በኬሚካል ሜካኒካል ፕላናሪዜሽን ውስጥ የስላሪ ጥግግት መለኪያ

የዝልግልግ ክምችት መቆጣጠሪያ ስልቶች

ወጥ የሆነ የቁሳቁስ ማስወገጃ መጠንን ለመጠበቅ፣ የዋፈር ወለል ጉድለቶችን ለመቀነስ እና በሴሚኮንዳክተር ዋፈሮች ላይ ወጥነት እንዲኖር ለማድረግ በኬሚካል ሜካኒካል ፕላናሪዜሽን ሂደት ውስጥ ውጤታማ የሆነ የዝልግልግ ክምችት ቁጥጥር አስፈላጊ ነው። ይህንን ትክክለኛነት ለማሳካት የተለያዩ ዘዴዎች እና ቴክኖሎጂዎች ጥቅም ላይ ይውላሉ፣ ይህም የተስተካከሉ ስራዎችን እና ከፍተኛ የመሳሪያ ምርትን ይደግፋል።

ከፍተኛ የሆነ የዝላይ ክምችትን ለመጠበቅ ቴክኒኮች እና መሳሪያዎች

የዝልግልግ ክምችት ቁጥጥር የሚጀምረው በማለስለስ ዝልግልግ ውስጥ ያሉትን የጥላ ቅንጣቶች እና የኬሚካል ዝርያዎችን በእውነተኛ ጊዜ በመከታተል ነው። ለሴሪየም ኦክሳይድ (CeO₂) የማለስለስ ዝልግልግ እና ለሌሎች የCMP ቀመሮች፣ እንደ ውስጣዊ የዝልግልግ ጥግግት መለኪያ ያሉ ቀጥተኛ ዘዴዎች መሠረታዊ ናቸው። እንደ ሎንንሜትር የተመረቱት ያሉ የአልትራሳውንድ የዝልግልግ ጥግግት መለኪያዎች፣ ከጠቅላላው ጠንካራ ይዘት እና ወጥነት ጋር በጥብቅ የሚዛመድ የዝልግልግ ጥግግት ቀጣይነት ያላቸውን መለኪያዎች ይሰጣሉ።

ተጨማሪ ቴክኒኮች የድድባይቲ ትንተናን - የኦፕቲካል ዳሳሾች ከተንጠለጠሉ የአጥፊ ቅንጣቶች የተበታተኑበትን - እና እንደ UV-Vis ወይም Near-Infrared (NIR) ስፔክትሮስኮፒ ያሉ ስፔክትሮስኮፒክ ዘዴዎችን በዝቃጭ ዥረት ውስጥ ቁልፍ የሆኑ ሪአክታንቶችን ለመለካት ያካትታሉ። እነዚህ መለኪያዎች የCMP ሂደት ቁጥጥር ስርዓቶች የጀርባ አጥንት ሆነው የዒላማ ማጎሪያ መስኮቶችን ለመጠበቅ እና የባች-ወደ-ባች ተለዋዋጭነትን ለመቀነስ የቀጥታ ማስተካከያዎችን ያስችላሉ።

የኤሌክትሮኬሚካል ዳሳሾች በብረት አየኖች የበለፀጉ ቀመሮች ውስጥ ጥቅም ላይ ይውላሉ፣ ይህም በተወሰኑ የአዮኒክ ክምችቶች ላይ ፈጣን ምላሽ መረጃ በመስጠት እና በተራቀቁ የሴሚኮንዳክተር ኢንዱስትሪ አፕሊኬሽኖች ላይ ተጨማሪ ማስተካከያዎችን ይደግፋል።

