التلميع الكيميائي الميكانيكي

تحديات في رصد خصائص الملاط

يُعدّ الحفاظ على كثافة ولزوجة ثابتة للمحلول في عملية التلميع الكيميائي الميكانيكي أمرًا بالغ الصعوبة. إذ تتفاوت خصائص المحلول نتيجة عوامل عديدة، منها النقل، والتخفيف بالماء أو بيروكسيد الهيدروجين، وعدم كفاية الخلط، أو التحلل الكيميائي. فعلى سبيل المثال، قد يؤدي ترسب الجزيئات في خزانات المحلول إلى زيادة الكثافة في القاع، مما ينتج عنه تلميع غير منتظم. غالبًا ما تكون طرق المراقبة التقليدية، مثل قياس الرقم الهيدروجيني (pH) وجهد الأكسدة والاختزال (ORP) والتوصيلية، غير كافية، لأنها لا تستطيع رصد التغيرات الطفيفة في تركيب المحلول. قد تُؤدي هذه القيود إلى ظهور عيوب، وانخفاض معدلات الإزالة، وزيادة تكاليف المواد المستهلكة، مما يُشكّل مخاطر كبيرة على مُصنّعي معدات أشباه الموصلات ومُقدّمي خدمات التلميع الكيميائي الميكانيكي. كما تُؤثر التغيرات في التركيب أثناء المناولة والتوزيع على الأداء. تتطلب العُقد التي تقل أبعادها عن 10 نانومتر تحكمًا أدق في نقاء المحلول ودقة الخلط. يُظهر الرقم الهيدروجيني وجهد الأكسدة والاختزال تباينًا طفيفًا، بينما تتغير التوصيلية مع مرور الوقت. ووفقًا لدراسات صناعية، يُمكن أن تُؤدي خصائص المحلول غير المتناسقة إلى زيادة معدلات العيوب بنسبة تصل إلى 20%.

أجهزة استشعار Lonnmeter المدمجة للمراقبة في الوقت الفعلي

تتصدى شركة لونميتر لهذه التحديات من خلال أجهزة قياس كثافة الملاط غير النووية المتطورة الخاصة بها ومجسات اللزوجةتتضمن هذه المجموعة مقياس لزوجة مدمج لقياس اللزوجة أثناء عملية التلميع الكيميائي الميكانيكي، ومقياس كثافة بالموجات فوق الصوتية لمراقبة كثافة ولزوجة المادة التلميعية في آنٍ واحد. صُممت هذه المستشعرات لتندمج بسلاسة في عمليات التلميع الكيميائي الميكانيكي، وتتميز بوصلات قياسية في هذا المجال. توفر حلول لونميتر موثوقية طويلة الأمد وصيانة منخفضة بفضل تصميمها المتين. تُمكّن البيانات الآنية المشغلين من ضبط مزيج المادة التلميعية بدقة، ومنع العيوب، وتحسين أداء التلميع، مما يجعل هذه الأدوات لا غنى عنها لموردي معدات التحليل والاختبار وموردي مواد التلميع الكيميائي الميكانيكي.

فوائد المراقبة المستمرة لتحسين عملية التلميع الكيميائي الميكانيكي

يُحدث نظام المراقبة المستمرة باستخدام مستشعرات Lonnmeter المدمجة نقلة نوعية في عملية التلميع الكيميائي الميكانيكي، إذ يوفر رؤى عملية ووفورات كبيرة في التكاليف. ويُسهم قياس كثافة المادة المُعالجة ومراقبة لزوجتها في الوقت الفعلي في تقليل العيوب، مثل الخدوش أو التلميع الزائد، بنسبة تصل إلى 20%، وفقًا لمعايير الصناعة. كما يُتيح التكامل مع نظام PLC إمكانية التحكم الآلي في الجرعات والعمليات، مما يضمن بقاء خصائص المادة المُعالجة ضمن النطاقات المثلى. ويؤدي ذلك إلى خفض تكاليف المواد الاستهلاكية بنسبة تتراوح بين 15 و25%، وتقليل وقت التوقف، وتحسين تجانس الرقاقات. وبالنسبة لمصانع أشباه الموصلات ومقدمي خدمات التلميع الكيميائي الميكانيكي، تُترجم هذه المزايا إلى زيادة الإنتاجية، ورفع هوامش الربح، والامتثال لمعايير مثل ISO 6976.