olmaqla, qabaqcıl lövhə kəsici maye növlərinin tətbiqi ölçülə bilən irəliləyişlər təmin edir. SiO₂ və ya SiC nanohissəcikləri ilə hazırlanmış mayelər, optimallaşdırılmış özlülük və səth qarşılıqlı təsiri sayəsində dar boşluqlara daha effektiv şəkildə nüfuz edir. Bu mayelər yağlamanı artırır və istiliyi daha səmərəli şəkildə aparır, nəticədə səthin pürüzlülüyü azalır və lövhənin düzlüyü yaxşılaşır. Tədqiqatlar göstərir ki, nanohissəciklərlə yüklənmiş mayelərin istifadəsi dilimləmə zamanı temperatur sahəsini dəyişdirir və lövhənin bütövlüyünə təhlükə yaradan gərginlikləri daha da azaldır. Bu, kapilyar nəqlini gücləndirmək üçün ultrasəs vibrasiyası kimi üsullarla birləşdirildikdə, almaz məftil kəsici mayenin daha vahid çatdırılmasına imkan verir.
Mayenin ardıcıl çatdırılması dəqiq, real vaxt rejimində monitorinq və tənzimləmə tələb edir. Xüsusilə ciddi şəkildə idarə olunan proseslərdə yüksək dəqiqlikli sənaye kəsici maye axınının ölçülməsi vacib hala gəlir. Yüksək dəqiqlikli Coriolis kütlə axını ölçmə sensoru kimi kəsici maye axını ölçən cihazın tətbiqi çatdırılma sürətinin dəqiq tənzimlənməsinə imkan verir. Lonnmeter-in xətti sıxlıq və özlülük ölçən cihazları, dəqiq axın sürəti ölçmə alətləri ilə birləşdirildikdə, maye tədarükünün optimallaşdırılmasına töhfə verir, beləliklə, hətta ən nazik lövhələr belə minimal qüsur riski ilə hamar şəkildə kəsilir.
Plitənin kəsilməsi əməliyyatlarında maye axınının ölçülməsi
Silikon lövhələrin almaz məftillə kəsilməsində kəsici mayenin çatdırılmasını optimallaşdırmaq üçün dəqiq axın sürətinin ölçülməsi vacibdir. Silikon lövhə kəsici mayenin effektivliyi təmas sərhədində soyutma, yağlama və zibilin təmizlənməsini birbaşa formalaşdırır, lövhənin səth keyfiyyətinə, əyilmə itkisinə və ümumi istehsal məhsuldarlığına təsir göstərir. Qeyri-kafi və ya həddindən artıq axın aşındırıcı effektivliyi dəyişdirir, alət aşınmasını artırır və lövhənin keyfiyyətinin qeyri-sabitliyinə və ya daha yüksək resurs xərclərinə səbəb ola bilər. Empirik tədqiqatlar göstərir ki, səth pürüzlülüyü (Ra) və yeraltı zədələnmə, tipik tək telli maşınlar üçün kəsici mayenin axın sürətini optimal 0,15-0,25 L/dəq diapazonunda saxlamaqla minimuma endirilə bilər, çünki qeyri-kafi axın mikro çatlara və zibil yığılmasına səbəb olur, həddindən artıq axın isə turbulentliyə və lazımsız istehlaka səbəb olur.
Maye Axın Sürətinin Ölçülməsi üçün Kəsmə Texnologiyaları
Kəsici maye axını ölçən cihazlar maye təchizatı xətlərinə inteqrasiya olunur və almaz məftil kəsici mayenin çatdırılan həcmini real vaxt rejimində ölçür. Ümumi axın ölçən texnologiyalarına mexaniki, elektron və ultrasəs növləri daxildir:
- Turbin və avarlı çarx dizaynları kimi mexaniki axın ölçənləri maye axını ilə yerindən tərpənən fırlanan komponentlərdən istifadə edir. Onlar sadə və möhkəmdir, lakin aşındırıcı maddələrlə yüklənmiş mayelərdən aşınmaya həssasdırlar.