የግብረመልስ ዑደቶች እና ለዝግ-ዑደት መቆጣጠሪያ አውቶሜሽን

ዘመናዊ የኬሚካል-ሜካኒካል ፕላናሪዜሽን መሳሪያዎች ጭነቶች ከጊዜ ወደ ጊዜ የመስመር ውስጥ ሜትሮሎጂን ከአውቶሜትድ ስርጭት ስርዓቶች ጋር የሚያገናኙ የተዘጉ የቁጥጥር ስርዓቶችን ይጠቀማሉ። ከጭቃማ ጥግግት ሜትሮች እና ተዛማጅ ዳሳሾች የተገኙ መረጃዎች በቀጥታ ወደ ፕሮግራም ሊደረጉ የሚችሉ የሎጂክ መቆጣጠሪያዎች (PLCs) ወይም የተከፋፈሉ የቁጥጥር ስርዓቶች (DCS) ይመገባሉ። እነዚህ ስርዓቶች ለመዋቢያ ውሃ መጨመር፣ ለተከማቸ የጭቃ መጠን እና ለማረጋጊያ መርፌ ቫልቮችን በራስ-ሰር ያንቀሳቅሳሉ፣ ይህም ሂደቱ ሁልጊዜ በሚፈለገው የአሠራር ፖስታ ውስጥ እንዲቆይ ያረጋግጣል።

ይህ የግብረመልስ አርክቴክቸር በእውነተኛ ጊዜ ዳሳሾች የተገኙ ማናቸውንም ልዩነቶች ቀጣይነት ባለው መልኩ ማስተካከል፣ ከመጠን በላይ መሟሟትን ማስወገድ፣ ከፍተኛ የማጥላላት ክምችትን መጠበቅ እና ከመጠን በላይ የኬሚካል አጠቃቀምን መቀነስ ያስችላል። ለምሳሌ፣ ለላቁ የዋፈር ኖዶች ከፍተኛ-ፍጥነት ባለው የCMP መሳሪያ ውስጥ፣ የመስመር ውስጥ የአልትራሳውንድ የተለወሰ ጥግግት መለኪያ የማጥላላት ክምችት መቀነስን ይለያል እና የመጠጫ ስርዓቱ ጥግግቱ ወደ ተወሰነው ቦታ እስኪመለስ ድረስ የማጥላላት መግቢያውን እንዲጨምር ወዲያውኑ ምልክት ይሰጣል። በተቃራኒው፣ የተለካው ጥግግት ከዝርዝር መግለጫው በላይ ከሆነ፣ የቁጥጥር አመክንዮው ትክክለኛውን ክምችት ወደነበረበት ለመመለስ የመዋቢያ ውሃ መጨመርን ይጀምራል።

የውበት መለኪያ የመዋቢያ ውሃ እና የውሀ መጨመሪያ መጠኖችን በማስተካከል ረገድ ያለው ሚና

የዝልግልግ ጥግግት መለኪያ የንቁ ክምችት ቁጥጥር ቁልፍ ድንጋይ ነው። እንደ ሎንንሜትር የውስጥ መስመር ጥግግት ሜትሮች ባሉ መሳሪያዎች የሚሰጠው የጥግግት እሴት ሁለት ወሳኝ የአሠራር መለኪያዎችን በቀጥታ ያሳውቃል፡- የውህድ ውሃ መጠን እና የተከማቸ የዝልግልግ መኖ መጠን።

የጥግግት መለኪያዎችን በስትራቴጂካዊ ነጥቦች ላይ - ለምሳሌ ከሲኤምፒ መሳሪያ ግብዓት በፊት ወይም ከአጠቃቀም ነጥብ ማደባለቅ በኋላ - በመፈለግ - በእውነተኛ ጊዜ መረጃ አውቶማቲክ ስርዓቶች የመዋቢያ ውሃ መጨመር ፍጥነትን እንዲያስተካክሉ ያስችላቸዋል፣ በዚህም ዝቃጩን ወደሚፈለጉት ዝርዝር መግለጫዎች ያቀልጡታል። በተመሳሳይ ጊዜ ስርዓቱ የተከማቸ ዝቃጭ የመመገብ ፍጥነትን በትክክል ለማስተካከል፣ የመሳሪያ አጠቃቀምን፣ የእርጅና ውጤቶችን እና በሂደቱ ምክንያት የሚፈጠሩ ኪሳራዎችን ግምት ውስጥ በማስገባት።

