የኬሚካል-ሜካኒካል ፖሊሽንግ (CMP) ብዙውን ጊዜ በኬሚካላዊ ግብረመልስ ለስላሳ ቦታዎችን በማምረት ላይ ይሳተፋል፣ በተለይም በሴሚኮንዳክተር ማምረቻ ኢንዱስትሪ ውስጥ ያሉ ስራዎች።ሎንሜትርከ20 ዓመታት በላይ በውስጥ መስመር የማጎሪያ መለኪያ ልምድ ያለው የታመነ ፈጣሪ፣ ዘመናዊ ቴክኖሎጂን ያቀርባልየኑክሌር ያልሆኑ ጥግግት መለኪያዎችእና የጭቃቂ አስተዳደር ችግሮችን ለመፍታት የviscosity ዳሳሾች።
የስሉሪ ጥራት እና የሎንሜትር ባለሙያነት አስፈላጊነት
የኬሚካል ሜካኒካል ፖሊሽ ስሉሪ የCMP ሂደት ዋና አካል ሲሆን የገጽታዎችን ወጥነት እና ጥራት ይወስናል። ወጥ ያልሆነ የሊሙዚን ጥግግት ወይም viscosity እንደ ማይክሮ ጭረቶች፣ ያልተመጣጠነ የቁሳቁስ ማስወገድ ወይም የፓድ መዘጋት ያሉ ጉድለቶችን ሊያስከትል ይችላል፣ የዋፈር ጥራትን ሊያዛባ እና የምርት ወጪዎችን ሊጨምር ይችላል። ሎንንሜትር፣ በኢንዱስትሪ የመለኪያ መፍትሄዎች ዓለም አቀፍ መሪ፣ ምርጥ የሊሙዚን አፈጻጸም ለማረጋገጥ በውስጥ መስመር ላይ የሊሙዚን መለኪያ ላይ የተካነ ነው። አስተማማኝ፣ ከፍተኛ ትክክለኛነት ያላቸውን ዳሳሾች በማቅረብ የተረጋገጠ የትራክ ሪከርድ ያለው፣ ሎንንሜትር የሂደት ቁጥጥርን እና ቅልጥፍናን ለማሻሻል ከዋና ዋና የሴሚኮንዳክተር አምራቾች ጋር አጋርነት ፈጥሯል። የኑክሌር ያልሆኑ የሊሙዚን ጥግግት መለኪያዎች እና የቪስኮስሲቲ ዳሳሾቻቸው በእውነተኛ ጊዜ መረጃ ይሰጣሉ፣ ይህም የሊሙዚን ወጥነትን ለመጠበቅ እና የዘመናዊ ሴሚኮንዳክተር ማምረቻ ጥብቅ ፍላጎቶችን ለማሟላት ትክክለኛ ማስተካከያዎችን ያስችላል።
በከፍተኛ የሴሚኮንዳክተር ኩባንያዎች የሚታመን የውስጥ መስመር ክምችት መለኪያ ከሁለት አስርት ዓመታት በላይ ልምድ። የሎንሜትር ዳሳሾች እንከን የለሽ ውህደት እና ዜሮ ጥገና ለማድረግ የተነደፉ ናቸው፣ ይህም የአሠራር ወጪዎችን ይቀንሳል። የተወሰኑ የሂደት ፍላጎቶችን ለማሟላት የተነደፉ መፍትሄዎች፣ ከፍተኛ የዋፈር ምርት እና ተገዢነትን ያረጋግጣሉ።
የኬሚካል ሜካኒካል ፖሊሽንግ በሴሚኮንዳክተር ማምረቻ ውስጥ ያለው ሚና