- Elektron axın ölçənləri, xüsusən də elektromaqnit dizaynları, keçirici mayelər üçün etibarlı, texniki xidmət tələb edən işləmə təmin edərək elektromaqnit induksiyası prinsiplərindən istifadə edərək maye sürətini ölçür.
- Ultrasonik axın ölçən cihazlar boru vasitəsilə ötürülən və qəbul edilən yüksək tezlikli səs dalğalarından istifadə edir. Bu cihazlar səsin axınla və axına qarşı ötürülməsinin zaman fərqini ölçməklə müxtəlif lövhə kəsici maye növləri üçün uyğun olan müdaxiləsiz və dəqiq ölçmə təmin edir.
Coriolis kütlə axınının ölçülməsi, özlülük və ya temperatur dəyişikliklərindən asılı olmayaraq, maye kütləsinin dəqiq idarə olunmasının tələb olunduğu tətbiqlərdə fərqlənir. Coriolis kütlə axını sensorları, həm su əsaslı, həm də yağ əsaslı almaz məftil kəsici mayelər üçün yüksək dəqiqlik və uyğunluq təmin edərək, Coriolis effektinə əsaslanaraq kütlə axını sürətini birbaşa ölçür. Lonnmeter, maye xüsusiyyətlərinin ardıcıllıq üçün monitorinqini və silikon lövhə kəsməsində optimal proses nəzarətini təmin edən xətt içi sıxlıq və özlülük ölçən cihazlar istehsal edir.
Kritik Ölçmə Parametrləri və Sensor Yerləşdirilməsi
Plitənin kəsilməsində kəsici maye axınının dəqiq ölçülməsi bir neçə əsas parametrə diqqət yetirməyi tələb edir:
- Axın sürəti (L/dəq): Prosesin optimallaşdırılması və keyfiyyət təminatı üçün əsas ölçü.
- Sıxlıq və özlülük: Hər ikisi soyutma performansına, aşındırıcı daşınmaya və zibilin təmizlənməsinə əhəmiyyətli dərəcədə təsir göstərir.
- Temperatur: Kəsmə yerində özlülüyə və maye davranışına təsir göstərir.
Sensorun yerləşdirilməsi çox vacibdir. Boru müqaviməti, sızma və ya kəsmə sərhədindən əvvəl buxarlanma səbəbindən yaranan uyğunsuzluqları minimuma endirmək üçün axın ölçmə sensorları birbaşa maye çatdırılma xəttində, kəsmə zonasına mümkün qədər yaxın yerləşdirilməlidir. Real vaxt rejimində daxili ölçmə, bildirilən axın dəyərinin almaz məftil kəsmə sahəsinə faktiki təchizatın uyğun olmasını təmin edir.
Optimal Kəsmə Mühitlərinin Qorunmasında Axın Ölçməsinin Funksiyası
Axın ölçmə sensorları sənaye silikon lövhə kəsməsində maye çatdırılmasının real vaxt rejimində monitorinqi və adaptiv nəzarəti üçün vacibdir. Optimal axın sürətinin qorunması adekvat istilik yayılmasını, davamlı zibil boşaldılmasını və almaz məftil boyunca vahid yağlamanı təmin edir. Bunsuz prosesin stabilliyi azalır, məftil ömrü qısalır və səth qüsurlarının və ya həddindən artıq əyilmə itkisinin artması riski səbəbindən məhsuldarlıq azalır.
Yüksək dəqiqlikli axın sürəti ölçməsini digər geribildirim parametrləri (məsələn, naqil sürəti, qidalanma sürəti) ilə birləşdirməklə, istehsalçılar proses həddinin adaptiv nəzarətini tətbiq edə və axın sürəti tənzimləmələrini müşahidə olunan kəsmə performansı ilə birbaşa əlaqələndirə bilərlər. Nəticədə, proqramlaşdırılmış axın zərfindən hər hansı bir sapma həm prosesin keyfiyyətini, həm də resurs səmərəliliyini qoruyaraq dərhal düzəldici tədbirlərə səbəb olur.
Xülasə, güclü axın ölçmə sensorlarına və real vaxt məlumatlarına əsaslanan sənaye kəsici maye axınının ölçülməsi, almaz məftil kəsmə dövründə yüksək məhsuldarlıqlı, səmərəli silikon lövhə istehsalı üçün təməl daşı rolunu oynayır.