ለምሳሌ፣ ለ3D NAND መዋቅሮች በተራዘመ የፕላናሪዜሽን ሩጫዎች ወቅት፣ ቀጣይነት ያለው የጥግግት ክትትል የዝልግልግ ውህደትን ወይም የመስተካከል አዝማሚያዎችን ይለያል፣ ይህም ለሂደት መረጋጋት አስፈላጊ በሚሆንበት ጊዜ የመዋቢያ ውሃ ወይም መነቃቃት በራስ-ሰር እንዲጨምር ያደርጋል። ይህ በጥብቅ ቁጥጥር የሚደረግበት የቁጥጥር ዑደት በተለይም የመሳሪያ ልኬቶች እና የሂደት መስኮቶች ጠባብ ሲሆኑ ጥብቅ የዋፈር-ወደ-ዋፈር እና በዋፈር ውስጥ ያሉ ተመሳሳይነት ኢላማዎችን ለመጠበቅ መሰረታዊ ነው።

ባጭሩ፣ በሲኤምፒ ውስጥ የዝልግልግ ክምችት መቆጣጠሪያ ስልቶች በተራቀቁ የመስመር ውስጥ መለኪያዎች እና በራስ-ሰር በተዘጉ የዝግ-ሉፕ ምላሾች ድብልቅ ላይ የተመሰረቱ ናቸው። የዝልግልግ ጥግግት መለኪያዎች፣ በተለይም እንደ ሎንንሜትር ያሉ የአልትራሳውንድ ክፍሎች፣ ወሳኝ በሆኑ የሴሚኮንዳክተር ማምረቻ ደረጃዎች ውስጥ ለጠንካራ የሂደት አስተዳደር የሚያስፈልገውን ከፍተኛ ጥራት ያለው እና ወቅታዊ መረጃ በማቅረብ ረገድ ማዕከላዊ ሚና ይጫወታሉ። እነዚህ መሳሪያዎች እና ዘዴዎች ተለዋዋጭነትን ይቀንሳሉ፣ የኬሚካል አጠቃቀምን በማመቻቸት ዘላቂነትን ይደግፋሉ እና ለዘመናዊ የኖድ ቴክኖሎጂዎች የሚያስፈልገውን ትክክለኛነት ያስችላሉ።

ለሴሚኮንዳክተር ኢንዱስትሪ የስላሪ ጥግግት መለኪያ ምርጫ መመሪያ

በሴሚኮንዳክተር ኢንዱስትሪ ውስጥ ለኬሚካል ሜካኒካል ፕላናሪዜሽን (CMP) የዝልግልግ ጥግግት መለኪያ መምረጥ ለተለያዩ የቴክኒክ መስፈርቶች ጥንቃቄ የተሞላበት ትኩረት ይጠይቃል። ቁልፍ የአፈጻጸም እና የአጠቃቀም መስፈርቶች ስሜታዊነት፣ ትክክለኛነት፣ ከኃይለኛ የዝልግልግ ኬሚስትሪ ጋር ተኳሃኝነት እና በሲኤምፒ የዝልግልግ አቅርቦት ስርዓቶች እና የመሳሪያ ጭነቶች ውስጥ የመዋሃድ ቀላልነት ያካትታሉ።

