1. የላቀ አውድ ማጠናከርPማቅለጥ
በሴሚኮንዳክተር ውስጥ ሲኤምፒ ምንድን ነው?
ኬሚካል ሜካኒካል ፖሊሽንግ (CMP)፣ በሌላ አነጋገር ኬሚካል ሜካኒካል ፕላናሪዜሽን በመባል የሚታወቀው፣ በዘመናዊ ሴሚኮንዳክተር ማምረቻ ውስጥ በጣም በቴክኖሎጂ ፈታኝ እና በገንዘብ ረገድ ወሳኝ ከሆኑ የክፍል ስራዎች አንዱን ይወክላል። ይህ ልዩ አሰራር እንደ አስፈላጊ የሃይብሪድ ሂደት ሆኖ ይሰራል፣ የኬሚካል መቅረጽ እና ከፍተኛ ቁጥጥር የሚደረግበት አካላዊ መሸርሸርን በመጠቀም የዋፈር ቦታዎችን በጥንቃቄ ያለስላል። በማምረቻ ዑደት ውስጥ በስፋት ጥቅም ላይ የሚውለው CMP ለቀጣይ ንብርብሮች የሴሚኮንዳክተር ዋፈርዎችን ለማዘጋጀት አስፈላጊ ነው፣ ይህም በተራቀቁ የመሣሪያ አርክቴክቸሮች የሚያስፈልገውን ከፍተኛ ጥግግት ውህደት በቀጥታ ያስችላል።
በሴሚኮንዳክተር ሂደት ውስጥ ሲኤምፒ
*
ጥልቅ አስፈላጊነትየኬሚካል ሜካኒካል ፖሊሽንግበዘመናዊው ሊቶግራፊ አካላዊ መስፈርቶች ላይ የተመሠረተ ነው። የተቀናጀ የወረዳ ባህሪያት እየጠበቡ እና በርካታ ንብርብሮች በአቀባዊ ሲደራረቡ፣ ቁሳቁሱን በእኩልነት የማስወገድ እና በዓለም አቀፍ ደረጃ ጠፍጣፋ ወለል የመመስረት የሂደቱ አቅም በጣም ወሳኝ ይሆናል። ተለዋዋጭ የማጥራት ጭንቅላቱ በተለያዩ ዘንጎች ላይ እንዲሽከረከር ተደርጎ የተሰራ ሲሆን፣ በዋፈር ላይ መደበኛ ያልሆነ ጂኦግራፊን በጥንቃቄ ደረጃውን የጠበቀ ያደርገዋል። ለተሳካ የንድፍ ሽግግር፣ በተለይም እንደ እጅግ በጣም አልትራቫዮሌት (EUV) ሊቶግራፊ ባሉ ዘመናዊ ቴክኒኮች፣ አጠቃላይ የተቀነባበረው ወለል እጅግ በጣም ጠባብ በሆነ የመስክ ጥልቀት ውስጥ መውደቅ አለበት - ለዘመናዊ ንዑስ-22 nm ቴክኖሎጂዎች የአንግስትሮም ደረጃ ጠፍጣፋነትን የሚፈልግ የጂኦሜትሪክ ገደብ። የፕላናሪዚንግ ኃይል ከሌለውየሲኤምፒ ሴሚኮንዳክተር ሂደት, ቀጣይ የፎቶሊቶግራፊ ደረጃዎች የአሰላለፍ ውድቀቶችን፣ የንድፍ መዛባትን እና አስከፊ የምርት ጉዞዎችን ያስከትላሉ።
የCMP በስፋት ተቀባይነት ማግኘት የኢንዱስትሪው ከባህላዊ የአሉሚኒየም ኮንዳክተሮች ወደ ከፍተኛ አፈጻጸም ያላቸው የመዳብ ግንኙነቶች በመቀየሩ በእጅጉ ተገፋፍቷል። የመዳብ ሜታላይዜሽን የዳማሴኔ ቴክኒክን የሚጨምር የዲዛይን ሂደትን ይጠቀማል፣ ይህም በመሠረቱ በሲኤምፒ ላይ የተመሰረተው ከመጠን በላይ መዳብን በምርጫ እና በእኩልነት ለማስወገድ እና በብረት እና በኦክሳይድ መከላከያ ንብርብር መካከል ባለው ግንኙነት ላይ የማስወገድ እርምጃን በተከታታይ ለማስቆም ባለው ልዩ አቅም ላይ ነው። ይህ በጣም መራጭ የቁሳቁስ ማስወገጃ ሂደቱን የሚገልጸውን ስስ የኬሚካል እና የሜካኒካል ሚዛን ያጎላል፣ ይህም በፖሊሽ መካከለኛ ውስጥ ባሉ ጥቃቅን ቅልጥፍናዎች እንኳን ወዲያውኑ የሚጎዳ ሚዛን ነው።
የሲኤምፒ ተግባራት በሴሚኮንዳክተር ሂደት ውስጥ
እጅግ በጣም ዝቅተኛ የሆነ የመልክዓ ምድር ልዩነት አስገዳጅ መስፈርት የዳርቻ ግብ ሳይሆን አስተማማኝ የመሣሪያ አሠራርን ለማረጋገጥ፣ ትክክለኛ የጅረት ፍሰትን፣ የሙቀት መበታተንን እና በብዙ ንብርብር መዋቅሮች ውስጥ ተግባራዊ አሰላለፍን ለማረጋገጥ ቀጥተኛ ተግባራዊ ቅድመ ሁኔታ ነው። የሲኤምፒ ዋና ኃላፊነት የመልክዓ ምድር አስተዳደር ሲሆን ለቀጣይ ወሳኝ የማቀነባበሪያ ደረጃዎች ቅድመ ሁኔታውን ጠፍጣፋነት ያረጋግጣል።