Coriolis Kütlə Axın Ölçməsi: Prinsiplər və Tətbiq
Coriolis kütlə axınının ölçülməsi, mayenin titrəyən borulardan hərəkət etməsi nəticəsində yaranan qüvvənin aşkarlanmasına əsaslanır. Maye axdıqca - məsələn, almaz məftil kəsici maye və ya ixtisaslaşdırılmış silikon lövhə kəsici maye - borular kiçik, ölçülə bilən faza dəyişikliyi yaşayır. Bu dəyişiklik kütlə axını sürəti ilə mütənasibdir və çatdırılan kəsici mayenin kütləsinin birbaşa, real vaxt rejimində ölçülməsini təmin edir. Eyni prinsip, dəyişən maye növləri, tərkibləri və temperaturları arasında yüksək dəqiqliyi dəstəkləyərək maye sıxlığının eyni vaxtda ölçülməsinə imkan verir - bu da silikon lövhə istehsalında və almaz məftil kəsmə tətbiqlərində vacib bir tələbdir.
Bu yanaşmanın lövhə kəsmə mayesi növləri üçün, xüsusən də yüksək performanslı almaz məftil kəsmə mayelərindən istifadə edildikdə üstünlükləri əhəmiyyətlidir. Coriolis axınının ölçülməsi mayenin özlülüyü və tərkib dəyişikliklərindən asılı deyil və silikon lövhələr üçün kəsmə mayelərində tez-tez rast gəlinən aşındırıcı hissəciklərin, nano-əlavələrin və ya heterojen qarışıqların olması arasında yüksək dəqiqlik saxlayır. Bu möhkəmlik onu qabarcıqlar, asılı hissəciklər və qabaqcıl kəsmə mayelərinin dəyişən fiziki xüsusiyyətlərindən təsirlənə bilən ənənəvi həcm axın metodlarından üstün edir.
Yarımkeçirici lövhələrin kəsilməsi, silikon lövhələr üçün kəsici mayenin etibarlı monitorinqini təmin etmək üçün getdikcə daha qabaqcıl maye axını sensoru texnologiyasına əsaslanır. Koriolis effektindən istifadə edən Lonnmetr xətti kütlə axını sensorları birbaşa texnoloji xətlərdə tətbiq olunur. Bu, lövhələrin kəsilməsi zamanı nano-maye və almaz məftil kəsici mayenin dəqiq çatdırılmasına və monitorinqinə imkan verir. Mayenin parçalanması, qarışıq uyğunsuzluqları və ya sıxlıq dəyişiklikləri əlamətləri dərhal aşkar edilir və bu da prosesin məhsuldarlığını və səth keyfiyyətini qorumaq üçün dərhal nəzarət müdaxilələrinə imkan verir.
Coriolis kütlə axını sensorlarını digər kəsici maye monitorinq sensorları ilə - məsələn, istilik, elektromaqnit və ya ultrasəs axın sistemləri ilə müqayisə etmək bir neçə güclü tərəfi ortaya qoyur. Coriolis kütlə axını sensorları yüksək dəqiqlikli axın ölçməsində üstündür və özlülük dalğalanmalarından və ya maqnit xüsusiyyətlərindən təsirlənmədən kütlə əsaslı oxunuşlar verir. Elektromaqnit və ultrasəs sayğacları nanohissəciklər, hava cibləri və ya dəqiqə sıxlıq dəyişiklikləri olan kəsici maye qarışıqları ilə mübarizə aparır ki, bu da tez-tez etibarsız axın sürətinin ölçülməsinə və texniki xidmət tezliyinin artmasına səbəb olur.
Coriolis axın ölçən cihazının dəqiqliyi dəyişən maye tərkibi altında saxlanılır, çünki siqnal emalı və temperatur kompensasiyası sxemləri səs-küyü və ətraf mühit dəyişikliklərini səmərəli şəkildə süzgəcdən keçirir. Operatorlar müxtəlif lövhə kəsici maye növlərinin və nanofluid qarışıqlarının müxtəlif xüsusiyyətlərinə cavab olaraq soyutma, yağlama və hissəciklərin təmizlənməsini optimallaşdırmaq üçün real vaxt rejimində məlumatlardan istifadə edə bilərlər.