የስሜታዊነት እና ትክክለኛነት መስፈርቶች

የሲኤምፒ ሂደት ቁጥጥር የሚወሰነው በዝቃጭ ቅንብር ውስጥ ባሉ ጥቃቅን ልዩነቶች ላይ ነው። የጥግግት መለኪያው ቢያንስ 0.001 ግ/ሴሜ³ ወይም ከዚያ በላይ የሆኑ ለውጦችን መለየት አለበት። ይህ የስሜታዊነት ደረጃ በሴኦ₂ የማጥራት ዝቃጭ ወይም በሲሊካ ላይ በተመሰረቱ ዝቃጮች ውስጥ የሚገኙትን በሻካራ ይዘት ውስጥ እንኳን በጣም ትንሽ ለውጦችን ለመለየት አስፈላጊ ነው - ምክንያቱም እነዚህ የቁሳቁስ ማስወገጃ መጠኖችን፣ የዋፈር ጠፍጣፋነትን እና ጉድለትን ስለሚነኩ ነው። ለሴሚኮንዳክተር ዝቃጭ ጥግግት መለኪያዎች የተለመደው ተቀባይነት ያለው የትክክለኛነት ክልል ±0.001–0.002 ግ/ሴሜ³ ነው።

ከግ ...

በሲኤምፒ ውስጥ ጥቅም ላይ የዋሉ ሉርሪዎች እንደ ሴሪየም ኦክሳይድ (CeO₂)፣ አሉሚና ወይም ሲሊካ ያሉ በኬሚካል ንቁ ሚዲያዎች ውስጥ የተንጠለጠሉ ሻካራ ናኖፓርቲክሎችን ሊይዙ ይችላሉ። የጥግግት መለኪያው ከመለኪያ ሳይወጣ ወይም በቆሻሻ ሳይሰቃይ ለአካላዊ መሸርሸር እና ለዝገት አካባቢዎች ለረጅም ጊዜ መጋለጥን መቋቋም አለበት። እርጥብ በሆኑ ክፍሎች ውስጥ ጥቅም ላይ የሚውሉ ቁሳቁሶች ለሁሉም የተለመዱ የሉር ኬሚስትሪ ዓይነቶች ንቁ መሆን አለባቸው።

የመዋሃድ ቀላልነት

የመስመር ውስጥ የተዝረከረኩ የውፍረት መለኪያዎች አሁን ባሉ የሲኤምፒ መሳሪያዎች መጫኖች ውስጥ በቀላሉ መገጣጠም አለባቸው። የሚከተሉትን ግምት ውስጥ ማስገባት ያስፈልጋል፡

• የጭቃቂውን አቅርቦት እንዳይጎዳ ለመከላከል ዝቅተኛ የሟች መጠን እና ዝቅተኛ ግፊት መቀነስ።
• ፈጣን ጭነት እና ጥገና ለማድረግ መደበኛ የኢንዱስትሪ ሂደት ግንኙነቶችን ይደግፋል።
• የውጤት ተኳሃኝነት (ለምሳሌ፣ የአናሎግ/ዲጂታል ሲግናሎች) ከጭቃ ክምችት መቆጣጠሪያ ስርዓቶች ጋር በእውነተኛ ጊዜ ለመዋሃድ፣ ነገር ግን እነዚያን ስርዓቶች እራሳቸው ሳያቀርቡ።

የሊድ ሴንሰር ቴክኖሎጂዎች ንፅፅር ባህሪያት

የፖሊሽ ስሉረሪዎች የጥግግት ቁጥጥር በዋናነት በሁለት የዳሳሽ ክፍሎች የሚተዳደር ነው፡- በዴንሲቶሜትሪ ላይ የተመሠረተ እና በሪፍራክቶሜትሪ ላይ የተመሠረተ ሜትር። እያንዳንዱ ለሴሚኮንዳክተር ኢንዱስትሪ አፕሊኬሽኖች ተዛማጅነት ያላቸውን ጥንካሬዎች ያመጣል።

በዴንሲቶሜትሪ ላይ የተመሰረቱ መለኪያዎች (ለምሳሌ፣ በአልትራሳውንድ ስሉሪ ጥግግት መለኪያ)