የተወሰነው አተገባበር የቁሳቁሶችን እና ተዛማጅነት ያላቸውን ምርጫዎች ይወስናልየዝልግልግ ቀመር. የሲኤምፒ ሂደቶች የተለያዩ ቁሳቁሶችን ለማስተናገድ ተዘጋጅተዋል፣ ለምሳሌ ቱንግስተን፣ መዳብ፣ ሲሊከን ዳይኦክሳይድ (SiO2)2) እና ሲሊከን ናይትሬድ (SiN)። ስሉሪየሮች በተለያዩ አፕሊኬሽኖች ውስጥ ከፍተኛ የፕላናሪዜሽን ቅልጥፍናን እና ልዩ የቁሳቁስ ምርጫን በጥንቃቄ የተመቻቹ ናቸው፣ ይህም ጥልቀት የሌለው ትሬንች ማግለል (STI) እና ኢንተርሌየር ዳይኤሌክትሪክስ (ILD)ን ጨምሮ። ለምሳሌ፣ ከፍተኛ ተግባር ያለው የሴሪያ ስሉሪ በደረጃ ጠፍጣፋነት፣ ወጥነት እና ጉድለት ድግግሞሽ ቅነሳ ከፍተኛ አፈፃፀም ስላለው ለILD አፕሊኬሽኖች በተለይ ጥቅም ላይ ይውላል። የእነዚህ ስሉሪየሮች ከፍተኛ ልዩ ባህሪ በፖሊሽ ሚዲያ ፈሳሽ ተለዋዋጭነት ልዩነቶች የሚመነጨው የሂደት አለመረጋጋት ወዲያውኑ ለተመረጠው ቁሳቁስ ማስወገጃ መሰረታዊ መስፈርቶችን እንደሚጥስ ያረጋግጣል።
2. የሲኤምፒ ስሉሪ ጤና ወሳኝ ሚና
በሴሚኮንዳክተር ሂደት ውስጥ ሲኤምፒ
የተከታታይ ውጤታማነትየኬሚካል ሜካኒካል ፖሊሽንግ ሲኤምፒ ሂደትሙሉ በሙሉ የተመሰረተው በንጥረቱ ወጥነት ባለው አቅርቦት እና አፈጻጸም ላይ ሲሆን ይህም አስፈላጊውን የኬሚካል ግብረመልሶችን እና ሜካኒካል መሸርሸርን የሚያመቻች ወሳኝ መካከለኛ ሆኖ ያገለግላል። ይህ ውስብስብ ፈሳሽ፣ እንደ ኮሎይድ እገዳ የሚታወቀው፣ የኬሚካል ወኪሎችን (ኦክሳይድ ሰጪዎችን፣ አፋጣኝዎችን እና የዝገት መከላከያዎችን) እና ናኖ-መጠን ያላቸውን ጠራጊ ቅንጣቶችን ጨምሮ አስፈላጊዎቹን ክፍሎች ያለማቋረጥ እና በእኩል ወደ ተለዋዋጭ የዋፈር ወለል ማድረስ አለበት።
የስላሪ ቅንብር የተወሰነ የኬሚካል ምላሽን ለማስነሳት የተነደፈ ነው፡- ምርጡ ሂደት የሚወሰነው በዒላማው ቁሳቁስ ላይ የማይሟሟ፣ የማይሟሟ ኦክሳይድ ንብርብር በመፍጠር ላይ ሲሆን ከዚያም በሜካኒካል በሻካራ ቅንጣቶች ይወገዳል። ይህ ዘዴ ውጤታማ በሆነ ፕላናሪዜሽን ላይ አስፈላጊ የሆነውን ከፍተኛ የገጽታ ቶፖግራፊያዊ ምርጫ ይሰጣል፣ የማስወገጃ እርምጃውን በከፍተኛ ነጥቦች ወይም በፕሮቱዥኖች ላይ ያተኩራል። በተቃራኒው፣ የኬሚካል ምላሹ የሚሟሟ ኦክሳይድ ሁኔታን የሚያመነጭ ከሆነ፣ የቁሱ መወገድ ኢሶትሮፒክ ሲሆን በዚህም አስፈላጊውን የቶፖግራፊያዊ ምርጫን ያስወግዳል። የስላሪው አካላዊ ክፍሎች በተለምዶ ከ30 እስከ 200 nm የሚደርሱ ሻካራ ቅንጣቶችን (ለምሳሌ፣ ሲሊካ፣ ሴሪያ) ያካትታሉ፣ በ0.3 እና 12 የክብደት በመቶ ጠጣር መካከል ባለው ክምችት ላይ የተንጠለጠሉ።
ሲኤምፒ ስላሪ ሴሚኮንዳክተር
የጤንነት ሁኔታን መጠበቅሲኤምፒ የተለቆጠ ሴሚኮንዳክተርበአያያዝ ወይም በስርጭት ወቅት የሚደርስ ማንኛውም መበላሸት ከፍተኛ የገንዘብ ኪሳራ ሊያስከትል ስለሚችል በሕይወት ዘመኑ ሁሉ የማያቋርጥ ባህሪ እና ቁጥጥር ይጠይቃል። የመጨረሻው የተወለወለ ዋፈር ጥራት፣ በናኖስኬል ለስላሳነቱ እና በጉድለት ደረጃው የተገለጸው፣ በቀጥታ ከላዩ ቅንጣት መጠን ስርጭት (PSD) ትክክለኛነት እና ከአጠቃላይ መረጋጋት ጋር የተቆራኘ ነው።
የተለያዩ ልዩ ባህሪያትየሲኤምፒ የተለቆጠ ዓይነቶችናኖ-መጠን ያላቸው ቅንጣቶች በእገዳው ውስጥ ባሉ ስስ ተከላካይ ኤሌክትሮስታቲክ ኃይሎች ይረጋጋሉ ማለት ነው። присловор ...