Coriolis kütlə axını ölçməsinin nanopartikulları olan ultra nazik məftil mişarlama və kəsmə mayelərinə uyğunlaşdırılması sənaye monitorinqində bir dəyişiklik olduğunu göstərir. Sensorlar hissəcik tərkibi və ya maye heterojenliyindən asılı olmayaraq, əsl kütlə axınını və sıxlığını etibarlı şəkildə ölçür və lövhə kəsmə üçün uyğunlaşdırılmış qapalı dövrə nəzarəti və avtomatlaşdırılmış maye idarəetməsini təmin edir. Bu yüksək dəqiqlikli axın ölçmə səviyyəsi, prosesin sabitliyini qorumaq, material itkisini azaltmaq və silikon lövhə istehsalı və almaz məftil kəsmə prosesləri zamanı səth bütövlüyünü təmin etmək üçün vacibdir.
Axın Ölçmə Məlumatlarının Proses Nəzarətinə İnteqrasiya Edilməsi
Coriolis kütlə axını sensorlarından istifadə edərək real vaxt rejimində axın ölçmələri, silikon lövhələrin almaz məftillə kəsilməsi zamanı kəsici mayenin idarə olunmasını dəyişdirmişdir. Lonnmeter tərəfindən istehsal edilənlər kimi, xətti sıxlıq və özlülük ölçənləri, maye xüsusiyyətlərinin və axın sürətinin dərhal monitorinqini təmin edir və dəqiq proses nəzarətini birbaşa dəstəkləyir.
Optimal axın sürətlərinin qorunması almaz məftil və silikon lövhələrin effektiv soyudulması, təmizlənməsi və yağlanması üçün vacibdir. Coriolis kütlə axın ölçənləri kütlə axını və maye xüsusiyyətləri barədə yüksək dəqiqlikli, real vaxt rejimində rəy təmin etməklə bu mühitdə üstündür. Bu məlumatlarla avtomatlaşdırılmış sistemlər lövhə kəsici mayenin tələb olunan həcmini və tərkibini dəqiq şəkildə çatdırmaq üçün nasos sürətlərini, klapan mövqelərini və ya təkrar emal sürətlərini tənzimləyə bilər. Məsələn, sürətli kəsmə dövrləri zamanı sensor məlumatları zibilin təmizlənməsini və soyudulmasını yaxşılaşdırmaq üçün mayenin çatdırılmasının artmasına səbəb ola bilər, daha yavaş dövrlər isə israfın qarşısını almaq üçün axının azaldılmasını tələb edə bilər.
Axın ölçmə sensorlarından gələn rəy, dəyişən maye şəraitinə cavab vermək üçün də vacibdir. Mayenin özlülüyü və ya sıxlığı temperatur dəyişiklikləri və ya çirklənmə səbəbindən dəyişdikcə, Lonnmeter-in daxili sayğacları bu dəyişiklikləri dərhal aşkar edir və bu da idarəetmə sistemlərinin axın sürətlərini tənzimləməklə və ya maye filtrasiyasını başlatmaqla kompensasiya etməsinə imkan verir. Bu dənəvər, məlumatlara əsaslanan yanaşma, optimal kəsmə performansı üçün mayenin dəqiq spesifikasiyalar daxilində qalmasını təmin edir.
Yüksək həcmli mühitlərdə, kəsici maye axınını real vaxt rejimində izləmək və idarə etmək qabiliyyəti, Asiya və Avropadakı qabaqcıl istehsal xətlərində göstərildiyi kimi, sabit qalınlığı dəstəkləyir və bahalı qüsurların baş verməsini azaldır. Qabaqcıl maye idarəetməsi həmçinin almaz məftilinin ömrünü uzadaraq proqnozlaşdırıcı texniki xidməti dəstəkləyir.