የኬሚካል ሜካኒካል ፖሊሽንግ (CMP)፣ እንዲሁም ኬሚካል-ሜካኒካል ፕላናሪዜሽን በመባል የሚታወቀው፣ የሴሚኮንዳክተር ማምረቻ ዋና መሠረት ሲሆን ለላቀ ቺፕ ምርት ጠፍጣፋ፣ ጉድለት የሌለባቸው ቦታዎች እንዲፈጠሩ ያስችላል። የኬሚካል ክሊንግን ከሜካኒካል መሸርሸር ጋር በማጣመር፣ የCMP ሂደቱ ከ10nm በታች ባሉ ኖዶች ላይ ለብዙ-ተደራቢ የተቀናጁ ወረዳዎች የሚያስፈልገውን ትክክለኛነት ያረጋግጣል። ከውሃ፣ ከኬሚካል ሬጀንቶች እና ከጠለፋ ቅንጣቶች የተዋቀረው የኬሚካል ሜካኒካል ፖሊሽንግ ሉሪ ቁሳቁሱን በእኩልነት ለማስወገድ ከፖሊሽ ፓድ እና ዋፈር ጋር ይገናኛል። የሴሚኮንዳክተር ዲዛይኖች እየተሻሻሉ ሲሄዱ፣ የCMP ሂደቱ እየጨመረ የሚሄድ ውስብስብነት ያጋጥመዋል፣ ጉድለቶችን ለመከላከል እና በሴሚኮንዳክተር ፋውንድሪ እና ቁሳቁሶች አቅራቢዎች የሚፈለጉትን ለስላሳ፣ የተወለወሉ ዋፈሮችን ለማሳካት በሉሪ ባህሪያት ላይ ጥብቅ ቁጥጥር ይፈልጋል።
ሂደቱ አነስተኛ ጉድለቶች ያሏቸውን 5nm እና 3nm ቺፖችን ለማምረት አስፈላጊ ነው፣ ይህም ቀጥለው ለሚመጡ ንብርብሮች ትክክለኛ ማከማቻ እንዲሆን ጠፍጣፋ ቦታዎችን ያረጋግጣል። ጥቃቅን የዝቃጭ አለመጣጣሞች እንኳን ውድ የሆነ ዳግም ስራ ወይም የምርት ኪሳራ ሊያስከትሉ ይችላሉ።
የዝልግልግ ንብረቶችን በመቆጣጠር ረገድ ያሉ ተግዳሮቶች
በኬሚካል ሜካኒካል የማጥራት ሂደት ውስጥ ወጥ የሆነ የዝልግልግ ጥግግት እና viscosity መጠበቅ በፈተናዎች የተሞላ ነው። የዝልግልግ ባህሪያት እንደ መጓጓዣ፣ በውሃ ወይም በሃይድሮጂን ፐርኦክሳይድ መሟሟት፣ በቂ ያልሆነ ድብልቅ ወይም የኬሚካል መበላሸት ባሉ ምክንያቶች ሊለያዩ ይችላሉ። ለምሳሌ፣ በዝልግልግ ቶቶች ውስጥ የሚቀመጡ ቅንጣቶች ከታች ከፍ ያለ ጥግግት ሊያስከትሉ ይችላሉ፣ ይህም ወጥ ያልሆነ ፖሊሽ ያስከትላል። እንደ pH፣ የኦክሳይድ-መቀነስ አቅም (ORP) ወይም ኮንዳክሽን ያሉ ባህላዊ የክትትል ዘዴዎች ብዙውን ጊዜ በቂ አይደሉም፣ ምክንያቱም በዝልግልግ ቅንብር ውስጥ ስውር ለውጦችን መለየት ስለማይችሉ። እነዚህ ገደቦች ጉድለቶችን፣ የማስወገጃ መጠኖችን መቀነስ እና የፍጆታ ወጪዎችን መጨመር ሊያስከትሉ ይችላሉ፣ ይህም ለሴሚኮንዳክተር መሳሪያዎች አምራቾች እና ለሲኤምፒ አገልግሎት ሰጪዎች ከፍተኛ አደጋዎችን ያስከትላል። በአያያዝ እና በማከፋፈል ወቅት የሚደረጉ የውህደት ለውጦች አፈፃፀምን ይነካሉ። ከ10-10nm ኖዶች በዝልግልግ ንፅህና እና በማደባለቅ ትክክለኛነት ላይ ጥብቅ ቁጥጥር ያስፈልጋቸዋል። ፒኤች እና ኦአርፒ አነስተኛ ልዩነት ያሳያሉ፣ ኮንዳክሽን ደግሞ ከዝልግልግ እርጅና ጋር ይለያያል። ወጥ ያልሆኑ የዝልግልግ ባህሪያት በኢንዱስትሪ ጥናቶች መሠረት የጉድለት መጠኖችን እስከ 20% ሊጨምሩ ይችላሉ።