ለሂደት ቁጥጥር፣ የ PSD እና የዜታ እምቅ ቀጥተኛ ትንተና (ኮሎይዳል መረጋጋት) ወሳኝ ቢሆኑም፣ እነዚህ ቴክኒኮች በተለምዶ ወደ የማያቋርጥ፣ ከመስመር ውጭ ትንተና ይወሰዳሉ። የኤችኤምኤም አካባቢ የአሠራር እውነታ በእውነተኛ ጊዜ፣ ፈጣን ግብረመልስ ያስገድዳል። በዚህም ምክንያት፣ ጥግግት እና viscosity ለስላሪ ጤና በጣም ውጤታማ እና ተግባራዊ ሊሆኑ የሚችሉ የውስጥ መስመር ተኪዎች ሆነው ያገለግላሉ። ጥግግት በመካከለኛው ውስጥ ያለውን አጠቃላይ የማጥፊያ ጠጣር ክምችት ፈጣን እና ቀጣይነት ያለው መለኪያ ይሰጣል። viscosity እኩል ወሳኝ ነው፣ የፈሳሹን ኮሎይዳል ሁኔታ እና የሙቀት ታማኝነት በጣም ስሜታዊ አመላካች ሆኖ ያገለግላል። ያልተረጋጋ viscosity ብዙውን ጊዜ የማጥፊያ ቅንጣትን ያመለክታልአግግሎሜሽንወይም እንደገና ማዋሃድ፣ በተለይም በተለዋዋጭ የመቁረጥ ሁኔታዎች ውስጥ። ስለዚህ፣ የእነዚህ ሁለት የሪኦሎጂካል መለኪያዎች ቀጣይነት ያለው ክትትል እና ቁጥጥር ዝቃጩ በፍጆታ ቦታ ላይ የተወሰነውን ኬሚካላዊ እና አካላዊ ሁኔታውን እንደሚጠብቅ ለማረጋገጥ የሚያስፈልገውን ፈጣን እና ተግባራዊ የግብረመልስ ዑደት ይሰጣሉ።
3. የሜካኒካል ውድቀት ትንተና፡ የጉድለቱ አሽከርካሪዎች
በሲኤምፒ ጥግግት እና viscosity መዋዠቅ ምክንያት የሚከሰቱ አሉታዊ ተጽእኖዎች
የሂደት ተለዋዋጭነት በከፍተኛ ፍጥነት ላይ ከፍተኛ ስጋትን የሚያስከትል ብቸኛው አስተዋፅዖ አበርካች እንደሆነ ይታወቃልሴሚኮንዳክተር ማምረቻ ውስጥ ሴሚኮንዳክተርየዝልግልግ ባህሪያት፣ በአጠቃላይ "የዝልግልግ ጤና" የሚባሉት፣ በፓምፕ መሸርሸር፣ የሙቀት መለዋወጥ እና አለመጣጣም በሚፈጠሩ ለውጦች በጣም የተጋለጡ ናቸው። ከዝልግልግ ፍሰት ስርዓት የሚመጡ ውድቀቶች ከሜካኒካል ችግሮች የተለዩ ናቸው፣ ነገር ግን ሁለቱም ወሳኝ የዝልግልግ ቆሻሻ ያስከትላሉ እና ብዙውን ጊዜ የሚታወቁት በጣም ዘግይተው በድህረ-ሂደት የመጨረሻ ነጥብ ስርዓቶች ብቻ ነው።
ከመጠን በላይ ትላልቅ ቅንጣቶች ወይም ውህዶች በሴሚኮንዳክተር ሴሚኮንዳክተርቁሱ በተወለወለ የዋፈር ወለል ላይ ጥቃቅን ጭረቶችን እና ሌሎች ገዳይ ጉድለቶችን ከመፍጠር ጋር በግልጽ የተቆራኘ ነው። በዋና ዋና የሪኦሎጂካል መለኪያዎች - viscosity እና density - ላይ የሚፈጠሩ መለዋወጥ የውፍረቱ ታማኝነት እንደተበላሸ የሚያሳዩ ቀጣይ እና መሪ አመልካቾች ናቸው፣ ይህም የጉድለት መፈጠር ዘዴን ያስጀምራል።
በስላሪ viscosity ውስጥ ያሉ መለዋወጥ (ለምሳሌ፣ ወደ አግግሎሜሽን የሚያመራ፣ የተቀየረ ሸር)
Viscosity በፖሊሽንግ በይነገጽ ላይ የፍሰት ባህሪን እና የግጭት ተለዋዋጭነትን የሚቆጣጠር የቴርሞዳይናሚክ ባህሪ ሲሆን ይህም ለአካባቢያዊ እና ለሜካኒካል ጭንቀቶች እጅግ በጣም ስሜታዊ ያደርገዋል።
የኬሚካል እና አካላዊ አፈፃፀምየተለቆጠ viscosity ሴሚኮንዳክተርስርዓቱ በሙቀት መቆጣጠሪያ ላይ በጣም ጥገኛ ነው። ጥናቶች እንደሚያሳዩት በሂደት ላይ ባለው የሙቀት መጠን ውስጥ መጠነኛ የ5°ሴ ለውጥ እንኳን የዝልፌት viscosity በግምት 10% ቅናሽ ሊያስከትል ይችላል። ይህ የሪዮሎጂ ለውጥ ዋፈርን ከፖሊሽ ፓድ የሚለየውን የሃይድሮዳይናሚክ ፊልም ውፍረት በቀጥታ ይነካል። የviscosity መቀነስ በቂ ያልሆነ ቅባት ያስከትላል፣ ይህም ከፍተኛ የሜካኒካል ግጭት ያስከትላል፣ ይህም ጥቃቅን ጭረቶች እና የተፋጠነ የፓድ ፍጆታ ዋና ምክንያት ነው።