• በቀጥታ ከጥግግት ጋር የተያያዘውን በዝልግልግ ውስጥ የሚተላለፈውን የድምፅ ስርጭት ፍጥነት ይጠቀማል።
• በተለያዩ የዝልግልግ ክምችት እና የማጥፊያ ዓይነቶች ላይ ከፍተኛ የጥግግት መለኪያ ያቀርባል።
• ሴኦኦ₂ እና ሲሊካ ፎርሙላዎችን ጨምሮ ኃይለኛ የማጥራት ውህድ ላላቸው ውህድ ተስማሚ ነው፣ ምክንያቱም የስሜት ህዋሳት ከኬሚካሎች በአካል ሊገለሉ ስለሚችሉ።
• የተለመደው ትብነት እና ትክክለኛነት ከ0.001 ግ/cm³ መስፈርት በታች ያሟላል።
• መጫኑ በተለምዶ በመስመር ውስጥ ሲሆን፣ ይህም በኬሚካል ሜካኒካል ፕላናሪዜሽን መሳሪያዎች አሠራር ወቅት ቀጣይነት ያለው የእውነተኛ ጊዜ መለኪያ ያስችላል።

በሪፍራክቶሜትሪ ላይ የተመሰረቱ መለኪያዎች

• የውፍረት ጥግግትን ለመገመት የማጣቀሻ ኢንዴክስን ይለካል።
• በማጎሪያ ለውጦች ከፍተኛ ስሜታዊነት ምክንያት በጭቃ ስብጥር ውስጥ ስውር ለውጦችን ለመለየት ውጤታማ፤ <0.1% የጅምላ ክፍልፋይ ለውጦችን የመፍታት ችሎታ ያለው።
• ሆኖም፣ የማጣቀሻ ኢንዴክስ እንደ የሙቀት መጠን ላሉ የአካባቢ ተለዋዋጮች ስሜታዊ ነው፣ ይህም በጥንቃቄ መለካት እና የሙቀት መጠን ማካካሻ ይጠይቃል።
• በተለይም በጣም ኃይለኛ ወይም ግልጽ ባልሆኑ ንጣፎች ውስጥ የተወሰነ የኬሚካል ተኳሃኝነት ሊኖረው ይችላል።

የፓርቲክል መጠን ሜትሮሎጂ እንደ ማሟያ

• የጥግግት ንባቦች በቅንጣት መጠን ስርጭት ወይም በማዋሃድ ለውጦች ሊዛቡ ይችላሉ።
• በኢንዱስትሪው ምርጥ ልምዶች ከወቅታዊ የቅንጣት መጠን ትንተና (ለምሳሌ፣ ተለዋዋጭ የብርሃን መበታተን ወይም የኤሌክትሮን ማይክሮስኮፒ) ጋር መዋሃድ ይመከራል፣ ይህም ግልጽ የሆኑ የጥግግት ለውጦች በቅንጣት መሰባሰብ ምክንያት ብቻ እንዳልሆኑ ያረጋግጣል።

ለሎንሜትር የውስጥ መስመር ጥግግት መለኪያዎች ግምት ውስጥ የሚገቡ ነገሮች

• ሎንሜትር ደጋፊ ሶፍትዌሮችን ወይም የስርዓት ውህደቶችን ሳያቀርብ የውስጥ መስመር ጥግግት እና የviscosity ሜትር በማምረት ላይ የተካነ ነው።
• የሎንሜትር ሜትር ሜትሮች ሻካራ፣ በኬሚካል ንቁ የሆኑ የCMP ንጣፎችን ለመቋቋም ሊገለጹ ይችላሉ፣ እና በሴሚኮንዳክተር ሂደት መሳሪያዎች ውስጥ በቀጥታ መስመር ውስጥ ለመጫን የተነደፉ ሲሆኑ፣ ለእውነተኛ ጊዜ የንጣፍ ጥግግት መለኪያ ፍላጎቶችን የሚያሟሉ ናቸው።