የሎንሜትር የእውነተኛ ጊዜ ክትትል ውስጣዊ ዳሳሾች
ሎንሜትር እነዚህን ተግዳሮቶች በኑክሌር ያልሆኑ የዝልግልግ ጥግግት መለኪያዎች ይፈታቸዋል እናየviscosity ዳሳሾች, ለውስጠ-መስመር viscosity መለኪያዎች የviscosity ሜትር መስመር ውስጥ እና በተመሳሳይ ጊዜ የslurry density እና viscosity ክትትል የአልትራሳውንድ ጥግግት መለኪያን ጨምሮ። እነዚህ ዳሳሾች በሲኤምፒ ሂደቶች ውስጥ እንከን የለሽ ውህደት ለማድረግ የተነደፉ ሲሆኑ የኢንዱስትሪ ደረጃውን የጠበቀ ግንኙነቶችን ያሳያሉ። የሎንንሜትር መፍትሄዎች ለጠንካራ ግንባታው የረጅም ጊዜ አስተማማኝነት እና ዝቅተኛ ጥገና ይሰጣሉ። የእውነተኛ ጊዜ መረጃ ኦፕሬተሮች የslurry ውህዶችን በትክክል እንዲያስተካክሉ፣ ጉድለቶችን እንዲከላከሉ እና የማጥራት አፈጻጸምን እንዲያመቻቹ ያስችላቸዋል፣ ይህም እነዚህን መሳሪያዎች ለትንታኔ እና ለሙከራ መሳሪያዎች አቅራቢዎች እና ለሲኤምፒ የፍጆታ አቅራቢዎች አስፈላጊ ያደርጋቸዋል።
ለሲኤምፒ ማመቻቸት ቀጣይነት ያለው ክትትል ጥቅሞች
በሎንሜትር የውስጥ ዳሳሾች ቀጣይነት ያለው ክትትል ተግባራዊ ግንዛቤዎችን እና ከፍተኛ የወጪ ቁጠባን በማቅረብ የኬሚካል ሜካኒካል የማጥራት ሂደቱን ይለውጠዋል። በእውነተኛ ጊዜ የሚሟሟ ጥግግት መለኪያ እና የviscosity ክትትል እንደ ጭረቶች ወይም ከመጠን በላይ ማጥራት ያሉ ጉድለቶችን እስከ 20% ይቀንሳል፣ በኢንዱስትሪ መለኪያዎች መሠረት። ከ PLC ስርዓት ጋር መዋሃድ በራስ-ሰር የመጠን እና የሂደት ቁጥጥርን ያስችላል፣ ይህም የተሟሟ ባህሪያት በተመቻቸ ክልል ውስጥ እንዲቆዩ ያረጋግጣል። ይህ የፍጆታ ወጪዎችን ከ15-25% ለመቀነስ፣ የስራ ማቆም ጊዜን ለመቀነስ እና የተሻሻለ የዋፈር ወጥነት እንዲኖር ያደርጋል። ለሴሚኮንዳክተር ፋውንዴሽኖች እና ለሲኤምፒ አገልግሎት አቅራቢዎች፣ እነዚህ ጥቅሞች ወደ የተሻሻለ ምርታማነት፣ ከፍተኛ የትርፍ ህዳጎች እና እንደ ISO 6976 ካሉ ደረጃዎች ጋር መጣጣምን ያመጣሉ።
በሲኤምፒ ውስጥ ስለ ስሉሪ ክትትል የተለመዱ ጥያቄዎች
የዝልግልግ ጥግግት መለኪያ ለሲኤምፒ አስፈላጊ የሆነው ለምንድነው?