ወሳኝ የሆነ የመበስበስ መንገድ በሸር-የሚመጣ የቅንጣት ክላስተርን ያካትታል። በሲሊካ ላይ የተመሰረቱ ዝቃጮች በቀላል ኤሌክትሮስታቲክ ሪፐልሽን ኃይሎች አማካኝነት የቅንጣት መለያየትን ይጠብቃሉ። ዝቃጩ ከፍተኛ የሸር ጭንቀቶችን ሲያጋጥመው - በተለምዶ ተገቢ ባልሆኑ ባህላዊ ሴንትሪፉጋል ፓምፖች ወይም በስርጭት ዑደት ውስጥ ሰፊ ሪከሉሽን የሚመነጩ - እነዚህ ኃይሎች ሊወገዱ ይችላሉ፣ ይህም ፈጣን እና የማይቀለበስ ያደርገዋል።አግግሎሜሽንየመጥረቢያ ቅንጣቶች። የተገኙት ትላልቅ ውህዶች እንደ ማይክሮ-ጉጂንግ መሳሪያዎች ሆነው ያገለግላሉ፣ በቀጥታ በዋፈር ወለል ላይ አስከፊ ጥቃቅን ጭረቶችን ይፈጥራሉ። እውነተኛ ጊዜ ቪስኮሜትሪ እነዚህን ክስተቶች ለመለየት አስፈላጊው የግብረመልስ ዘዴ ሲሆን፣ ትልቅ መጠን ያለው ጉድለት ከመፈጠሩ በፊት የፓምፕ እና የስርጭት ስርዓቱን "ገርነት" ወሳኝ ማረጋገጫ ይሰጣል።
የቪስኮሲዮን ልዩነት የፕላናሪዜሽን ውጤታማነትን በእጅጉ ይጎዳል። ቫይስኮሲዮን በማለስለስ ወቅት የግጭት ኮፊሸንት ላይ ተጽዕኖ የሚያሳድር ዋና ምክንያት ስለሆነ፣ ወጥ ያልሆነ የቪስኮሲዮን መገለጫ ወጥነት የሌለው የቁሳቁስ ማስወገጃ መጠን ያስከትላል። በተለይም በዋፈር ቶፖግራፊ በተጨመሩ ባህሪያት ላይ በሚከሰት ከፍተኛ የመሸርሸር መጠን ላይ የቪስኮሲዮን መጠን በአካባቢው መጨመር የግጭት ተለዋዋጭነትን ይለውጣል እና የፕላናሪዜሽን ግብን ያዳክማል፣ በመጨረሻም እንደ ዲሽንግ እና መሸርሸር ያሉ የመልክዓ ምድር ጉድለቶችን ያስከትላል።
በስላሪ ጥግግት ላይ የሚፈጠሩ መለዋወጥ
የዝልግልግ ጥግግት በፈሳሽ ውስጥ የተንጠለጠሉ የሻካራ ጠጣሮች አጠቃላይ ክምችት ፈጣን እና አስተማማኝ አመላካች ነው። የጥግግት መለዋወጥ ተመሳሳይ ያልሆነ የዝልግልግ አቅርቦትን ያሳያል፣ ይህም በተፈጥሮው በቁሳቁስ ማስወገጃ ፍጥነት (MRR) እና በጉድለት መፈጠር ላይ ከሚደረጉ ለውጦች ጋር የተቆራኘ ነው።
የአሠራር አካባቢዎች የተዝረከረከ ስብጥር ተለዋዋጭ ማረጋገጫ ያስፈልጋቸዋል። የጥሬ እቃው ጥግግት ብዙውን ጊዜ ስለሚለያይ፣ በመሳሪያው ራስ ላይ ወጥነት የሌለው የሂደት ውጤት ስለሚያስከትል፣ የተወሰኑ የውሃ እና የኦክሲዴራይተር መጠኖችን ወደ መጪው ክምችት ላይ ብቻ መተማመን በቂ አይደለም። በተጨማሪም፣ የፍሰት ፍጥነት ወይም የኮሎይዳል መረጋጋት በቂ ካልሆነ፣ የማጥፊያ ቅንጣቶች፣ በተለይም ከፍተኛ የሴሪያ ቅንጣቶች፣ ለደለል የተጋለጡ ናቸው። ይህ ሰፈር በፍሰት መስመሮቹ ውስጥ የተተረጎሙ የጥግግት ቅልጥፍናዎችን እና የቁሳቁስ ውህደትን ይፈጥራል፣ ይህም ወጥ የሆነ የማጥፊያ ጭነት የማድረስ ችሎታን በእጅጉ ያዳክማል።
How DአካልDማፈግፈጎችAffወዘተ ManኡፋክቱርኢንጂንግProcess?.
ያልተረጋጋ የዝልግልግ ጥግግት ቀጥተኛ ውጤቶች በተወለወለ ወለል ላይ እንደ ወሳኝ አካላዊ ጉድለቶች ይታያሉ።
ወጥ ያልሆኑ የማስወገጃ መጠኖች (WIWNU):የጥግግት ልዩነቶች በቀጥታ በፖሊሽንግ በይነገጽ ላይ በሚቀርቡት ንቁ የማጥፊያ ቅንጣቶች ክምችት ላይ ልዩነቶችን ይተረጉማሉ። ከተወሰነው በታች የሆነ ጥግግት የመጥፊያ ክምችት መቀነስን ያመለክታል፣ ይህም የMRR መቀነስን ያስከትላል እና ተቀባይነት የሌለው የውስጥ-ዋፈር አለመጣጣም (WIWNU) ይፈጥራል። WIWNU መሰረታዊውን የፕላናሪዜሽን መስፈርት ያዳክማል። በተቃራኒው፣ አካባቢያዊ ከፍተኛ ጥግግት ውጤታማ የሆነ የቅንጣት ጭነትን ይጨምራል፣ ይህም ከመጠን በላይ የቁስ ማስወገጃን ያስከትላል። ጥግግት ላይ ጥብቅ ቁጥጥር ወጥ የሆነ የማጥፊያ አቅርቦትን ያረጋግጣል፣ ይህም ከተረጋጋ የግጭት ኃይሎች እና ከሚገመተው MRR ጋር በጥብቅ ይጣጣማል።