Sənaye əməliyyatları axınla idarə olunan kəsici maye sistemlərindən əhəmiyyətli dərəcədə faydalanır. Səmərəli maye idarəetməsi, hər lövhə üçün kifayət qədər mayenin istifadəsini təmin etməklə istehlak və utilizasiya xərclərini azaldır və davamlılığı və tənzimləmə uyğunluğunu dəstəkləyir. Maye tullantılarının azaldılması - sensor məlumatlarına əsaslanan davamlı rəy və tənzimləmə ilə təmin edilir - əməliyyat xərclərinin azalmasına və ətraf mühitə təsirin azalmasına səbəb olur.
Xülasə, Lonnmeter-in daxili həlləri ilə təmin edilən real vaxt axın ölçmə məlumatlarının inteqrasiyası yalnız lövhə keyfiyyətinin təmin edilməsi üçün təməl daşı deyil, həm də almaz məftil kəsmə prosesi üçün əməliyyat üstünlüyüdür. Bu, səth örtüyündə, mexaniki etibarlılıqda, istehsal məhsuldarlığında və xərc səmərəliliyində ölçülə bilən irəliləyişlər təmin edir.
Eksperimental Məlumatlar və Sənaye Rəhbərliyi
Son eksperimental tədqiqatlar silikon lövhələrin almaz məftillə kəsilməsi üçün maye çatdırılmasında ən yaxşı təcrübələri yenidən formalaşdırmışdır. Tədqiqatlar göstərir ki, xüsusilə qabaqcıl texnikalardan istifadə etməklə dəqiq idarə olunan kəsici maye təchizatı lövhənin daha aşağı adsorbsiyası və daha yaxşı səth keyfiyyəti ilə birbaşa əlaqəlidir.
Maye çatdırılmasında ultrasəs kapilyar effektinin tətbiqi oyun dəyişdiricisi kimi ortaya çıxdı. Ultrasəs dalğaları, kəsici mayeni ultra nazik kerflərə daha dərinə aparır - xüsusən də ənənəvi təchizat metodlarının tez-tez uğursuz olduğu 50 μm-dən dar bölgələrdə. Bu gücləndirilmiş infiltrasiya aşındırıcı hissəciklərin və zibillərin lövhə səthinə adsorbsiyasını əhəmiyyətli dərəcədə azaldır. Empirik sınaqlar göstərir ki, ultrasəs köməkli maye təchizatına məruz qalan lövhələr ölçülə bilən dərəcədə az səth qüsurları göstərir və beləliklə, sonrakı proseslərdə daha yüksək məhsuldarlıq və etibarlılıq göstərir.
Maye çatdırılmasını kəsməkdə həm ultrasəs gücləndirmə, həm də nano-maye texnologiyalarının faydalarını maksimum dərəcədə artırmaq üçün parametr optimallaşdırması vacibdir. Əsas parametrlərə aşağıdakılar daxildir:
- Plitə məsafəsi: Maye rezervuarı ilə kəsmə zonası arasındakı boşluq optimal maye qalxması üçün minimuma endirilməlidir.
- Ultrasonik çeviricinin mövqeyi və quraşdırma paralelliyi: Aydın şəkildə müəyyən edilmiş həndəsə vahid dalğa ötürülməsini və kapilyar təsirini təmin edir.
- Maye temperaturu: Nəzarət edilən isitmə mayenin hərəkətliliyini və kapilyar səmərəliliyini artırır.
- Ultrasəs tətbiqinin müddəti və tezliyi: Düzgün vaxtlama infiltrasiyanı maksimum dərəcədə artırarkən həddindən artıq istiləşmənin qarşısını alır.
- Maye növünün seçimi: Müxtəlif əsas mayelər və əlavələr ultrasəs stimullaşdırmasına unikal şəkildə cavab verir.
Nanomaye texnologiyası daha bir böyük irəliləyiş təqdim edir. SiO2 və SiC kimi nanopartikullarla hopdurulmuş kəsici mayelər istilik keçiriciliyinin və yağlamanın yaxşılaşdığını göstərir. Bu modifikasiya daha effektiv soyutma, daha yaxşı zibil təmizlənməsi və lövhə səthinin pürüzlülüyünün azalmasına gətirib çıxarır. Məlumatlar göstərir ki, qarışıq nanopartikul formulaları sinergetik inkişaflar təklif edir, əyilməni daha da azaldır və tək tipli və ya ənənəvi kəsici mayelərə nisbətən üstün lövhə morfologiyası yaradır.