አማራጮችን ሲገመግሙ፣ በዋናው የአጠቃቀም መስፈርት ላይ ያተኩሩ፡- የጥግግት መለኪያው የሚፈለገውን ስሜታዊነት እና ትክክለኛነት ማሳካት፣ ከጭቃ ኬሚስትሪዎ ጋር ከሚጣጣሙ ቁሳቁሶች የተገነባ መሆኑን፣ ቀጣይነት ያለው አሠራርን የሚቋቋም እና በሲኤምፒ ሂደት ውስጥ ከንፁህ የጭቃ አቅርቦት መስመሮች ጋር ያለምንም እንከን የተዋሃደ መሆኑን ያረጋግጡ። ለሴሚኮንዳክተር ኢንዱስትሪ፣ ትክክለኛ የጭቃ ጥግግት መለኪያ የዋፈር ወጥነት፣ ምርት እና የማምረቻ ፍሰትን ይደግፋል።

ውጤታማ የዝልግልግ ጥግግት ቁጥጥር በሲኤምፒ ውጤቶች ላይ የሚያሳድረው ተጽዕኖ

በኬሚካላዊ ሜካኒካል ፕላናሪዜሽን ሂደት ውስጥ ትክክለኛ የዝልግልግ ጥግግት ቁጥጥር ወሳኝ ነው። ጥግግት ወጥነት ባለው ጊዜ፣ በማለስለስ ጊዜ የሚገኙ የማጥላላት ቅንጣቶች መጠን የተረጋጋ ሆኖ ይቆያል። ይህ በቀጥታ የቁሳቁስ ማስወገጃ ፍጥነት (MRR) እና የዋፈርን የገጽታ ጥራት ይነካል።

የዋፈር ወለል ጉድለቶችን መቀነስ እና የተሻሻለ WIWNU

ከፍተኛ የሆነ የተዝረከረከ ጥግግት መጠበቅ እንደ ማይክሮክራችስ፣ ዲሽንግ፣ መሸርሸር እና የቅንጣት ብክለት ያሉ የዋፈር ወለል ጉድለቶችን እንደሚቀንስ ተረጋግጧል። በ2024 የተደረጉ ጥናቶች እንደሚያሳዩት የኮሎይዳል ሲሊካ ፎርሙላዎች ከ1 wt% እስከ 5 wt% የሚደርስ ቁጥጥር የሚደረግበት ጥግግት ክልል የማስወገጃ ቅልጥፍና እና የጉድለት መቀነስ መካከል ምርጡን ሚዛን ይሰጣል። ከመጠን በላይ ከፍተኛ ጥግግት የአቧራ ግጭቶችን ይጨምራል፣ ይህም በአቶሚክ ኃይል ማይክሮስኮፒ እና ኤሊፕሶሜትሪ ትንታኔዎች እንደተረጋገጠው በአንድ ካሬ ሴንቲሜትር የጉድለት ብዛት ከሁለት እስከ ሶስት እጥፍ እንዲጨምር ያደርጋል። ጥብቅ ጥግግት ቁጥጥር እንዲሁም በዋፈር ውስጥ ያለው የዋፈር አለመጣጣም አለመጣጣም (WIWNU) ያሻሽላል፣ ይህም ቁሳቁስ በዋፈር ላይ በእኩል እንዲወገድ ያረጋግጣል፣ ይህም ለላቁ የኖድ ሴሚኮንዳክተር መሳሪያዎች አስፈላጊ ነው። ወጥነት ያለው ጥግግት የፊልም ውፍረት ኢላማዎችን ወይም ጠፍጣፋነትን አደጋ ላይ ሊጥሉ የሚችሉ የሂደት ጉዞዎችን ለመከላከል ይረዳል።