በአካባቢው በሚታዩ ሻካራ ለውጦች ምክንያት የሚፈጠር ቧጨራ፡ከፍተኛ የአካባቢ ሻካራ ጠጣሮች ክምችት፣ ብዙውን ጊዜ በመቀመጥ ወይም በቂ ባልሆነ ውህደት ምክንያት፣ በዋፈር ወለል ላይ በአንድ ቅንጣት ላይ ከፍተኛ ጭነት ያስከትላል። ሻካራ ቅንጣቶች፣ በተለይም ሴሪያ፣ ከኦክሳይድ መስታወት ንብርብር ጋር በጥብቅ ሲጣበቁ እና የገጽታ ጭንቀቶች ሲኖሩ፣ ሜካኒካል ጭነቱ የመስታወቱን ንብርብር እንዲሰበር ሊያደርግ ይችላል፣ ይህም ጥልቅ እና ስለታም ጠርዝ ያስከትላል።ፒቲንግጉድለቶች። እነዚህ የማጥፊያ ልዩነቶች በተበላሸ ማጣሪያ ምክንያት ሊከሰቱ ይችላሉ፣ ይህም ከመጠን በላይ የሆኑ ውህዶች (ከ$0.5 በላይ የሆኑ ቅንጣቶች) እንዲያልፉ ያስችላቸዋል፣ ይህም በደካማ የቅንጣት እገዳ ምክንያት ነው። የክትትል ጥግግት ለቅንጣት ቆጣሪዎች ወሳኝ፣ ተጓዳኝ የማስጠንቀቂያ ስርዓት ይሰጣል፣ ይህም የሂደት መሐንዲሶች የማጥፊያ ክላስተር ጅምርን እንዲያውቁ እና የማጥፊያ ጭነቱን እንዲያረጋጉ ያስችላቸዋል።
ከደካማ የቅንጣት እገዳ የተረፈ ቅርስ መፈጠር፡እገዳው ያልተረጋጋ ሲሆን፣ ይህም ከፍተኛ የጥግግት ቅልጥፍናን ያስከትላል፣ ጠንካራ ቁሳቁስ በፍሰት አርክቴክቸር ውስጥ የመከማቸት አዝማሚያ ይኖረዋል፣ ይህም በስርጭት ስርዓቱ ውስጥ ወደ ጥግግት ሞገዶች እና የቁሳቁስ ውህደት ይመራል።17በተጨማሪም፣ በማጥራት ወቅት፣ ዝቃጩ የኬሚካል ምላሽ ውጤቶችን እና የሜካኒካል አለባበስ ፍርስራሾችን በብቃት መውሰድ አለበት። የቅንጣቱ እገዳ ወይም የፈሳሽ ተለዋዋጭነት በአለመረጋጋት ምክንያት ደካማ ከሆነ፣ እነዚህ ቅሪቶች ከዋፈር ወለል በብቃት አይወገዱም፣ ይህም የድህረ-CMP ቅንጣት እና ኬሚካል ውጤት ያስከትላል።ቅሪትጉድለቶች። ንፁህ እና ቀጣይነት ያለው የቁሳቁስ ማስወገጃ ለማድረግ ቀጣይነት ያለው የንጥረ ነገር እገዳ፣ በተከታታይ የሩዮሎጂ ክትትል የተረጋገጠ ነው።
ስለ ተጨማሪ የጥግነት መለኪያዎች ይወቁ
ተጨማሪ የመስመር ላይ የሂደት መለኪያዎች
4. የውስጠ-መስመር ሜትሮሎጂ ቴክኒካል የበላይነት
ሎንሜትር ኢንላይን ዴንሲቶሜትሮች እና ቪስኮሜትሮች
ተለዋዋጭ የሆነውን የCMP ሂደት በተሳካ ሁኔታ ለማረጋጋት፣ የተዝረከረከ የጤና መለኪያዎችን ቀጣይነት ያለው እና ወራሪ ያልሆነ መለኪያ አስፈላጊ ነው።ሎንሜትር ኢንላይን ዴንሲቶሜትሮች እና ቪስኮሜትሮችከባህላዊ፣ መዘግየት-ለሚጋለጡ የሜትሮሎጂ መሳሪያዎች ጋር ሲነጻጸር ከፍተኛ አፈጻጸምን የሚያቀርብ ከፍተኛ የሬዞናንት ሴንሰር ቴክኖሎጂን ይጠቀሙ። ይህ ችሎታ በቀጥታ ወደ ፍሰት መንገድ የተዋሃደ እንከን የለሽ እና ቀጣይነት ያለው የጥግግት ክትትልን ያስችላል፣ ይህም የዘመናዊ ንዑስ-28nm ሂደት ኖዶች ጥብቅ ንፅህና እና የተቀላቀለ ትክክለኛነት ደረጃዎችን ለማሟላት ወሳኝ ነው።
ዋና የቴክኖሎጂ መርሆዎቻቸውን፣ የመለኪያ ትክክለኛነትን፣ የምላሽ ፍጥነትን፣ መረጋጋትን፣ አስተማማኝነትን በጠንካራ የCMP አካባቢዎች በዝርዝር ይግለጹ እና ከባህላዊ የመስመር ውጪ ዘዴዎች ይለያቸዋል።
ውጤታማ የሂደት አውቶሜሽን ከፍተኛ ፍሰት፣ ከፍተኛ ግፊት እና ሻካራ የኬሚካል መጋለጥ ባሉ ተለዋዋጭ ሁኔታዎች ውስጥ በአስተማማኝ ሁኔታ እንዲሰሩ የተነደፉ ዳሳሾችን ይፈልጋል፣ ይህም ለቁጥጥር ስርዓቶች ፈጣን ግብረመልስ ይሰጣል።
ዋና የቴክኖሎጂ መርሆዎች፡ የሬዞናተር ጥቅም
የሎንሜትር መሳሪያዎች ባህላዊ፣ ጠባብ-ቦረቦረ የዩ-ቱቦ ዴንሲቶሜትሮች ውስጣዊ ተጋላጭነቶችን ለመቀነስ በተለይ የተነደፉ ጠንካራ የድምፅ ማጉያ ቴክኖሎጂዎችን ይጠቀማሉ፣ እነዚህም በአጥፊ ኮሎይዳል እገዳዎች ውስጥ ለመጠቀም በጣም ችግር ያለባቸው ናቸው።
የጥግግት መለኪያ፡የየዝልግልግ ጥግግት መለኪያሙሉ በሙሉ የተገጣጠመ የሚንቀጠቀጥ ኤለመንት፣ በተለይም የሹካ ስብሰባ ወይም ኮ-አክሲያል ሬዞናተር ይጠቀማል። ይህ ኤለመንት በኤሌክትሪክ የሚንቀሳቀስ ሲሆን በባህሪው ተፈጥሯዊ ድግግሞሽ እንዲወዛወዝ ይነሳሳል። በዙሪያው ባለው ፈሳሽ ጥግግት ላይ የሚደረጉ ለውጦች በዚህ ተፈጥሯዊ ድግግሞሽ ላይ ትክክለኛ ለውጥ ያስከትላሉ፣ ይህም ቀጥተኛ እና እጅግ አስተማማኝ የሆነ የጥግግት ውሳኔ እንዲኖር ያስችላል።