Kəsici mayenin effektivliyini optimallaşdırmaq istəyən istehsalçılar aşağıdakı əməliyyat qaydalarını tətbiq edə bilərlər:
- Kəsici mayenin konsistensiyasını izləmək və idarə etmək üçün xətt içi sıxlıq ölçənlərindən və özlülük ölçənlərindən (məsələn, Lonnmeter-dən olanlar) istifadə edin, axın xüsusiyyətlərinin ultrasəs və nano-yardım üçün ideal qalmasını təmin edin.
- Yüksək dəqiqlikli axın ölçmə sensoru istifadə edərək kəsici mayenin axın sürətlərini izləyin və tənzimləyin. Coriolis kütlə axınının ölçülməsi, həm sıxlıq, həm də həcm üçün real vaxt dəqiqliyi təklif edərək, sənaye kəsici mayenin axınının ölçülməsi üçün xüsusilə faydalıdır.
- Etibarlı göstəriciləri qorumaq üçün axın ölçmə sensorlarını müntəzəm olaraq kalibrləyin, bu da lövhələrin ardıcıl emalı üçün vacibdir.
- Xüsusi lövhə ölçüsünə, almaz məftil xüsusiyyətlərinə və əməliyyat mühitinə uyğun lövhə kəsici maye növlərini və nanohissəcik konsentrasiyalarını seçin.
Müqayisəli tədqiqatlar təsdiqləyir ki, tək faktorlu parametr dəyişiklikləri - məsələn, naqil sürətinin artırılması və ya qidalanma sürətinin tənzimlənməsi - naqil aşınmasında, səth pürüzlülüyündə və ümumi qalınlıq dəyişikliyində (TTV) dəyişikliklərlə əlaqəlidir. Axın dəqiqliyinin və sürətli, həssas maye tədarükünün qorunması həm qüsurları minimuma endirmək, həm də naqil ömrünü uzatmaq üçün vacibdir.
Tez-tez verilən suallar
Silikon lövhə kəsici maye almaz məftil kəsmə performansını necə yaxşılaşdırır?
Silisium lövhə kəsici maye almaz məftil kəsməsində həm sürtkü, həm də soyuducu kimi xidmət edir. Onun əsas funksiyası sürtünməni azaltmaq və məftil-lövhə sərhədində yaranan istiliyi yaymaqdır. Aşağı sürtünmə və temperatur mikro çatları və səth cızıqlarını minimuma endirir ki, bu da lövhənin zədələnməsinə və ümumi məhsuldarlığın aşağı düşməsinə səbəb ola bilər. Maye həmçinin kəsmə sahəsindən zibilləri aparır və almaz məftilinin və lövhə səthini təmiz saxlayır. Bu hissəciklərin davamlı şəkildə çıxarılması daha hamar lövhə səthlərinə səbəb olur və ardıcıl, yüksək keyfiyyətli istehsalı dəstəkləyir. Məsələn, SiO₂ və SiC nanohissəcikləri ilə təkmilləşdirilmiş nano-kəsmə mayeləri, kerfə daha dərindən nüfuz edə bilər, səth pürüzlülüyünü və lövhə əyilməsini azaldır və yarımkeçirici istifadəsi üçün lövhə çıxışını daha da yaxşılaşdırır.
Kəsici maye axını ölçən cihaz nədir və lövhə mişarlamasında nə üçün vacibdir?