የዝልግልግ ዕድሜ ማራዘም እና የፍጆታ ወጪዎችን መቀነስ

የጭቃ ክምችት መቆጣጠሪያ ቴክኒኮች - በአልትራሳውንድ የተለወሰ ጥግግት መለኪያዎችን በመጠቀም በእውነተኛ ጊዜ ክትትልን ጨምሮ - የCMP የማጥራት ዝቃጭን ጠቃሚ የህይወት ዘመን ያራዝማሉ። ከመጠን በላይ መውሰድን ወይም ከመጠን በላይ መሟጠጥን በመከላከል፣ የኬሚካል ሜካኒካል ፕላናሪዜሽን መሳሪያዎች የፍጆታ ቁሳቁሶችን በአግባቡ መጠቀምን ያስችላሉ። ይህ አካሄድ የጭቃ መተካት ድግግሞሽን ይቀንሳል እና የመልሶ ጥቅም ላይ የሚውሉ ስልቶችን ያስችላል፣ አጠቃላይ ወጪዎችን ይቀንሳል። ለምሳሌ፣ በCeO₂ የጭቃ ማስወገጃ አፕሊኬሽኖች ውስጥ፣ ጥንቃቄ የተሞላበት የጥግግት ጥገና የጭቃ ስብስቦችን እንደገና ለማደስ እና የአፈፃፀምን ኪሳራ ሳያስከትሉ የቆሻሻ መጠንን ለመቀነስ ያስችላል። ውጤታማ የጥግግት ቁጥጥር የሂደት መሐንዲሶች ተቀባይነት ባለው የአፈጻጸም ገደብ ውስጥ የቀረውን የፍጻሜ ዝቃጭ መልሶ እንዲያገኙ እና እንደገና እንዲጠቀሙ ያስችላቸዋል፣ ይህም የወጪ ቁጠባን የበለጠ ያባብሳል።

የተሻሻለ የተደጋጋሚነት እና የሂደት ቁጥጥር ለላቀ የኖድ ማምረቻ

ዘመናዊ የሴሚኮንዳክተር ኢንዱስትሪ አፕሊኬሽኖች በኬሚካል-ሜካኒካል ፕላናሪዜሽን ደረጃ ከፍተኛ ተደጋጋሚነት ይጠይቃሉ። በተራቀቀ የኖድ ማምረቻ ውስጥ፣ በዝቃጭ ጥግግት ላይ ያሉ ጥቃቅን መለዋወጥ እንኳን በዋፈር ውጤቶች ላይ ተቀባይነት የሌለው ልዩነት ሊያስከትል ይችላል። እንደ ሎንሜትር የተመረቱት ያሉ የውስጥ መስመር አልትራሳውንድ ዝቃጭ ጥግግት ሜትሮች አውቶሜሽን እና ውህደት - ለሂደት ቁጥጥር ቀጣይነት ያለው፣ በእውነተኛ ጊዜ ግብረመልስ ያመቻቻል። እነዚህ መሳሪያዎች በሲኤምፒ የተለመደ አስቸጋሪ የኬሚካል አካባቢዎች ውስጥ ትክክለኛ መለኪያዎችን ያቀርባሉ፣ ይህም ለልዩነቶች ወዲያውኑ ምላሽ የሚሰጡ የተዘጉ-ሉፕ ስርዓቶችን ይደግፋል። አስተማማኝ የጥግግት መለኪያ ማለት ከዋፈር ወደ ዋፈር የበለጠ ወጥነት እና በMRR ላይ ጥብቅ ቁጥጥር ማድረግ ማለት ሲሆን ይህም ለንዑስ-7nm ሴሚኮንዳክተር ምርት አስፈላጊ ነው። ትክክለኛ የመሳሪያዎች ጭነት - በዝቃጭ አቅርቦት መስመር ውስጥ ትክክለኛ አቀማመጥ - እና መደበኛ ጥገና ሜትሮች በአስተማማኝ ሁኔታ እንዲሰሩ እና ለሂደት መረጋጋት ወሳኝ የሆነ ውሂብ ለማቅረብ አስፈላጊ ናቸው።

በቂ የሆነ የተዝረከረከ ጥግግት መጠበቅ የምርት ምርትን ከፍ ለማድረግ፣ ጉድለትን ለመቀነስ እና በሲኤምፒ ሂደቶች ውስጥ ወጪ ቆጣቢ የሆነ ምርትን ለማረጋገጥ ወሳኝ ነው።