የቪስኮስነት መለኪያ፡የበሂደት ላይ ያለ የስላሪ ቪስኮሜትርበፈሳሹ ውስጥ የሚንቀጠቀጥ ዘላቂ ዳሳሽ ይጠቀማል። ዲዛይኑ የviscosity መለኪያው ከጅምላ ፈሳሽ ፍሰት ውጤቶች ተለይቶ እንዲቆይ ያረጋግጣል፣ ይህም የቁሳቁሱን rheology ውስጣዊ መለኪያ ይሰጣል።
የአሠራር አፈጻጸም እና የመቋቋም ችሎታ
የመስመር ውስጥ ሬዞናንት ሜትሮሎጂ ለጠንካራ የኤችቪኤም ቁጥጥር አስፈላጊ የሆኑ ወሳኝ የአፈጻጸም መለኪያዎችን ያቀርባል፡
ትክክለኛነት እና የምላሽ ፍጥነት፡የመስመር ውስጥ ስርዓቶች ከፍተኛ ተደጋጋሚነትን ይሰጣሉ፣ ብዙውን ጊዜ ለ viscosity እና ለ density ትክክለኛነት ከ 0.1% በላይ እስከ 0.001 ግ/cc ድረስ ያደርሳሉ። ለጠንካራ የሂደት ቁጥጥር፣ ይህ ከፍተኛትክክለኛነት—ተመሳሳይ እሴትን በተከታታይ የመለካት እና ትናንሽ ልዩነቶችን በአስተማማኝ ሁኔታ የመለየት ችሎታ—ብዙውን ጊዜ ከኅዳግ ፍጹም ትክክለኛነት የበለጠ ዋጋ ያለው ነው። በወሳኝ ሁኔታ፣ ምልክቱየምላሽ ጊዜለእነዚህ ዳሳሾች እጅግ በጣም ፈጣን ነው፣ በተለምዶ 5 ሰከንዶች አካባቢ። ይህ ፈጣን ግብረመልስ ወዲያውኑ የስህተት መለየት እና በራስ-ሰር የዝግ-ሉፕ ማስተካከያዎችን ያስችላል፣ ይህም ለጉዞ መከላከል ዋና መስፈርት ነው።
በአስቸጋሪ አካባቢዎች መረጋጋት እና አስተማማኝነት፡የሲኤምፒ ውህደቶች በተፈጥሯቸው ኃይለኛ ናቸው። ዘመናዊ የውስጥ መስመር መሳሪያዎች የተገነባው ለጠንካራ የመቋቋም ችሎታ ሲሆን በቀጥታ ወደ ቧንቧዎች ውስጥ ለመጫን የተወሰኑ ቁሳቁሶችን እና ውቅሮችን በመጠቀም ነው። እነዚህ ዳሳሾች በተለያዩ የግፊት ክልሎች (ለምሳሌ እስከ 6.4 MPa) እና የሙቀት መጠኖች (እስከ 350 ℃) ላይ እንዲሰሩ የተነደፉ ናቸው። የዩ-ቱቦ ያልሆነው ዲዛይን ከሻካራ ሚዲያ ጋር የተያያዙ የሞቱ ዞኖችን እና የመዝጋት አደጋዎችን ይቀንሳል፣ ይህም የዳሳሽ የስራ ጊዜን እና የአሠራር አስተማማኝነትን ከፍ ያደርገዋል።
ከባህላዊ የመስመር ውጪ ዘዴዎች መለየት
በራስ-ሰር የመስመር ውስጥ ስርዓቶች እና በእጅ ከመስመር ውጭ ዘዴዎች መካከል ያለው የተግባር ልዩነት በምላሽ ጉድለት ቁጥጥር እና በፕሮጀክት ሂደት ማመቻቸት መካከል ያለውን ክፍተት ይገልፃል።
| የክትትል መስፈርት | ከመስመር ውጭ (የላብራቶሪ ናሙና/የዩ-ቱቦ ዴንሲቶሜትር) | ኢንላይን (ሎንሜትር ዴንሲቶሜትር/ቪስኮሜትር) | የሂደት ተጽዕኖ |
| የመለኪያ ፍጥነት | ዘግይቷል (ሰዓታት) | በእውነተኛ ጊዜ, ቀጣይ (የምላሽ ጊዜ ብዙውን ጊዜ 5 ሰከንዶች) | የመከላከያ፣ የተዘጋ-ዑደት ሂደት ቁጥጥርን ያነቃል። |
| የውሂብ ወጥነት/ትክክለኛነት | ዝቅተኛ (ለእጅ ስህተት፣ የናሙና ውድቀት ተጋላጭ) | ከፍተኛ (በራስ-ሰር፣ ከፍተኛ ተደጋጋሚነት/ትክክለኛነት) | የሂደት ቁጥጥር ገደቦችን እና የተሳሳቱ አወንታዊዎችን መቀነስ። |
| ሻካራ ተኳሃኝነት | ከፍተኛ የመዘጋት አደጋ (ጠባብ የዩ-ቱቦ ቦረቦራ ዲዛይን) | ዝቅተኛ የመዘጋት አደጋ (ጠንካራ፣ የዩ-ቱቦ ያልሆነ ሬዞናተር ዲዛይን) | በአሻሚ ሚዲያ ውስጥ ከፍተኛ የዳሳሽ የስራ ጊዜ እና አስተማማኝነት። |
| የስህተት መለየት ችሎታ | ምላሽ ሰጪ (ከሰዓታት በፊት የተከሰቱ ጉዞዎችን ያገኛል) | ፕሮአክቲቭ (ተለዋዋጭ ለውጦችን ይቆጣጠራል፣ ጉዞዎችን ቀደም ብሎ ይለያል) | አስከፊ የሆኑ የዋፈር ቆሻሻዎችን እና የምርት ጉዞዎችን ይከላከላል። |
ሠንጠረዥ 3፡ የንጽጽር ትንተና፡- በመስመር ውስጥ እና ባህላዊ የዝልግልግ ሜትሮሎጂ