Kəsici maye axını ölçən cihaz mişar zonasına çatdırılan mayenin dəqiq miqdarını ölçür. Dəqiq axının qorunması adekvat yağlama, istilik yayılması və zibilin təmizlənməsi üçün vacibdir. Axın çox aşağı olarsa, naqil həddindən artıq ısınır və ya zibil yığır, bu da cızıqlara və sınıqlara səbəb olur. Həddindən artıq axın mayeni israf edə və təzyiq balanssızlığı yarada bilər ki, bu da lövhənin düzlüyünə və alətin ömrünə təsir göstərir. Lonnmeter tərəfindən istehsal olunan xətt içi sıxlıq ölçən cihazlar və özlülük ölçən cihazlar kimi kəsici maye axını ölçən cihazlar operatorlara təchizatı real vaxt rejimində izləməyə və tənzimləməyə kömək edir. Bu, prosesin optimal parametrlər daxilində qalmasını, lövhənin məhsuldarlığını maksimum dərəcədə artırmağı və alətin aşınmasını minimuma endirməyi təmin edir.
Coriolis kütlə axını ölçməsi silikon lövhə kəsici mayenin idarə olunmasına necə fayda verir?
Coriolis kütlə axınının ölçülməsi silikon lövhə istehsalında yüksək dəqiqlikli axın ölçmələri üçün əvəzsizdir. Ənənəvi axın ölçən cihazlardan fərqli olaraq, Coriolis sensorları mayenin özlülüyündən, sıxlığından və ya temperatur dəyişikliklərindən asılı olmayaraq kütlə axınını birbaşa ölçür. Bu xüsusiyyət, nanopartikülləri olanlar da daxil olmaqla, müxtəlif lövhə kəsici maye növlərinin dəqiq monitorinqini təmin edir. Nəticə, kəsici mayenin düzgün sürətlə ardıcıl şəkildə çatdırılması, proses dalğalanmalarına baxmayaraq sabit yağlama və soyutmanın qorunmasıdır. Bu üstünlüklər, dəqiq nəzarətin qüsurları azaltdığı və məhsuldarlığı optimallaşdırdığı tələbkar almaz məftil kəsmə tətbiqlərində lövhənin üstün keyfiyyətinə birbaşa töhfə verir.
Almaz məftil mişar tətbiqlərində axın sürətinin ölçülməsinə hansı amillər təsir edir?
Axın sürətinin dəqiq ölçülməsi bir neçə qarşılıqlı əlaqəli dəyişəndən asılıdır. Sensor seçimi əsasdır; məsələn, Coriolis kütlə axını sensorları, hətta özlü və ya hissəciklərlə dolu mayelər üçün də etibarlı məlumat verir. Maye tərkibi - məsələn, nanohissəciklərin olması - özlülüyü və sıxlığı dəyişdirə və sensorun kalibrləmə tələblərinə təsir göstərə bilər. Telin diametri və kəsmə sürəti də effektiv soyutma və zibilin təmizlənməsi üçün nə qədər mayenin lazım olduğuna təsir göstərir. Hər bir spesifik proses üçün kalibrləmə, sensorun həqiqi dəyərləri oxumasını təmin etmək və hər bir partiya üçün düzgün miqdarda kəsici mayenin istifadə olunmasını təmin etmək üçün vacibdir.
Nano-mayelər və ultrasəs üsulları silikon lövhə kəsmə zamanı mayenin nüfuz etməsini artıra bilərmi?
Tədqiqatlar göstərir ki, xüsusilə SiO₂ və SiC nanopartikulları olan nano-mayelər mayenin kritik tel-lövhə interfeysinə çatdırılmasının səmərəliliyini artırır. Bu hissəciklər mayenin mikroskopik boşluqlara çatmasına kömək edir və daha yaxşı soyutma və yağlama təmin edir. Bundan əlavə, ultrasəs kapilyar effekti üsulları, xüsusən də ultra nazik tel kəsmədə mayenin hərəkətini və nüfuzunu daha da artırır. Bu o deməkdir ki, optimal performansa nail olmaq üçün daha az kəsici maye tələb olunur və nəticələrə mayenin adsorbsiyasının azalması, səth morfologiyasının yaxşılaşdırılması və daha aşağı qüsur nisbətləri daxildir. Bu irəliləyişlər həm yarımkeçirici, həm də fotovoltaik sənayesində daha nazik, daha böyük diametrli lövhələrə doğru irəliləyişi dəstəkləyir, kəsici maye monitorinq sensorları prosesin hər istehsal dövrü ərzində nəzarətli və ardıcıl qalmasını təmin edir.
Yazı vaxtı: 25 Dekabr 2025