የዝልግልግ ጥግግት መለኪያ ወጥ የሆነ የቅንጣት ስርጭት እና የተደባለቀ ወጥነት ያረጋግጣል፣ ጉድለቶችን ይከላከላል እና በኬሚካል ሜካኒካል የማጥራት ሂደት ውስጥ የማስወገጃ መጠንን ያሻሽላል። ከፍተኛ ጥራት ያለው የዋፈር ምርት እና ከኢንዱስትሪ ደረጃዎች ጋር መጣጣምን ይደግፋል።
የviscosity ክትትል የCMP ቅልጥፍናን እንዴት ያሻሽላል?
የቪስኮሳይት ክትትል ወጥ የሆነ የዝልግልግ ፍሰትን ይጠብቃል፣ ይህም እንደ ፓድ መዘጋት ወይም ያልተመጣጠነ ማጥራት ያሉ ችግሮችን ይከላከላል። የሎንሜትር የውስጥ መስመር ዳሳሾች የCMP ሂደቱን ለማመቻቸት እና የዋፈር ውጤቶችን ለማሻሻል በእውነተኛ ጊዜ ውሂብ ይሰጣሉ።
የሎንሜትር የኑክሌር ያልሆነ የዝልግልግ ጥግግት ሜትር ልዩ የሚያደርገው ምንድን ነው?
የሎንሜትር ኑክሌር ያልሆነ የዝልግልግ ጥግግት ሜትሮች ከፍተኛ ትክክለኛነት እና ዜሮ ጥገና ያላቸው በአንድ ጊዜ ጥግግት እና viscosity መለኪያዎችን ይሰጣሉ። ጠንካራ ዲዛይናቸው በአስፈላጊ የCMP ሂደት አካባቢዎች አስተማማኝነትን ያረጋግጣል።
በሴሚኮንዳክተር ማምረቻ ውስጥ የኬሚካል ሜካኒካል ፖሊሽ ሂደትን ለማመቻቸት በእውነተኛ ጊዜ የሚለካ የቅልቅል ጥግግት መለኪያ እና የviscosity ክትትል ወሳኝ ናቸው። የሎንሜትር ኑክሌር ያልሆነ የሊሪ ጥግግት መለኪያዎች እና የviscosity ዳሳሾች የሴሚኮንዳክተር መሳሪያዎች አምራቾች፣ የCMP የፍጆታ አቅራቢዎች እና የሴሚኮንዳክተር ፋውንዴሽኖችን የሊሪ አስተዳደር ተግዳሮቶችን ለማሸነፍ፣ ጉድለቶችን ለመቀነስ እና ወጪዎችን ለመቀነስ መሳሪያዎችን ይሰጣሉ። ትክክለኛ፣ እውነተኛ ጊዜ መረጃን በማቅረብ፣ እነዚህ መፍትሄዎች የሂደቱን ቅልጥፍና ያሻሽላሉ፣ ተገዢነትን ያረጋግጣሉ እና በተወዳዳሪ የCMP ገበያ ውስጥ ትርፋማነትን ያሳድጋሉ። ይጎብኙየሎንሜትር ድህረ ገጽወይም ሎንንሜትር የኬሚካል ሜካኒካል ፖሊሽ ስራዎችዎን እንዴት ሊለውጥ እንደሚችል ለማወቅ ዛሬውኑ ቡድናቸውን ያነጋግሩ።
የፖስታ ሰዓት፡ ጁላይ-22-2025