ባህላዊ የመስመር ውጪ ትንተና የናሙና ማውጣት እና የመጓጓዣ ሂደትን ይጠይቃል፣ ይህም በተፈጥሮው በሜትሮሎጂ ዑደት ውስጥ ጉልህ የሆነ የጊዜ መዘግየትን ያስተዋውቃል። ይህ መዘግየት፣ ለሰዓታት ሊቆይ የሚችል፣ አንድ ጉዞ በመጨረሻ ሲታወቅ፣ ከፍተኛ መጠን ያለው ዋፈር አስቀድሞ መበላሸቱን ያረጋግጣል። በተጨማሪም፣ በእጅ የሚደረግ አያያዝ ተለዋዋጭነትን ያመጣል እና የናሙና መበላሸትን ያስከትላል፣ በተለይም ከናሙና በኋላ ባለው የሙቀት ለውጥ ምክንያት፣ ይህም የviscosity ንባቦችን ሊያዛባ ይችላል።
የመስመር ውስጥ ሜትሮሎጂ ይህንን የሚያዳክም መዘግየትን ያስወግዳል፣ በቀጥታ ከስርጭት መስመሩ ቀጣይነት ያለው የውሂብ ፍሰት ይሰጣል። ይህ ፍጥነት ለስህተት መለየት መሠረታዊ ነው፤ ለሻካራ ቁሶች አስፈላጊ ከሆነው ጠንካራ፣ የማይዘጋ ዲዛይን ጋር ሲጣመር፣ መላውን የስርጭት ስርዓት ለማረጋጋት አስተማማኝ የውሂብ ምግብ ይሰጣል። የCMP ውስብስብነት በርካታ መለኪያዎችን (እንደ ሪፍራክቲቭ ኢንዴክስ ወይም ፒኤች ያሉ) መከታተልን ቢያዝም፣ ጥግግት እና viscosity በሻካራ እገዳ መሰረታዊ አካላዊ መረጋጋት ላይ በጣም ቀጥተኛ፣ እውነተኛ ጊዜ ግብረመልስ ይሰጣሉ፣ ይህም ብዙውን ጊዜ በኬሚካል ማቋረጫ ምክንያት እንደ ፒኤች ወይም ኦክሲዴሽን-ሪዘርቭ ፖቴንት (ORP) ባሉ መለኪያዎች ላይ ለሚደረጉ ለውጦች ስሜታዊ አይደለም።
5. ኢኮኖሚያዊ እና ኦፕሬሽን ግዴታዎች
የእውነተኛ ጊዜ ጥግግት እና viscosity ክትትል ጥቅሞች
ለማንኛውም የላቀ የማምረቻ መስመር የሚሆንበት ቦታበሴሚኮንዳክተር ሂደት ውስጥ ሲኤምፒጥቅም ላይ ሲውል፣ ስኬት የሚለካው በተከታታይ የምርት ማሻሻያ፣ ከፍተኛ የሂደት መረጋጋት እና ጥብቅ የወጪ አስተዳደር ነው። የእውነተኛ ጊዜ የሪዮሎጂ ክትትል እነዚህን የንግድ ግዴታዎች ለማሳካት የሚያስፈልገውን አስፈላጊ የውሂብ መሠረተ ልማት ይሰጣል።
የሂደቱን መረጋጋት ያሻሽላል
ቀጣይነት ያለው፣ ከፍተኛ ትክክለኛነት ያለው የዝልግልግ ክትትል ለአጠቃቀም ነጥብ (POU) የሚቀርቡት ወሳኝ የዝልግልግ መለኪያዎች፣ ምንም እንኳን የላይኛው የሂደት ጫጫታ ቢኖርም፣ እጅግ በጣም ጥብቅ በሆኑ የቁጥጥር ገደቦች ውስጥ እንደሚቆዩ ያረጋግጣል። ለምሳሌ፣ በሚመጡት ጥሬ የዝልግልግ ስብስቦች ውስጥ ባለው የጥግግት ልዩነት ምክንያት፣ የምግብ አዘገጃጀት መመሪያን መከተል ብቻ በቂ አይደለም። በእውነተኛ ጊዜ በብሌንደር ማጠራቀሚያ ውስጥ ጥግግትን በመከታተል፣ የቁጥጥር ስርዓቱ የመሟሟት ጥምርታዎችን በተለዋዋጭነት ማስተካከል ይችላል፣ ይህም በማደባለቅ ሂደቱ ውስጥ ትክክለኛ የዒላማ ክምችት መያዙን ያረጋግጣል። ይህ ከተጣጣሙ ጥሬ ዕቃዎች የሚመነጨውን የሂደት ተለዋዋጭነት በእጅጉ ይቀንሳል፣ ይህም በጣም ሊገመት የሚችል የፖሊሽ አፈጻጸምን ያስከትላል እና ውድ የሆኑ የሂደት ጉዞዎችን ድግግሞሽ እና መጠን በከፍተኛ ሁኔታ ይቀንሳል።
ምርትን ይጨምራል
በተረጋጋ የዝቃጭ ሁኔታዎች ምክንያት የሚከሰቱ ሜካኒካል እና ኬሚካላዊ ጉዳቶችን በቀጥታ መፍታት በጣም ውጤታማው መንገድ ነውየሲኤምፒ ሴሚኮንዳክተር ማምረቻየምርት መጠን። የሚገመቱ፣ በእውነተኛ ጊዜ የሚደረጉ የክትትል ስርዓቶች ከፍተኛ ዋጋ ያላቸውን ምርቶች በንቃት ይጠብቃሉ። እንደዚህ አይነት ስርዓቶችን ተግባራዊ ያደረጉ ፋብሎች ከፍተኛ ስኬት አስመዝግበዋል፣ ይህም እስከ 25% የሚደርስ የጉድለት ማምለጫዎችን መቀነስ ሪፖርቶችን ጨምሮ። ይህ የመከላከያ አቅም የአሠራር ፓራዲየም የማይቀሩ ጉድለቶችን ከመቋቋም ወደ መፈጠር በንቃት ከመከላከል ወደ ኋላ ይለውጠዋል፣ በዚህም በሚሊዮን የሚቆጠር ዶላር ዋጋ ያላቸውን ዋፈርዎች ከማይክሮ ጭረቶች እና ባልተረጋጉ የቅንጣት ህዝቦች ከሚመጡ ሌሎች ጉዳቶች ይጠብቃል። እንደ ድንገተኛ የviscosity ጠብታዎች ያሉ ተለዋዋጭ ለውጦችን የመከታተል ችሎታ የሙቀት ወይም የሸር ጭንቀት ምልክት ማድረጊያ መቀነስ፣ እነዚህ ምክንያቶች ጉድለቶችን በበርካታ ዋፈርዎች ላይ ከማሰራጨታቸው በፊት ጣልቃ ገብነትን ያስችላል።
የመልሶ ሥራን ይቀንሳል
ምርቱእንደገና መስራትበስህተት ወይም ጉድለቶች ምክንያት እንደገና ማቀነባበር የሚፈልግ የተመረተ ምርት መቶኛ ተብሎ የሚገለጸው መጠን አጠቃላይ የማኑፋክቸሪንግ ብቃት ማነስን የሚለካ ወሳኝ KPI ነው። ከፍተኛ የመልሶ ማልማት መጠኖች ጠቃሚ የሰው ኃይል፣ የቆሻሻ ቁሳቁሶችን የሚወስዱ ሲሆን ከፍተኛ መዘግየቶችን ያስከትላሉ። እንደ ዲሽንግ፣ ወጥ ያልሆነ ማስወገድ እና መቧጨር ያሉ ጉድለቶች የሪኦሎጂካል አለመረጋጋት ቀጥተኛ ውጤቶች ስለሆኑ፣ በተከታታይ ጥግግት እና viscosity ቁጥጥር አማካኝነት የተዝረከረከውን ፍሰት ማረጋጋት የእነዚህን ወሳኝ ስህተቶች ጅምር በእጅጉ ይቀንሳል። የሂደቱን መረጋጋት በማረጋገጥ፣ ጥገና ወይም እንደገና ማጥራት የሚያስፈልጋቸው ጉድለቶች መከሰት ይቀንሳል፣ ይህም የተሻሻለ የአሠራር ቅልጥፍና እና አጠቃላይ የቡድን ቅልጥፍናን ያስከትላል።
የአሠራር ወጪዎችን ያመቻቻል
የሲኤምፒ ዱቄቶች በማምረቻ አካባቢ ውስጥ ከፍተኛ የፍጆታ ወጪን ይወክላሉ። የሂደቱ እርግጠኛ አለመሆን ሰፊ፣ ወግ አጥባቂ የደህንነት ህዳጎችን በማደባለቅ እና ፍጆታ ውስጥ መጠቀምን ሲገድብ፣ ውጤቱ ውጤታማ ያልሆነ አጠቃቀም እና ከፍተኛ የአሠራር ወጪዎች ይሆናል። የእውነተኛ ጊዜ ክትትል ቀጭን፣ ትክክለኛ የዱቄት አስተዳደርን ያስችላል። ለምሳሌ፣ ቀጣይነት ያለው ቁጥጥር ትክክለኛ የማደባለቅ ጥምርታዎችን ያስችላል፣ የማቅለጫ ውሃ አጠቃቀምን ይቀንሳል እና ውድ መሆኑን ያረጋግጣል።የሲኤምፒ የተለቆጠ ቅንብርበተመቻቸ ሁኔታ ጥቅም ላይ ይውላል፣ ይህም የቁሳቁስ ብክነትን እና የአሠራር ወጪን ይቀንሳል። በተጨማሪም፣ በእውነተኛ ጊዜ የሚደረግ የሪዮሎጂካል ምርመራ እንደ ፓድ መልበስ ወይም የፓምፕ ውድቀት ያሉ የመሳሪያ ችግሮች ቅድመ ማስጠንቀቂያ ምልክቶችን ሊያቀርብ ይችላል - ይህም ብልሽቱ ወሳኝ የሆነ የዝቃጭ ጉዞ እና ቀጣይ የሥራ ማቆም ጊዜ ከመከሰቱ በፊት በሁኔታ ላይ የተመሠረተ ጥገና እንዲኖር ያስችላል።
ዘላቂ የሆነ ከፍተኛ ምርት ማምረት በሁሉም ወሳኝ የዩኒት ሂደቶች ውስጥ ተለዋዋጭነትን ማስወገድን ይጠይቃል። የሎንሜትር ሬዞናንት ቴክኖሎጂ የዝልግልግ አቅርቦት መሠረተ ልማትን አደጋ ላይ ለመጣል አስፈላጊውን ጥንካሬ፣ ፍጥነት እና ትክክለኛነት ይሰጣል። የእውነተኛ ጊዜ ጥግግት እና የviscosity መረጃን በማዋሃድ፣ የሂደት መሐንዲሶች ቀጣይነት ያለው፣ ተግባራዊ የሆነ የማሰብ ችሎታ የተገጠመላቸው ሲሆን፣ ሊገመት የሚችል የማጥራት አፈጻጸምን ያረጋግጣሉ እና ከኮሎይድ አለመረጋጋት የሚከላከል የዋፈር ምርትን ይጠብቃሉ።
ከሪአክቲቭ ኢመርሽን አስተዳደር ወደ ፕሮፓጋንዳዊ የሂደት ቁጥጥር ሽግግርን ለመጀመር፡
ከፍተኛ አድርግየስራ ሰዓት እናአሳንስእንደገና መስራት፡አውርድየቴክኒክ ዝርዝሮቻችን እናጀምርዛሬ RFQ።
ከፍተኛ የሂደት እና የውጤት መሐንዲሶችን እንጋብዛለንአስገባዝርዝር የሆነ የRFQ። የቴክኒክ ባለሙያዎቻችን ትክክለኛ የሆነ የአጠቃቀም ፍኖተ ካርታ ያዘጋጃሉ፣ ይህም ከፍተኛ ትክክለኛነት ያለው የሎንሜትር ቴክኖሎጂን ከጭቃ ስርጭት መሠረተ ልማትዎ ጋር በማዋሃድ የጉድለት ጥግግት እና የጭቃ ፍጆታን ለመቀነስ የታቀደውን መጠን ይለካል።እውቂያየሂደት አውቶሜሽን ቡድናችን አሁንደህንነቱ የተጠበቀየእርስዎ የትርፍ ጥቅም።ዲስከቨርበጣም ወሳኝ የሆነውን የፕላናሪዜሽን ደረጃዎን ለማረጋጋት የሚያስፈልገው አስፈላጊ ትክክለኛነት።
